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Utilisation en mode ionisation chimique (CI)
Tableau 17 Tableau d'état du module de régulation de débit de gaz
Résultat
Débit gaz A
Gaz A
Ouverte
Gaz B
Fermée
→
Mass flow
Ouvert
controller
consigne
Vanne d'arrêt
Ouverte
Les états Ouvert et Fermé sont indiqués sur les moniteurs par 1 et 0
respectivement.
106
Débit gaz B
Balayage
avec gaz A
Fermée
Ouverte
Ouverte
Fermée
→
→
Ouvert
Ouvert
consigne
Ouverte
Ouverte
Balayage
avec gaz B
Fermée
Ouverte
→
100 % Ouvert
100 % Ouvert
Ouverte
Manuel d'utilisation du DDM série 5975
Évacuation du
Mode Attente,
module de
à l'air ou EI
régulation
Fermée
Fermée
Fermée
Fermée
→
→
100 % Fermé
Ouverte
Fermée
0 %