Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Manuel De L'utilisateur page 18

Description du produit
4 Description du produit
4.1 Identification du produit
Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer
aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »).
4.1.1 Contenu de la livraison
● 1 pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques
● 1 filtre pare-éclats (installé dans la bride d'aspiration de la pompe)
● 2 anneaux de levage installés sur la pompe.
● 1 planche d'étiquettes
● 1 manuel de l'utilisateur
et selon la configuration de commande, les composants suivants sont présents :
● 1 joint cuivre
● 1 électrovanne de purge
● 1 lot de visserie
● 1 électrovanne d'entrée d'air
4.1.2 Les applications des produits
Le constructeur a développé une gamme de pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs
(PMA) avec étages de compression, de haute performance et fiables. Ces pompes sont capables de
pomper une pression d'aspiration de l'ordre de 2 hPa ou un flux d'aspiration de l'ordre de 4000 sccm.
Elles sont particulièrement adaptées aux procédés de dépôt et gravure légère sur applications propres
ainsi que pour des applications de recherche. Ces pompes fonctionnent avec une unité de commande
électronique installée sur la pompe ou reliée par câble.
Ces pompes sont caractérisées par leur robustesse, leur capacité de pompage de grand débit de gaz
en hautes pressions, et par leur absence de maintenance.
Pour obtenir des informations plus détaillées en fonction des applications, nous contacter.
Vitesse de rotation
La vitesse de rotation de la pompe à paliers magnétiques peut être sélectionnée et réglée entre une
vitesse minimale et la vitesse nominale. Ceci rend possible l'optimisation des caractéristiques de pom-
page en fonction de chaque application (par exemple, pompage haute pression). Une distinction est fai-
te entre les vitesses suivantes :
● Vitesse de rotation sélectionnée (= vitesse de Stand-by) entre la vitesse minimale et la vitesse no-
● Vitesse nominale définie en usine.
Pompe Version M
La version standard de la pompe correspond à la plupart des applications propres. Cette version de
pompe ne dispose pas de système de régulation de température.
18/60
Le boîtier de commande déportable (HHR) ne fait pas partie de la livraison. Pour comman-
der, voir chapitre « Accessoires ».
minale.