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Table des matières
Section
1
Introduction ....................................................................................... 1
1.1
Portée et définitions .................................................................................................... 1
1.2
Applications ............................................................................................................... 2
1.3
Système GXL .............................................................................................................. 3
1.4
Priorité de commande .................................................................................................. 6
1.5
Commande d'alimentation active ..................................................................................... 6
2
Système de pompage sec GX .................................................................... 7
2.1
Caractéristiques techniques ............................................................................................ 7
2.2
Caractéristiques électriques ........................................................................................... 8
2.3
Chargement ............................................................................................................... 8
2.4
Connexions ................................................................................................................ 9
2.5
Caractéristiques générales ............................................................................................10
3
Installation ....................................................................................... 11
3.1
Installation du système GX ............................................................................................12
3.2
Lubrification ............................................................................................................. 13
3.3
Raccordement du système GX à votre système de vide/échappement et raccord interétage
(le cas échéant) ......................................................................................................... 13
3.4
Raccordement à votre système d'extraction d'usine (option) ....................................................14
3.5
Raccordement de l'alimentation en azote (le cas échéant) ......................................................14
3.5.1
Substances inflammables/pyrophoriques ...........................................................................14
3.5.2
Purge de gaz ............................................................................................................. 15
3.6
Essai d'étanchéité du système GX ....................................................................................15
3.7
Raccordement de l'alimentation électrique au système de pompage sec .....................................16
3.8
Connexion d'une mise à la terre RF (masse) supplémentaire (option) .........................................19
3.9
Connexion à votre circuit d'arrêt d'urgence ........................................................................19
3.10
Raccordement des tuyaux d'eau de refroidissement .............................................................. 20
3.11
Accessoires ............................................................................................................... 20
3.12
Mise en service du système GX .......................................................................................21
3.13
Installation d'un équipement de sécurité supplémentaire .......................................................24
4
Fonctionnement ................................................................................ 25
4.1
Démarrage ...............................................................................................................25
4.2
Indicateurs d'état ....................................................................................................... 26
4.3
Arrêt manuel ............................................................................................................26
4.4
Arrêt automatique ......................................................................................................27
4.5
Arrêt non planifié et alarmes .........................................................................................27
4.6
Arrêt d'urgence ..........................................................................................................27
4.7
Redémarrage de la pompe après un arrêt d'urgence ou automatique ..........................................28
4.8
Contrôleur d'équipement particulier (SEM) .........................................................................28
5
Entretien ......................................................................................... 29
5.1
Sécurité et fréquence d'entretien ....................................................................................29
5.2
Déplacement du système pour l'entretien ..........................................................................30
5.3
Vidange de l'eau de refroidissement .................................................................................31
5.4
Nettoyage de la pompe ................................................................................................32
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A547-00-883 Issue D
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