5.2 Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure
Dommage à la pompe turbomoléculaire à cause d'une force agissant sur le côté vide élevé
En cas de fixation à la partie inférieure de la pompe et simultanément au côté vide élevé à l'aide d'un
raccord tubulaire rigide, il existe un risque que des forces réactives agissent sur la pompe turbomolé-
culaire. Les charges mécaniques ainsi générées peuvent endommager voire détruire la pompe turbo-
moléculaire.
► Créez un raccord flexible vers la bride de vide élevé.
► Respectez les exigences au moment de fixer la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure.
► Si le rotor se bloque soudainement, vérifiez que tous les couples de serrage générés sont absor-
Accessoires requis
● Trous conformes aux dimensions de la pompe turbomoléculaire
● Vis de fixation, classe de force ≥ 8,8, galvanisée
● Rondelle, DIN EN ISO 7090 ou DIN EN ISO 7092
● Plaque de montage fournie par le client
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 4
● Clé à écrou, en alternative, pour les boulons six pans DIN 933
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure
1. Retirez les amortisseurs caoutchouc-métal de la partie inférieure de la pompe.
2. Placez la pompe turbomoléculaire de champ sur la plaque de montage.
3. Vissez la partie inférieure de la pompe sur la plaque de montage avec le nombre de vis de fixation
Pompe turbomoléculaire
HiPace 30
HiPace 30 Neo
HiPace 30 Neo H
HiPace 60
HiPace 80
HiPace 80 Neo
HiPace 80 Neo H
SplitFlow 50
SplitFlow 80
SplitFlow 80 Neo
Tab. 5:
bés par la plaque de montage du côté opérateur.
et de rondelles requis.
– Respectez la profondeur d'engagement spécifiée.
– Respectez le couple de serrage admis.
Plaque de monta-
ge
Épaisseur mini-
mum | Résistance
à la traction
2 mm | > 270 MPa
Exigences relatives à la fixation de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure
AVIS
Taille
Quanti-
Profon-
du file-
té
deur de
tage
vissage
M5
4
≥ 1,3 × d
Installation
Couple de ser-
rage
6 Nm ± 10 %
23/64