Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Manuel De L'utilisateur page 30

Installation
Purge de gaz neutre
Rôle de la purge de gaz neutre
Lorsque la purge de gaz neutre s'arrête, les gaz de procédé peuvent rétrodiffuser et endommager les
paliers internes de la pompe.
► Maintenir la purge de gaz neutre tant que le rotor tourne pour prolonger le balayage.
► Faire débiter la purge sans excéder la valeur maximum de 1 · 10
70
60
50
40
30
20
1000
Fig. 8:
1 Réducteur de flux 50 sccm
Dispositif de purge 50 sccm
Le fonctionnement de cette purge est continu. Le réducteur de flux garantit un débit de 50 sccm pour
une pression de 1,1 · 10
sique, ne pas utiliser le réducteur de flux.
1. Raccorder directement l'alimentation de gaz neutre sur l'orifice PURGE équipé du réducteur de
2. Régler la pression de gaz neutre afin d'obtenir le débit recommandé (voir le graphe Débit de pur-
Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm
1
1 Filtre à poussières
Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm
Il s'agit d'une option disponible selon la configuration de la pompe.
30/60
Débit (SCCM)
Pression absolue à l'aspiration (hPa)
1100 1200 1300 1400
Graphe Débit de purge
1
3
hPa. Lorsque la canalisation de gaz neutre est équipée d'un débitmètre mas-
flux (voir chapitre « Accessoires »).
ge).
AVIS
1500
2
2 Electrovanne de purge
3 à 1,5 · 10 3 hPa absolus.