1.3 Système fluidique........................................................................................................................... 25
1.4 Optique de transfert........................................................................................................................28
1.5 Capteurs de fuite............................................................................................................................ 30
1.6 Système de vide.............................................................................................................................30
2.5 Arrêt d'urgence............................................................................................................................... 37
3.1 Configuration de la source LockSpray........................................................................................... 38
4.1.2 Nébuliseur LockSpray...........................................................................................................49
17 mars 2021, 715005046FR Version 03
Page xiii