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Utilisation
LED
Vert
Jaune
Rouge
Tab. 9:
6.4.2 Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d'amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température
pour les messages d'avertissement et d'erreur sont mémorisés systématiquement dans l'unité de com-
mande électronique. À titre d'information, différentes demandes d'état sont définies dans l'ensemble de
paramètres.
● Afin d'éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit
● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction
● Le dépassement du seuil de température pour les messages d'erreur entraîne la coupure immé-
6.5 Mise hors circuit et mise à l'air
6.5.1 Mise hors circuit
Remarques relatives à la mise hors circuit de la pompe turbomoléculaire
1. Arrêtez la pompe turbomoléculaire via l'appareil de commande ou la commande à distance.
2. Fermez la conduite de vide primaire.
3. Désactivez la pompe à vide primaire, si nécessaire.
4. Ventilez la pompe turbomoléculaire.
5. Fermez les conduites d'alimentation (eau de refroidissement, purge de gaz neutre).
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Symbole
État LED
Désactivé
Activé, clignotant
Activé, clignotement inver-
se
Activé, éclairé en continu
Activé, clignotant
Désactivé
Activé, éclairé en continu
Désactivé
Activé, éclairé en continu
Comportement et signification des LED de l'unité de commande électronique
déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d'avertissement pour l'excès
de température.
─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe.
supplémentaire de la puissance d'entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbo-
moléculaire se coupe.
diate de la pompe turbomoléculaire.
Recommandation
Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le reflux des parti-
cules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire.
Affichage
Signification
Sans courant
« Groupe de pompage DÉSACTI-
VÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vi-
tesse de rotation prescrite non attein-
te
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vi-
tesse de rotation prescrite atteinte
« Groupe de pompage DÉSACTI-
VÉ », vitesse de > 60 tr/min
Pas d'avertissement
Avertissement
Pas d'erreur, pas d'avertissement
Erreur, dysfonctionnement
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