Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 Manuel De L'utilisateur
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- Manuel de l'utilisateur (24 pages) ,
- Manuel de l'utilisateur (24 pages)
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Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 300
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 300 Pompe turbomoléculaire...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations non conformes prévisibles Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Entraînement...
- Page 4 Remettre en service Recyclage et mise au rebut Informations générales sur la mise au rebut Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Dysfonctionnements Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Pièces de rechange HiPace 300 Accessoires 13.1 Informations sur les accessoires 13.2 Commande d’accessoires Caractéristiques techniques et dimensions...
- Page 5 Tab. 14: Aperçu des pièces détachées disponibles pour HiPace 300 Tab. 15: Accessoires Tab. 16: Autres accessoires pour HiPace 300 | 48 V CC Tab. 17: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 18: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab.
- Page 6 Installation de l’unité de commande électronique TC 400 Fig. 22: Pièces de rechange HiPace 300 Fig. 23: Dimensions HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-K Fig. 24: Dimensions HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-F Fig. 25:...
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Plaque signalétique La plaque signalétique de la pompe turbomoléculaire se trouve D-35614 Asslar dans la partie inférieure de la pompe à vide. HiPace 300 Mod. PM P05 _ _ _ _ Plaque signalétique de l’unité de commande électronique Type 12...
- Page 9 Bride : Raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669 Valeur diamètre (en mm) Courant continu Display Control Unit (appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum). Diamètre nominal comme désignation de grandeur Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) Unité...
- Page 10 A propos de ce manuel 1.4 Justificatif de marque de fabrique ● DeviceNet ® est une marque de fabrique de Open DeviceNet Vendor Association Inc. ● Profibus ® est une marque de fabrique déposée de Profibus Nutzerorganisation e.V. ● EtherCAT ® une marque de fabrique déposée et une technologie brevetée par Beckhoff Automa- tion GmbH, Allemagne.
- Page 11 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 12 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 13 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoi-...
- Page 14 Sécurité Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à...
- Page 15 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du per-...
- Page 16 Sécurité ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert. ►...
- Page 17 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
- Page 18 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 19 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l'unité de commande électronique. Les uni- tés de courant Pfeiffer Vacuum fournissent la tension d'alimentation. Fig. 2: Construction HiPace 300 1 Unité de commande électronique TC 400...
- Page 20 ● Manuel de l’utilisateur 3.3 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 21 ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit ► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
- Page 22 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 23 ● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque sou- dainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé. ● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 24 1 Raccordement de sûreté, côté client 5.2.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre de vide.
- Page 25 4. Respecter la fixation des brides ISO. 5.2.5 Orientations de montage Les pompes turbo Pfeiffer Vacuum de la série HiPace sont adaptées à une utilisation avec les pompes de secours de type compression à vide pour un montage dans toutes les positions.
- Page 26 Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, vis à tête hexagonale et trou taraudé Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo.
- Page 27 Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou traversant Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
- Page 28 Raccord de bride ISO-F, goujons et trous taraudés Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Visser les goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous taraudés de la contre-bride.
- Page 29 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 30 électronique de la pompe turbomoléculaire (p. ex. coffret de relais ou câble de connexion). Fig. 15: Exemple d'un raccordement de vide préliminaire sur HiPace 300 1 Raccord de vide préliminaire pompe turbomo- Composants de vide DN 16 ISO-KF léculaire 2 Anneau de centrage Pompe de secours (p.
- Page 31 ► Respecter les instructions d'installation du manuel de l'utilisateur concernant l'accessoire corres- pondant. ► Observer la configuration existante des connexions existantes. ► Utiliser le module d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum DCU 002 ou un DCU avec pack d’alimentation électrique intégré. 31/66...
- Page 32 ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.5.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. Fig. 16: Exemple : Raccordement du câble de mise à...
- Page 33 2. Vérifier que l’interrupteur secteur du pack d’alimentation électrique est coupé avant de procéder au raccordement. 3. Utilisez un câble de raccordement adapté de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum. 4. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCin » sur l’unité d’entraînement électronique et fermer la fermeture à...
- Page 34 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 35 Instructions de fonctionnement sans panneau de commande 1. Utiliser uniquement la fiche d'accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion de l'unité d’entraînement électronique. 2. L'alimentation secteur de la pompe turbo ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 36 électronique. 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de ter- rain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée.
- Page 37 Les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d'avertissement ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l'affichage et l'appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 38 Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 39 Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air rapide de grands volumes en 4 étapes. 1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à...
- Page 40 2 et 3 (inspection). Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de res- ponsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine.
- Page 41 ► Vous pouvez effectuer vous-même les opérations de maintenance de niveau 1. ► Utilisez un chiffon non pelucheux et un peu d'isopropanol pour le nettoyage. ► Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. ► Pour toute question relative à la maintenance, contactez le centre Pfeiffer Vacuum Service appro- prié. Action...
- Page 42 ● Cette information peut être trouvée sur la plaque signalétique de la pompe. La fiche technique de sécurité est disponible sur le Pfeiffer Vacuum Download Center. Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire arrêtée ●...
- Page 43 Maintenance Fig. 18: Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1 Vis à tête hexagonale Tiges capillaires (9×) 2 Bouchon à vis Buse d’injection 3 Joint torique Cache de protection 4 Réservoir du fluide d'exploitation Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1.
- Page 44 Maintenance Fig. 19: Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1 Réservoir du fluide d'exploitation Bouchon à vis 2 Tiges capillaires (9×) Joint torique 3 Buse d’injection Cache de protection 4 Vis à tête hexagonale Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1.
- Page 45 Maintenance AVIS Dommages matériels dus à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits ► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le poste de travail.
- Page 46 Maintenance Procédure 1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire. 2. Dévisser les 3 vis à tête hexagonale de l’unité d’entraînement électronique. 3. Tirez sur l'ancienne unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire, en prenant soin de la maintenir droite. 7.4.2 Installation de l’unité...
- Page 47 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition immédiate du paramètre [P:777].
- Page 48 2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo- moléculaire. 4. Observez la durée de fonctionnement totale de la pompe turbomoléculaire. Si nécessaire, deman- dez à...
- Page 49 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 50 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponi- bles ici.
- Page 51 ● Allumez le bloc d’alimentation. ● Unité d’entraînement ● Remplacer l’unité d’entraînement électronique. électronique défectueuse ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La pompe turbomoléculaire ne dé- ● Fonctionnement sans ● Raccordez les connexions conformément au marre pas ; la LED verte sur l'unité...
- Page 52 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Bouclier pare-éclats ou ● Vérifiez et corrigez le siège du bouclier pare- écran protecteur desserré...
- Page 53 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 54 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 55 Réservoir du fluide d’ex- se référer à la plaque signa- tiges capillaires et joint ploitation létique torique incl. Raccord d'orientation P 4131 007 D Refroidissement à eau Tab. 14: Aperçu des pièces détachées disponibles pour HiPace 300 55/66...
- Page 56 Accessoires de remise à l'air Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l'unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 57 TC 400/1200 et TM 700 Refroidissement par air pour HiPace 300 avec TC 400 PM Z01 302 Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour HiPace 300 avec TC 400 et PM Z01 312 TM 700, TCP 350 Manchon chauffant pour HiPace® 300 avec TC 400, 230 V CA, fiche à con-...
- Page 58 TPS 400, unité de courant 48 V DC, pour fixation murale/sur rail standard PM 061 343 -T TPS 401, unité de courant 48 V DC, 19", connecteur partiel 3HU PM 061 347 -T Tab. 16: Autres accessoires pour HiPace 300 | 48 V CC 58/66...
- Page 59 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 60 Caractéristiques techniques et dimensions Désignation du type HiPace® 300 HiPace® 300 HiPace® 300 Taux de compression pour He > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 Taux de compression pour N > 1 · 10 > 1 · 10 >...
- Page 61 -20 – 55 °C stockage Poids 6,7 kg 8,7 kg 7 kg Tab. 19: Fiche technique HiPace 300 | 24 V Désignation du type HiPace® 300 HiPace® 300 HiPace® 300 Bride de raccordement (entrée) DN 100 ISO-K DN 100 CF-F...
- Page 62 Poids 6,7 kg 8,7 kg 7 kg Tab. 20: Fiche technique HiPace 300 | 48 V 14.3 Substances en contact avec la substance à pomper Substances en contact avec la substance à pomper Alliage d'aluminium Acier inoxydable Aimants en terres rares Plastiques renforcés de fibres de carbone...
- Page 63 Caractéristiques techniques et dimensions DN 100 ISO-K 18.6 DN 16 ISO-KF Ø8 Fig. 23: Dimensions HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-K DN 100 CF-F 18.6 DN 16 ISO-KF Ø 8 Fig. 24: Dimensions HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-F 18.6...
- Page 64 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 300 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité...
- Page 65 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 66 Notizen / Notes:...