Table des Matières
Publicité
13
Návod k Použití
Použití
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení. Při případném zahřívání vakuové komory teplota vstupní
příruby nesmí překročit 120 °C v případě příruby ConFlat a 80 °C v
případě příruby ISO.
NEBEZPEČÍ!
Čerpací systém nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k
vakuové komoře.
NEBEZPEČÍ!
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká
teplota může způsobit popáleniny.
NEBEZPEČÍ!
Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy během jejího
chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také ke zranění osob či škodám
na věcech.
204/314
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01
(H)
Publicité
Chapitres
Table des Matières
