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Installation
Respectez toutes les consignes et précautions appropriées de sécurité décrites ci-dessous, faute
de quoi vous risquez de provoquer des blessures ou des dégâts.
Le système ne doit pas être utilisé lorsque les panneaux Edwards sont retirés.
Les risques potentiels inhérents au système de pompage sec comprennent l'électricité, les surfaces chaudes, les
produits chimiques de traitement, l'huile Fomblin, l'azote et l'eau sous pression.
La
Section 4
et la publication P300-20-000 d'Edwards "Sécurité des systèmes de vide et des pompes à vide" fournissent
des informations de sécurité détaillées.
Seuls les techniciens d'Edwards sont habilités à installer le système de pompage sec. Les utilisateurs peuvent
être formés par Edwards à la réalisation des tâches décrites dans ce manuel ; contactez votre centre de
service local ou Edwards pour plus d'informations.
Ne retirez pas le couvercle temporaire ni la plaque d'obturation de l'admission et de l'échappement du
système de pompage sec tant que vous n'êtes pas prêt à raccorder le système de pompage sec à votre
système de vide ou d'extraction-évacuation. Ne faites pas fonctionner le système de pompage sec tant que
l'admission et l'échappement ne sont pas raccordés à votre système de vide ou d'extraction-évacuation.
Mettez à l'air et purgez le procédé (si le système de pompage sec doit remplacer un système de pompage
existant) avec de l'azote pendant 15 minutes avant de commencer l'installation (voir
Débranchez de l'alimentation électrique les autres éléments du procédé, pour ne pas les mettre
accidentellement en marche.
Les alimentations électriques, en azote et en eau constituent toutes des sources d'énergies potentiellement
dangereuses. Avant toute opération d'entretien, l'alimentation de ces sources doit être verrouillée et
étiquetée.
Acheminez et fixez les câbles, tuyaux et conduites pendant l'installation de manière à éviter tout risque de
faux pas.
Le système de pompage est prévu pour accueillir un ventilateur d'extraction et une enceinte de confinement
secondaire des fuites d'huile et d'eau. Tous les débordements accidentels ou nappes doivent être nettoyés
immédiatement pour éviter tout risque de glissement.
Respectez toutes les réglementations locales et nationales ainsi que les consignes de sécurité lors de
l'installation du système de pompage sec. Consultez la publication P300-20-000 d'Edwards (Sécurité des
systèmes de vide et des pompes à vide) avant de pomper des substances dangereuses. Cette publication est
disponible sur demande : contactez votre fournisseur ou Edwards.
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AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
A547-00-883 Issue D
Section
5).
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