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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 PLUS
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 PLUS
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 300 PLUS Pompe turbomoléculaire...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations non conformes prévisibles Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Commande...
- Page 4 Modes de fonctionnement 6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement 6.2.2 Fonctionnement via la connexion multifonctions « X3 » 6.2.3 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 6.2.4 Fonctionnement via la connexion « E74 » 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain Mise en marche de la pompe turbo Surveillance des opérations...
- Page 5 Tab. 16: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 17: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 18: Fiche technique pour HiPace 300 Plus | 24 V Tab. 19: Matières entrant en contact avec la substance du procédé...
- Page 6 Démontage de l’unité de commande électronique TC 110 Fig. 22: Installation de l’unité de commande électronique TC 110 Fig. 23: Pièces de rechange HiPace 300 Plus Fig. 24: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-K Fig. 25: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-F Fig.
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Plaque signalétique (exemple) La plaque signalétique de la pompe turbomoléculaire se trouve D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 300 Plus dans la partie inférieure de la pompe à vide. Mod. PM P0X XXX Plaque signalétique de l’unité de commande électronique...
- Page 9 A propos de ce manuel 1.3.4 Abréviations Abrévia- Signification dans ce document tion Bride : raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669 Valeur diamètre (en mm) Courant continu Diamètre nominal comme désignation de grandeur Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz) Unité...
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 12 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoi-...
- Page 13 Sécurité Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à...
- Page 14 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du per-...
- Page 15 Sécurité ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert. ►...
- Page 16 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
- Page 17 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 18 3.1 Fonction La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l'unité de commande électronique. Les uni- tés de courant Pfeiffer Vacuum fournissent la tension d'alimentation. La gamme avec la désignation de propriétés « Plus » caractérise les pompes turbomoléculaiters avec un niveau de vibration particulièrement faible et un faible champ magnétique de fuite.
- Page 19 ● Unité de commande électronique TC 110 3.2 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 20 ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit ► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
- Page 21 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 22 Installation 5.2 Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure AVIS Dommage à la pompe turbomoléculaire à cause d’une force agissant sur le côté vide élevé En cas de fixation à la partie inférieure de la pompe et simultanément au côté vide élevé à l'aide d’un raccord tubulaire rigide, il existe un risque que des forces réactives agissent sur la pompe turbomolé- culaire.
- Page 23 ● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque sou- dainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé. ● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 24 Raccordements de sûreté, côté client 5.3.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre de vide.
- Page 25 Installation Installation du compensateur de vibrations 1. Seul un compensateur de vibrations à passage vertical peut être installé. 2. Tenir compte de la résistance à l’écoulement. 3. Fixer la pompe turbo également à la bride de vide secondaire. 4. Respecter la fixation des brides ISO. 5.3.5 Orientations de montage AVIS Endommagement de la pompe en cas d’installation dans l’orientation de montage incorrecte...
- Page 26 Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, vis à tête hexagonale et trou taraudé Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo.
- Page 27 Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou taraudé Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bri- –...
- Page 28 Raccord de bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous taraudés Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Fixer la pompe turbo avec l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure.
- Page 29 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 30 Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 31 5.5 Raccordement d’accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomo- léculaires hybrides approuvés se trouvent en ligne.
- Page 32 ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.6.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. 32/66...
- Page 33 Installation Fig. 17: Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre Procédure 1. Utilisez la prise de terre de la pompe turbomoléculaire (filet femelle M4). 2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 5.6.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort.
- Page 34 5. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCout » sur le pack d’alimentation électroni- que et fermer la fermeture à baïonnette. 6. Si vous utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum : raccordez le raccord « RS-485 » à l’appareil de commande en utilisant un câble d’extension qui convient.
- Page 35 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 36 Fonctionnement sans unité de commande 1. Utilisez uniquement les câbles de raccordement agréés Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion X3 de l'unité de commande électronique. 2. L'alimentation secteur de la pompe turbo ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 37 ► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique avec la version E74. 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain Les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de terrain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée.
- Page 38 Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionne- ment avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 39 Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 40 2 et 3 (inspection). Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de res- ponsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine.
- Page 41 ► Vous pouvez effectuer vous-même les opérations de maintenance de niveau 1. ► Utilisez un chiffon non pelucheux et un peu d'isopropanol pour le nettoyage. ► Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. ► Pour toute question relative à la maintenance, contactez le centre Pfeiffer Vacuum Service appro- prié. Action...
- Page 42 ● Cette information peut être trouvée sur la plaque signalétique de la pompe. La fiche technique de sécurité est disponible sur le Pfeiffer Vacuum Download Center. Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire arrêtée ●...
- Page 43 Maintenance Fig. 19: Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1 Vis à tête hexagonale Réservoir du fluide d'exploitation 2 Bouchon à vis Buse d’injection 3 Joint torique Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2.
- Page 44 Maintenance Fig. 20: Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1 Réservoir du fluide d'exploitation Bouchon à vis 2 Buse d’injection Joint torique 3 Vis à tête hexagonale Cache de protection Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1. Insérez le nouveau réservoir du fluide d'exploitation dans le corps de palier avec le côté feutré en direction de la buse d’injection.
- Page 45 Maintenance Sauvegarde des réglages effectués par le client Les paramètres d’usine sont toujours activés par défaut sur les unités de rechange. Tous les réglages effectués par le client sur l’unité de commande électronique d’origine sont per- dus lors de son remplacement. Pour conserver vos réglages personnalisés, vous pouvez : 1.
- Page 46 Tab. 12: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Accessoires requis ● Appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de fonctionnement de l’unité de commande électronique. Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale 1.
- Page 47 Maintenance Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition immédiate du paramètre [P:777]. 47/66...
- Page 48 2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo- moléculaire. 4. Observez la durée de fonctionnement totale de la pompe turbomoléculaire. Si nécessaire, deman- dez à...
- Page 49 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 50 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponi- bles ici.
- Page 51 ● Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour détecter à-coups, le palier est dé- tout bruit étrange fectueux ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Point de consigne de ● Utilisez un appareil de commande pour étendre temps d’accélération ré- la valeur de réglage du temps d’accélération glé...
- Page 52 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou de protecteur desserré...
- Page 53 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 54 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 55 Pièces de rechange 12 Pièces de rechange Fig. 23: Pièces de rechange HiPace 300 Plus Posi- Désignation Numéro de commande Remarque Pièces tion Unité de commande se référer à la plaque signaléti- en fonction du pan- électronique TC 110 neau de connexion Réservoir du fluide d’ex-...
- Page 56 Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Accessoires de ventilation Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 57 Accessoires Description Référence de commande Kit de fixation pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, goujons PM 016 455 -T filetés Kit de fixation pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, vis à tête PM 016 450 -T hexagonale Jeu de vis hexagonales pour brides avec trou traversant, DN 100 CF-F PM 016 690 -T...
- Page 58 Accessoires Description Référence de commande IKT 010, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de faible in- PT R72 100 tensité IKT 011, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de forte inten- PT R73 100 sité Tab. 15: Accessoires 58/66...
- Page 59 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 60 Caractéristiques techniques et dimensions Classification étendue HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus avec TC 110 avec TC 110 avec TC 110 Taux de compression pour He > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 Taux de compression pour N >...
- Page 61 Poids 5,8 kg 7,8 kg 6,1 kg Tab. 18: Fiche technique pour HiPace 300 Plus | 24 V 14.3 Substances en contact avec la substance à pomper Substances en contact avec la substance à pomper Alliage d'aluminium Acier inoxydable Aimants en terres rares Plastiques renforcés de fibres de carbone...
- Page 62 Caractéristiques techniques et dimensions DN 100 ISO-K 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Fig. 24: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Fig. 25: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-F DN 100 CF-F 18.3 DN 16 ISO-KF...
- Page 63 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 300 Plus Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité...
- Page 64 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 65 65/66...
- Page 66 Notizen / Notes:...