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Vérifiez que les gaz pompés n'entrent pas dans leur zone d'inflammabilité. Pour ce faire, vous pouvez diluer
des gaz/vapeurs inflammables ou des agents oxydants dans la pompe en utilisant une purge de gaz inerte
suffisante, par exemple, à l'aide d'une dilution avec de l'azote en dessous d'un quart de leur LEL (lower
explosive limit - limite inférieure d'explosion) ou, si cela n'est pas pratique, en dessous de 60 % de leur LOC
(limiting oxidant concentration - limitation de la concentration en oxydant).
Pour plus d'informations, reportez-vous au guide des applications de pompes pour semi-conducteurs
(publication n° P411-00-090) ou contactez Edwards : consultez la page d'adresse au dos de ce manuel pour
plus de détails sur la société Edwards la plus proche.
3.5.2
Purge de gaz
Si vous utilisez des purges de gaz inerte pour diluer les gaz dangereux jusqu'à un niveau sûr, veillez
à ce que la pompe soit arrêtée en cas de défaillance de l'alimentation en gaz inerte.
Activez la purge de gaz inerte pour retirer l'air de la pompe et de la conduite d'échappement avant le démarrage du
procédé. Ne coupez le débit de purge à la fin du procédé qu'une fois que les vapeurs ou gaz inflammables résiduels
ont été purgés de la conduite d'échappement.
Si des liquides générant des vapeurs inflammables peuvent être présents dans la conduite de refoulement de la
pompe, la purge de gaz du système de pompage sec doit être maintenue activée tant qu'il reste du liquide. Des
liquides inflammables peuvent être présents dans la conduite de refoulement à la suite de la condensation ou avoir
été transportés pendant le procédé.
Lors du calcul du débit de gaz inerte nécessaire à la dilution, tenez compte du débit maximal de gaz/vapeurs
inflammables pouvant se produire. Par exemple, si un contrôleur de débit massique est utilisé pour alimenter le
procédé en gaz inflammables, vous devez supposer un débit de gaz inflammables possible comme si le contrôleur de
débit massique était entièrement ouvert.
Mesurez en continu le débit de gaz inerte : si le débit est inférieur à celui requis, il convient de couper le débit des
gaz ou vapeurs inflammables vers la pompe.
3.6
Essai d'étanchéité du système GX
Testez l'étanchéité du système après l'installation et colmatez toute fuite décelée pour éviter
l'écoulement de substances dangereuses hors du système et la fuite d'air dans le système.
Remarque :
Pour plus d'informations sur les essais d'étanchéité, consultez le site Web à l'adresse mentionnée en
début de manuel, votre fournisseur ou Edwards.
Reportez-vous à la
Figure
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Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
2, élément 28.
A547-00-883 Issue D
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