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Maintenance
Procédure
1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire.
2. Dévisser les 3 vis à tête hexagonale de l'unité d'entraînement électronique.
3. Tirez sur l'ancienne unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire, en prenant
7.4.2 Installation de l'unité d'entraînement électronique
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 3
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 21:
1 Vis à six pans creux intérieurs
2 Unité de commande électronique
3 Cache de protection du raccord de vide
Procédure
1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire.
2. Positionnez une nouvelle unité de commande électronique directement sur la base de la pompe.
3. Vissez l'unité d'entraînement électronique sur la pompe turbomoléculaire avec les 3 vis à tête he-
7.4.3 Confirmation de la spécification de vitesse
La vitesse de rotation nominale typique d'une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans
l'unité de commande électronique. Si l'unité de commande électronique est remplacée ou si un autre
type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée.
La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d'un système de sécurité redon-
dant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives.
La confirmation redondante de la vitesse de rotation nominale d'une pompe turbomoléculaire est pos-
sible en réglant le paramètre [P:777] NomSpdConf dans l'unité de commande électronique.
HiPace
10 | 30 | 60 | 80
300
350 | 450
400 | 700 | 800
Tab. 13:
46/66
soin de la maintenir droite.
2
1
Installation de l'unité de commande électronique TC 400
xagonale.
– Couple de serrage : 2,5 Nm
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
3
4
5
4
Obturateur du raccord de vide primaire
5
Partie inférieure de la pompe
Vitesse de rotation nominale
1500 Hz
1000 Hz
1100 Hz
820 Hz
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