9
Instruksjon Manual
Bruk
Bruk
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Hvis
vakuumkammeret varmes opp, skal temperaturen på inngangsflensen
ikke overskride 120 °C med ConFlat inngangsflens eller 80 °C med
ISO inngangsflens.
ADVARSEL!
Ikke start pumpesystemet hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De
høye temperaturene kan føre til brannskader.
ADVARSEL!
Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i bruk. Lagrene
kan kunne skades og det kan kunne oppstå skade på personer eller
gjenstander.
144/314
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01
(H)