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Procédure avec un fluide contaminé
Lorsque le fluide est fortement contaminé dans la chambre d'aspiration, rincez cette dernière à l'air, à
l'azote ou avec tour autre fluide de rinçage approprié à la fin du processus.
1. Fermez la vanne d'isolement dans la conduite à vide et déconnectez la pompe à vide du proces-
sus.
2. À la fin du processus, continuez de faire fonctionner la pompe à vide avec l'alimentation en gaz
de balayage au niveau de la bride de vide pendant 20 à 40 minutes supplémentaires.
3. Coupez ensuite l'alimentation en gaz de balayage.
4. Mettez la pompe à vide hors tension.
5. Mettez la pompe à vide à l'air via le côté aspiration.
6. Veillez à ne pas mettre les chambres à vide à l'air à travers la pompe à vide.
7. Coupez l'alimentation en ressources spécifique au processus et à la pompe (p. ex. alimentation
en gaz de pressurisation).
Utilisation
45/66
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