Pfeiffer Vacuum ATH 2300 M Manuel De L'utilisateur page 10

Une technologie
hybride
Roulements
de secours
REFOULEMENT
Refroidissement
Pfeiffer Vacuum SAS – Manuel de l'utilisateur - ATH 2300 M/MT
Principe de fonctionnement
de la pompe
La pompe ATHM associe les avantages d'une pompe turbomoléculaire
multi-étagée avec ceux d'un étage moléculaire en hélice.
Les étages turbomoléculaires procurent de grandes vitesses
de pompage et un vide limite poussé. Les étages moléculaires
procurent un haut taux de compression et élargissent la tolérance
de pression de refoulement.
* La purge de gaz fournit une excellente protection des roulements de la
pompe pour les applications corrosives et assure le refroidissement du
rotor.
ASPIRATION
A 210
Rotor
Stator
Etage
moléculaire
Moteur
Paliers
magnétiques
Purge*
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