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2. Tirez vers l'extérieur le dispositif de déblocage de l'enceinte de la source, situé en bas à
droite. Ouvrez l'enceinte.
3. Saisissez l'enceinte de la source à deux mains. Soulevez-la verticalement pour la dégager
des deux plots de maintien du boîtier de l'adaptateur de la source.
Note :
pour éviter tout dommage lors du démontage du bloc du guide d'ions
StepWave du boîtier de l'adaptateur, manipulez uniquement le bouchon du guide
d'ions en PEEK marron.
4. Insérez précautionneusement le bloc du guide d'ions dans le bloc de pompage, jusqu'à la
butée.
Remarque :
pour vous assurer que le bloc du guide d'ions est inséré selon l'orientation
correcte, insérez d'abord l'extrémité de l'ouverture différentielle et vérifiez que les deux
encoches dans le bouchon en PEEK du bloc du guide d'ions sont placées à 6 heures,
comme illustré ci-dessous.
Figure 5–32 : Glissement du bloc du guide d'ions dans le bloc de pompage
Enceinte de la source
Ouverture différentielle
Encoches
Bouchon en PEEK du guide d'ions
5. Vérifiez que le bord saillant de l'outil de rupture d'étanchéité et de positionnement est
orienté vers le bas. Positionnez l'outil sur l'extrémité du bloc StepWave.
17 mars 2021, 715005046FR Version 03
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