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Fig. 18:
1 Vis à tête hexagonale
2 Bouchon à vis
3 Joint torique
4 Réservoir du fluide d'exploitation
Démontage du réservoir de fluide d'exploitation
1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau.
2. Placez la pompe turbomoléculaire sur la bride de vide secondaire fermée.
3. Dévissez toutes les vis à tête hexagonale du culot fileté sur la base de la pompe.
4. Retirez le culot fileté.
5. Retirez le joint torique de la gorge à l'aide d'un récolteur de joint torique.
6. Retirer le réservoir de fluide d'exploitation du corps de palier à l'aide des pinces.
7. Tirez les anciennes tiges capillaires hors de la base de la pompe à l'aide des pinces.
8. Nettoyez le culot fileté avec un chiffon propre, non pelucheux.
7.3.2 Installation du réservoir de fluide d'exploitation
Consommables requis
● Gants de laboratoire
● Réservoir du fluide d'exploitation
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 3
● Pinces
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
2
1
Démontage du réservoir de fluide d'exploitation
– Ne rayez pas la surface.
– N'utilisez pas de détergent.
5
3
4
5
Tiges capillaires (9×)
6
Buse d'injection
7
Couvercle protecteur
Maintenance
6
7
43/66
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