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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 350
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 350
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 350 Pompe turbomoléculaire...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations non conformes prévisibles Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Entraînement...
- Page 4 6.2.2 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance » 6.2.3 Fonctionnement via la connexion « E74 » 6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain Mise en marche de la pompe turbo Surveillance des opérations...
- Page 5 Tab. 18: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 19: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 20: Fiche technique pour HiPace 350 avec TC 400 | 24 V Tab. 21: Fiche technique pour HiPace 350 avec TC 400 | 48 V Tab.
- Page 6 Fig. 23: Caractéristiques du débit du gaz en fonction de la vitesse de rotation Fig. 24: Dimensions HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-K Fig. 25: Dimensions HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-F Fig. 26:...
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Plaque signalétique La plaque signalétique de la pompe turbomoléculaire se trouve D-35614 Asslar Berliner Str. 43 dans la partie inférieure de la pompe à vide. HiPace 350 Mod. PM P07X XXXXX Type 12 - - - - - - - -...
- Page 9 A propos de ce manuel Fig. 1: Position des autocollants sur le produit 1 Remarque concernant le manuel de l’utili- Note sur la mise à la terre fonctionnelle sateur 2 Sceau de garantie Plaque signalétique sur la pompe turbomoléculaire 1.3.4 Abréviations Abréviation Signification dans ce document Bride : raccord à...
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 12 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoi-...
- Page 13 Sécurité Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à...
- Page 14 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du per-...
- Page 15 Sécurité ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert. ►...
- Page 16 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
- Page 17 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 18 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l'unité de commande électronique. Les uni- tés de courant Pfeiffer Vacuum fournissent la tension d'alimentation. Fig. 2: Construction HiPace 350 1 Unité de commande électronique TC 400...
- Page 19 ● Manuel de l’utilisateur 3.3 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 20 ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit ► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
- Page 21 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 22 Épaisseur minimum | tage vissage Résistance à la trac- tion HiPace 350 3 mm | > 270 MPa ≥ 1,3 × d 25 Nm ± 10 % HiPace 400 HiPace 450 HiPace 700 HiPace 800 Tab.
- Page 23 ● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque sou- dainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé. ● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 24 1 Raccordement de sûreté, côté client 5.3.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre de vide.
- Page 25 4. Respecter la fixation des brides ISO. 5.3.5 Orientations de montage Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum de la série HiPace sont adaptées à une utilisation avec les pompes de secours de type compression à vide pour un montage dans toutes les positions.
- Page 26 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbomolécu- laire.
- Page 27 Installation Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bri- –...
- Page 28 Installation Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Fixer la pompe turbomoléculaire avec l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure.
- Page 29 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 30 Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 31 – Couple de serrage : 2 Nm. 5.5 Raccordement des accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomo- léculaires hybrides approuvés se trouvent en ligne.
- Page 32 ► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire corres- pondant. ► Observez la configuration existante des connexions existantes. ► Utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum pour la configuration, si nécessaire. 5.6 Raccordement de l’alimentation électrique AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à...
- Page 33 Installation 5.6.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. Fig. 16: Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre Procédure 1.
- Page 34 2. Vérifier que l’interrupteur secteur du pack d’alimentation électrique est coupé avant de procéder au raccordement. 3. Utilisez un câble de raccordement adapté de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum. 4. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCin » sur l’unité de commande électronique et fermer la fermeture à...
- Page 35 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 36 Instructions de fonctionnement sans panneau de commande 1. Utilisez uniquement la fiche d’accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion de l’unité de commande électronique. 2. L’alimentation secteur de la pompe turbomoléculaire ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 37 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de ter- rain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée.
- Page 38 Utilisation Symbole État LED Affichage Signification Désactivé Sans courant Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTI- VÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Activé, clignotement inver- « Groupe de pompage ACTIVÉ », vi- Vert tesse de rotation prescrite non attein- Activé, éclairé...
- Page 39 Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 40 2 et 3 (inspection). Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de res- ponsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine.
- Page 41 ► Vous pouvez effectuer vous-même les opérations de maintenance de niveau 1. ► Utilisez un chiffon non pelucheux et un peu d'isopropanol pour le nettoyage. ► Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. ► Pour toute question relative à la maintenance, contactez le centre Pfeiffer Vacuum Service appro- prié. Action...
- Page 42 1 Remplacement du réservoir de fluide d’exploitation. La fiche technique de sécurité est disponible sur le Pfeiffer Vacuum Download Center. Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire arrêtée ● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique ●...
- Page 43 Maintenance Fig. 18: Démontage du réservoir de fluide d’exploitation 1 Vis à tête hexagonale Tiges capillaires (9×) 2 Bouchon à vis Buse d’injection 3 Joint torique Couvercle protecteur 4 Réservoir du fluide d’exploitation Démontage du réservoir de fluide d’exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2.
- Page 44 Maintenance Fig. 19: Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1 Réservoir du fluide d’exploitation Bouchon à vis 2 Tiges capillaires (9×) Joint torique 3 Buse d’injection Couvercle protecteur 4 Vis à tête hexagonale Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2.
- Page 45 Maintenance AVIS Dommages matériels dus à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits ► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le poste de travail.
- Page 46 Maintenance Procédure 1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire. 2. Dévisser les 3 vis à tête hexagonale de l’unité d’entraînement électronique. 3. Tirez sur l'ancienne unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire, en prenant soin de la maintenir droite. 7.4.2 Installation de l’unité...
- Page 47 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition immédiate du paramètre [P:777].
- Page 48 2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo- moléculaire. 4. Observez la durée de fonctionnement totale de la pompe turbomoléculaire. Si nécessaire, deman- dez à...
- Page 49 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 50 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponi- bles ici.
- Page 51 ● Activez l’unité de courant. ● Unité de commande ● Remplacez l’unité de commande électronique. électronique défectueu- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La pompe turbomoléculaire ne ● Fonctionnement sans ● Raccordez les connexions conformément au démarre pas ; la DEL verte sur appareil de comman- schéma de raccordement de l’unité...
- Page 52 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou de protecteur desserré...
- Page 53 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 54 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 55 Pièces de rechange HiPace 350 12 Pièces de rechange HiPace 350 Fig. 22: Pièces de rechange HiPace 350 Position Désignation Référence Remarque Pièces Unité de commande électroni- se référer à la plaque signalétique en fonction du panneau de que TC 400 connexion Réservoir du fluide d’exploita-...
- Page 56 Accessoires de remise à l'air Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l'unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 57 Refroidissement par eau pour HiPace 60 P/80/350/450 et pour SplitFlow 50/80 PM 016 623 -T avec raccord rapide, 8 mm Refroidissement à eau pour HiPace 350 | HiPace 400 | HiPace 450 | HiPace PM 026 068 -T 700 | HiPace 800 avec raccord rapide 8 mm Vanne de remise à...
- Page 58 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 59 Caractéristiques techniques et dimensions Champ de sélection HiPace® 350 avec TC HiPace® 350 avec TC 400, DN 100 ISO-K 400, DN 100 CF-F Pression limite 1 · 10 5 · 10 Débit pour Ar 270 l/s 270 l/s Débit pour H 300 l/s 300 l/s Débit pour He...
- Page 60 20 mT 20 mT Poids 7,8 kg 10,6 kg Tab. 20: Fiche technique pour HiPace 350 avec TC 400 | 24 V Champ de sélection HiPace® 350 avec TC HiPace® 350 avec TC 400, DN 100 ISO-K 400, DN 100 CF-F Bride de raccordement (entrée)
- Page 61 Champ magnétique axial maximum autorisé 20 mT 20 mT Poids 7,8 kg 10,6 kg Tab. 21: Fiche technique pour HiPace 350 avec TC 400 | 48 V 14.3 Caractéristiques Backing pump: HiScroll 18 1.000 1.100 1.200 Rotation speed [Hz] H [hPa l/s]...
- Page 62 Fluide d’exploitation (huile d’ester) Céramique oxydée, comme demandé Tab. 22: Matières entrant en contact avec la substance du procédé 14.5 Dimensions DN 100 ISO-K M8 (6x) DN 16 ISO-KF Fig. 24: Dimensions HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-K 62/66...
- Page 63 DN 100 ISO-F ( 6 x ) DN 16 ISO-KF 1 2 8 Fig. 25: Dimensions HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-F DN 100 CF-F M8 (6x) DN 16 ISO-KF Fig. 26: Dimensions HiPace 350 | TC 400 | DN 100 CF-F...
- Page 64 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 350 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. ● Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) ●...
- Page 65 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 66 Notizen / Notes:...