Pfeiffer Vacuum ATH 2300 M Manuel De L'utilisateur page 8

5 axes actifs
Pfeiffer Vacuum SAS – Manuel de l'utilisateur - ATH 2300 M/MT
Principe d'asservissement d'une
pompe sur paliers magnétiques
L'ensemble mobile formé par le rotor turbo et l'arbre est
désigné sous le terme rotor. Ce rotor est entraîné par le moteur
et maintenu en suspension par des champs magnétiques créés
par des électro-aimants situés dans les paliers actifs, type
paliers magnétiques.
Le rotor mobile a 5 axes de liberté gérés par 5 paliers
magnétiques actifs.
3 axes de translation (X, Y, Z)
X
X
2 axes de basculement (X, Y)
Les mouvements en relation avec ces axes sont contrôlés
par des capteurs de position. En fonction des informations
de position enregistrées, le contrôleur corrige les écarts pour
ramener le rotor à sa position optimale, en faisant varier le
courant dans les électro-aimants.
A 200
Z
Y
Y
1/2