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Installation
5.2 Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure
Dommage à la pompe turbomoléculaire à cause d'une force agissant sur le côté vide élevé
En cas de fixation à la partie inférieure de la pompe et simultanément au côté vide élevé à l'aide d'un
raccord tubulaire rigide, il existe un risque que des forces réactives agissent sur la pompe turbomolé-
culaire. Les charges mécaniques ainsi générées peuvent endommager voire détruire la pompe turbo-
moléculaire.
► Créez un raccord flexible vers la bride de vide élevé.
► Respectez les exigences au moment de fixer la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure.
► Si le rotor se bloque soudainement, vérifiez que tous les couples de serrage générés sont absor-
Accessoires requis
● Trous conformes aux dimensions de la pompe turbomoléculaire
● Vis de fixation, classe de force ≥ 8,8, galvanisée
● Rondelle, DIN EN ISO 7090 ou DIN EN ISO 7092
● Plaque de montage fournie par le client
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 6
● Clé à écrou, en alternative pour les boulons six pans DIN 933
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure
1. Retirez les bouchons en plastique de la partie inférieure de la pompe.
2. Placez la pompe turbomoléculaire de champ sur la plaque de montage.
3. Vissez la partie inférieure de la pompe sur la plaque de montage avec le nombre de vis de fixation
Pompe turbomo-
léculaire
HiPace 350
HiPace 400
HiPace 450
HiPace 700
HiPace 800
Tab. 5:
5.3 Raccordement côté vide élevé
5.3.1 Dimensions exigées d'une contre-bride
Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride
Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes
contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fui-
te ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement.
► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées.
► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface.
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bés par la plaque de montage du côté opérateur.
et de rondelles requis.
– Respectez la profondeur de vissage indiquée.
– Respectez le couple de serrage admis.
Plaque de montage
Épaisseur minimum |
Résistance à la trac-
tion
3 mm | > 270 MPa
Exigences relatives à la fixation de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure
AVIS
Taille
Quanti-
Profon-
du file-
té
deur de
tage
vissage
M8
6
≥ 1,3 × d
AVIS
Couple de serra-
ge
25 Nm ± 10 %
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