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3 Description du produit
3.1 Fonction
La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l'unité de commande électronique. Les uni-
tés de courant Pfeiffer Vacuum fournissent la tension d'alimentation.
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Fig. 2:
1 Obturateur de protection de la connexion de
2 Corps de pompe, aluminium
3 Raccord de vide secondaire, DN 63 CF-F
4 Corps de pompe, acier inoxydable
6 Raccord de la purge de gaz neutre
7 Borne de masse
8 Partie inférieure de la pompe
3.1.1 Refroidissement
● Refroidissement par convexion
● Refroidissement par air (option)
● Refroidissement par eau (option)
L'unité de commande électronique régule automatiquement l'arrêt de la commande en cas de tempéra-
ture excessive.
3.1.2 Paliers du rotor
pompe turbo à paliers hybrides
● Côté vide secondaire : paliers magnétiques permanents sans usure
● Côté vide préliminaire : roulement à billes en céramique
La lubrification permanente du palier du rotor côté vide préliminaire est assurée par un réservoir de flui-
de d'exploitation.
Scannez ce code QR ou
Pfeiffer Vacuum fonctionnent.
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Construction Splitflow 50
vide secondaire
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pour voir comment les pompes turbomoléculaires
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Description du produit
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Surface de montage pour refroidissement à eau
Vis de fermeture d'aspiration intermédiaire, M5
Connecteur à vis de raccord de vide primaire,
G 1/4"
Vis de ventilation
Affichage du mode de travail à diodes électrolu-
minescentes
Connexion multifonctions « X3 »
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