Pfeiffer Vacuum ATH 2300 M Manuel De L'utilisateur page 2

Bienvenue
Cher client,
Vous venez d'acquérir
une pompe turbomoléculaire
sur paliers magnétiques.
Nous vous en remercions
et sommes fiers de vous
compter parmi notre
clientèle.
Ce produit a bénéficié de
toute l'expérience acquise par
Pfeiffer Vacuum SAS depuis
de nombreuses années dans
la conception des pompes
turbomoléculaires.
Afin de garantir les
performances et la pleine
satisfaction que vous aurez
à utiliser ce matériel, nous
vous suggérons de prendre
connaissance de ce manuel
avant toute intervention
sur votre pompe et plus
particulièrement, du chapitre
réservé à l'installation et la
mise en service.
Pfeiffer Vacuum SAS – Manuel de l'utilisateur - ATH 2300 M/MT
ATH 2300 M/MT -
Pompes Turbomoléculaires
Ce composant de pompage est destiné à générer du vide en pompant des
gaz, mais pas de liquides ni de solides. Il est destiné à être intégré dans des
équipements industriels.
L'intégrateur de la pompe ATHM devra prévoir toutes les protections de
sécurité vis-à-vis des opérateurs, notamment le risque de contact avec les
surfaces chaudes.
Ce composant de pompage n'est pas conçu pour être installé dans des zones
à risque d'explosion. Nous contacter pour étudier une solution adaptée.
Applications :
A
PPLICATIONS SEMICONDUCTEUR
Gravure plasma, Implantation ionique,
Pulvérisation cathodique, Dépôt plasma.
A A :
UTRES PPLICATIONS
Microscopes électroniques Analyse de surface,
Recherche et développement, Physique des hautes énergies,
Simulation spatiale, Accélérateurs.
Avantages :
Haut rendement - Vide propre et silencieux - Inoxydable -
Haut MTBF - Volume, taille et poids minimaux -
Contrôleur intelligent et compact - Fiabilité -
Sans maintenance - Sans batterie - Intégration simple.
Ce manuel comprend uniquement les informations d'installation de
la pompe sur l'équipement. Se référer au manuel du contrôleur pour
alimenter et utiliser la pompe (chapitres B, C et D).
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