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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum SPLITFLOW 50
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum SPLITFLOW 50
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original SPLITFLOW 50 Pompe turbomoléculaire...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations non conformes prévisibles Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Commande...
- Page 4 Modes de fonctionnement 6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement 6.2.2 Fonctionnement via la connexion multifonctions « X3 » 6.2.3 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 6.2.4 Fonctionnement via un bus de terrain Mise en marche de la pompe turbo Surveillance des opérations...
- Page 5 Tab. 15: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 16: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 17: Fiche technique pour SplitFlow 50 | 24 V Tab. 18: Matières entrant en contact avec la substance du procédé...
- Page 6 Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés Fig. 8: Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants Fig. 9: Exemple d'un raccordement de vide primaire sur Splitflow 50 Fig. 10: Exemple de raccord de l’aspiration intermédiaire Fig. 11: Exemple de raccordement d'accessoires via adaptateur TCS 12 Fig.
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Plaque signalétique La plaque signalétique de la pompe turbomoléculaire se trouve D-35614 Asslar Berliner Str. 43 dans la partie inférieure de la pompe à vide. SplitFlow 50 Mod. PM PXX XXX Type 12 Plaque signalétique de l’unité de commande électronique...
- Page 9 A propos de ce manuel Fig. 1: Position des autocollants sur le produit 1 Remarque concernant le manuel de l’utilisateur Informations sur la mise à la terre 2 Plaque signalétique pour l’unité de commande Plaque signalétique sur la pompe turbo- électronique moléculaire 3 Sceau de garantie...
- Page 10 A propos de ce manuel ● Profibus ® est une marque de fabrique de Profibus Nutzerorganisation e.V. 10/64...
- Page 11 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 12 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 13 Sécurité AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de ré- seau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ►...
- Page 14 Sécurité Risques pendant la maintenance et la mise hors service AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à...
- Page 15 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 16 Sécurité ► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté...
- Page 17 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
- Page 18 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 19 3 Description du produit 3.1 Fonction La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l’unité de commande électronique. Les uni- tés de courant Pfeiffer Vacuum fournissent la tension d’alimentation. Scannez ce code QR ou cliquez ici pour voir comment les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum fonctionnent.
- Page 20 ● Unité de commande électronique TC 110 3.2 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 21 ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit ► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
- Page 22 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 23 HiPace 30 Neo HiPace 30 Neo H HiPace 60 HiPace 80 HiPace 80 Neo HiPace 80 Neo H SplitFlow 50 SplitFlow 80 SplitFlow 80 Neo Tab. 5: Exigences relatives à la fixation de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure 23/64...
- Page 24 Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par client Information importante pour une installation correcte ► Utilisez exclusivement des kits de fixation agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide élevé de la pompe turbomoléculaire. 5.3.2 À propos de la protection antisismique AVIS Endommagement de la pompe à...
- Page 25 Raccordements de sûreté, côté client 5.3.3 Utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les corps étrangers provenant de la chambre de vide.
- Page 26 4. Respecter la fixation des brides ISO. 5.3.5 Orientations de montage Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum de la série HiPace sont adaptées à une utilisation avec les pompes de secours de type compression à vide pour un montage dans toutes les positions.
- Page 27 ● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride. Raccordement des griffes et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Raccorder la bride conformément au schéma, à l'aide des composants du kit de montage.
- Page 28 Installation Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bri- – Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur de vissa- 3.
- Page 29 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 30 Outils nécessaires ● Tournevis Fig. 9: Exemple d'un raccordement de vide primaire sur Splitflow 50 1 Raccord de vide préliminaire Anneau de serrage 2 Connecteur à vis de raccord de vide primaire, Pompe à vide primaire (p. ex. pompe à mem- G 1/4"...
- Page 31 3. Utilisez un adaptateur de raccordement à partir des accessoires, si nécessaire. 5.6 Raccordement d’accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomo- léculaires hybrides...
- Page 32 ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.7.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. 32/64...
- Page 33 Installation Fig. 12: Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre Procédure 1. Utilisez la prise de terre de la pompe turbomoléculaire (filet femelle M4). 2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 5.7.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort.
- Page 34 5. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCout » sur le pack d’alimentation électroni- que et fermer la fermeture à baïonnette. 6. Si vous utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum : raccordez le raccord « RS-485 » à l’appareil de commande en utilisant un câble d’extension qui convient.
- Page 35 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 36 Fonctionnement sans unité de commande 1. Utilisez uniquement les câbles de raccordement agréés Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion X3 de l'unité de commande électronique. 2. L'alimentation secteur de la pompe turbo ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 37 Utilisation 6.2.4 Fonctionnement via un bus de terrain Les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de terrain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée. Les éléments suivants sont disponibles : ●...
- Page 38 Utilisation Symbole État LED Affichage Signification Désactivé Sans courant Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTI- VÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Activé, clignotement inver- « Groupe de pompage ACTIVÉ », vi- Vert tesse de rotation prescrite non attein- Activé, éclairé...
- Page 39 Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 40 4. Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. 5. Le réservoir du fluide d'exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans. 6. Demander à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins tous les 4 ans.
- Page 41 ● Cette information peut être trouvée sur la plaque signalétique de la pompe. La fiche technique de sécurité est disponible sur le Pfeiffer Vacuum Download Center. Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire arrêtée ●...
- Page 42 Maintenance Fig. 14: Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1 Amortisseur caoutchouc-métal Joint torique, réservoir du fluide d'exploitation 2 Outil spécial Réservoir du fluide d'exploitation 3 Clé Tige capillaire (8x) 4 Bouchon à vis Cache de protection 5 Joint torique Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1.
- Page 43 Maintenance Fig. 15: Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1 Bouchon à vis Amortisseur caoutchouc-métal 2 Joint torique Clé dynamométrique 3 Joint torique, réservoir du fluide d'exploitation Outil spécial 4 Réservoir du fluide d'exploitation Cache de protection 5 Tige capillaire (8x) Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1.
- Page 44 Maintenance AVIS Dommages matériels dus à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits ► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le poste de travail.
- Page 45 Maintenance Procédure 1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire. 2. Dévissez les 4 vis à tête hexagonale de l’unité de commande électronique. 3. Sortez l’ancienne unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire, en prenant soin de la maintenir droite. 7.4.2 Installation de l’unité...
- Page 46 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition immédiate du paramètre [P:777].
- Page 47 2. Nettoyer l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo. 4. Respecter la durée de fonctionnement totale de la pompe turbo. Si nécessaire, demander à Pfeif- fer Vacuum Service de remplacer le palier.
- Page 48 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 49 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponi- bles ici.
- Page 50 ● Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour détecter à-coups, le palier est dé- tout bruit étrange fectueux ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Point de consigne de ● Utilisez un appareil de commande pour étendre temps d’accélération ré- la valeur de réglage du temps d’accélération glé...
- Page 51 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou de protecteur desserré...
- Page 52 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 53 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 54 PDR SplitFlow 50 12 PDR SplitFlow 50 Fig. 18: PDR SplitFlow 50 Posi- Désignation Référence de commande Remarque Piè- tion Unité de commande élec- se référer à la plaque signa- en fonction du pan- tronique TC 110 létique neau de connexion Réservoir du fluide d’ex-...
- Page 55 Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Accessoires de ventilation Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 56 TCS 13, adaptateur pour TC 110/120 avec interface RS-485, 2 ports accessoi- PM 061 856 -U res et jeu d'accouplement Refroidissement par air pour HiPace 60 P, HiPace 80 et SplitFlow 50/80 avec PM Z01 300 TC 110/120 Refroidissement par eau pour HiPace 60 P/80/350/450 et pour SplitFlow 50/80...
- Page 57 Accessoires Description Référence de commande IKT 010, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de faible in- PT R72 100 tensité IKT 011, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de forte inten- PT R73 100 sité Tab. 14: Accessoires 57/64...
- Page 58 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 59 Caractéristiques techniques et dimensions Classification étendue SplitFlow™ 50 avec SplitFlow™ 50 avec TC 110 TC 110 Taux de compression pour Ar 2,1 · 10 2,1 · 10 Taux de compression pour H 1,3 · 10 1,3 · 10 Taux de compression pour He 1,8 ·...
- Page 60 -25 – 55 °C Poids 2,3 kg 3,7 kg Tab. 17: Fiche technique pour SplitFlow 50 | 24 V 14.3 Substances en contact avec la substance à pomper Substances en contact avec la substance à pomper Alliage d'aluminium Acier inoxydable Aimants en terres rares Plastiques renforcés de fibres de carbone...
- Page 61 89.3 M5 - 10 deep (6x) 37.5 Zwischenstufe M5 G 1/4“ Intermediate stage M5 Fig. 19: Dimensions SplitFlow 50 | DN 63 ISO-K Zwischenabsaugung M5 Intermediate evacuation M5 DN 63 CF-F 89.3 37.5 M5 - 10 deep (6x) Zwischenabsaugung M5 G1/4“...
- Page 62 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire SplitFlow 50 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE...
- Page 63 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...