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Liste des tableaux
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Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10: Paramètres d'usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo
Tab. 11: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculai-
Tab. 12: Dépannage des pompes turbomoléculaires
Tab. 13: Aperçu des pièces de rechange disponibles
Tab. 14: Accessoires
Tab. 15: Tableau de conversion : unités de pression
Tab. 16: Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Tab. 17: Fiche technique pour SplitFlow 50 | 24 V
Tab. 18: Matières entrant en contact avec la substance du procédé
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Va-
cuum
Caractéristiques de la pompe turbomoléculaire
Exigences relatives à la fixation de la pompe turbomoléculaire à la partie in-
férieure
Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par client
Effet du pare-éclats ou de l'écran protecteur sur la vitesse de pompage
Réglages d'usine de l'unité de commande électronique des pompes turbo-
moléculaires à la livraison
Comportement et signification des LED de l'unité de commande électroni-
que
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