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Fonctionnement en mode impact électronique (EI)
Tableau 13 Lecture de la micro-jauge à vide à ionisation
Débit de colonne,
Lecture de la jauge, torr
ml/min
Pompe turbo
"performance"
0,5
3,18E–06
0,7
4,42E–06
1
6,26E–06
1,2
7,33E–06
2
1,24E–05
3
1,86E–05
4
2,48E–05
6
3,75E–05
Si la pression est notablement plus élevée que les pressions indiquées ici,
consulter l'aide en ligne du logiciel de la ChemStation DDM pour y rechercher
les informations concernant le diagnostic des fuites d'air et des autres
problèmes du système de vide.
70
Lecture de la jauge, torr
Lecture de la jauge, torr
Pompe turbo standard
Pompe à diffusion
1,3E–05
2,18E–05
1,83E–05
2,59E–05
2,61E–05
3,66E–05
3,11E–05
4,46E–05
5,25E–05
7,33E–05
8,01E–05
1,13E–04
Lecture de la jauge
primaire, torr
Pompe à diffusion
34,7
39,4
52,86
60,866
91,784
125,76
Manuel d'utilisation du DDM série 5975