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Pfeiffer Vacuum SPLITFLOW 50 Manuel De L'utilisateur page 3

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Table des matières
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A propos de ce manuel
1.1
Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2
Groupe cible
1.3
Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4
Justificatif de marque de fabrique
Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
2.2
Consignes de sécurité
2.3
Mesures de sécurité
2.4
Limites d'utilisation du produit
2.5
Utilisation conforme
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
2.7
Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Description du produit
3.1
Fonction
3.1.1 Refroidissement
3.1.2 Paliers du rotor
3.1.3 Commande
3.2
Identification du produit
3.2.1 Types de produit
3.2.2 Caractéristiques du produit
3.3
Contenu de la livraison
Transport et stockage
4.1
Transport
4.2
Stockage
Installation
5.1
Travail préparatoire
5.2
Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure
5.3
Raccordement côté vide élevé
5.3.1 Exigences pour le dimensionnement d'une contre-bride
5.3.2 À propos de la protection antisismique
5.3.3 Utilisation d'un pare-éclats ou d'une grille de protection
5.3.4 Utilisation du compensateur de vibrations
5.3.5 Orientations de montage
5.3.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
5.3.7 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F
5.3.8 Fixation d'une bride CF sur CF-F
5.4
Raccordement du côté vide primaire
5.5
Raccordement de l'aspiration intermédiaire
5.6
Raccordement d'accessoires
5.7
Raccordement de l'alimentation électrique
5.7.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire
5.7.2 Raccordement électrique
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