Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Manuel De L'utilisateur page 51

12 Caractéristiques techniques et dimensions
12.1 Généralités
Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum :
► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5.
► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puis-
► Pression limite : avec dôme de test et après 48 h d'étuvage.
► Débit de gaz : avec refroidissement à l'eau.
► Consommation d'eau froide : avec débit de gaz max., température de l'eau 20 °C.
► Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe 1 m.
► Caractéristiques mesurées sans filtre pare-éclats à l'aspiration de la pompe.
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 3:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 4:
12.2 Caractéristiques techniques
Caractéristique
Bride de vide élevé
Bride de vide primaire 1)
Bride de purge 1)
Vitesse de pompa- N2
ge
Ar
He
H2
Taux de compres- N2
sion
Ar
He
H2
sance de pompes à vide - Description générale ».
mbar
1
1,000
0,01
1
10
1,33
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
1
3 10
/s
-2
1.69 · 10
1,33
1,01
3 /s
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Unité
ISO-F
ISO-KF
ISO-KF
l/s
l/s
l/s
l/s
Caractéristiques techniques et dimensions
bar Pa
100
1 · 10 -3
1
1 · 10 5
1
1 · 10 -5
100
1 · 10 -3
0,01 1,000
-3 133,32
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m 3 /s
0,1 59,2
1 592
-3 1
1.69 · 10
0,133 78,9
0,101 59,8
ATH 1603 M
DN 200 DN 250
DN 40 DN 40
DN 16 DN 16
1360 1400
1280 1350
940 970
540 540
7 7
5 · 10 5 · 10
1,7 · 10 8 1,7 · 10
4 · 10 3 4 · 10 3
5 · 10 2 5 · 10 2
hPa kPa Torr | mm Hg
1 0,1 0,75
1,000 100 750
0,01
1 · 10 -3 7.5 · 10
1 0,1 0,75
10 1 7,5
1,33 0,133 1
2
Torr l/s
0,75
7,5
-2
1,27 · 10
1
0,76
ATH 2303 M
DN 200
DN 40
DN 16
1550
1450
1650
1100
8
> 1 · 10
8 > 1 · 10 8
> 3 · 10 4
> 1 · 10 3
-3
atm cm 3 /s
0,987
9,87
-2
1.67 · 10
1,32
1
DN 250
DN 40
DN 16
2150
2000
1800
1100
8
> 1 · 10
> 1 · 10 8
> 3 · 10 4
> 1 · 10 3
51/60