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Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 M Manuel De L'utilisateur
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MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction du manuel de l'utilisateur
HIPACE 300 M
Pompe turbomoléculaire

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Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 M

  • Page 1 MANUEL DE L’UTILISATEUR Traduction du manuel de l‘utilisateur HIPACE 300 M Pompe turbomoléculaire...
  • Page 2 Table des matières Table des matières A propos de ce manuel ......... . . 4 1.1 Validité...
  • Page 3 Pièces de rechange HiPace 300 M ....... . . 40...
  • Page 4 A propos de ce manuel Validité Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sé- curité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de déve-...
  • Page 5 A propos de ce manuel 1.2.2 Pictogrammes Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette interdiction peut générer des accidents graves Avertissement contre le danger représenté par le symbole. Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette obligation peut générer des accidents graves.
  • Page 6 ● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées. ● Alimentation électrique : L'alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire doit répondre aux exigences de double isolation entre la tension d'entrée du secteur et la tension de fonctionnement selon CEI 61010 et CEI 60950. Pfeiffer Vacuum re-...
  • Page 7 Sécurité commande à cet effet d'utiliser des blocs d’alimentation électrique et accessoires d'origine. Dans ce cas uniquement, Pfeiffer Vacuum peut garantir la confomité aux exigences des directives européennes et nord-américaines. ● Un raccord avec le conducteur de protection (PE) est recommandé (classe de protection III).
  • Page 8 à la perte de la garantie.  N'ouvrez pas le produit durant la période de garantie !  Si les applications nécessitent des intervalles d'entretien plus courts que la période de garantie, contacter le service après-vente Pfeiffer Vacuum.
  • Page 9 Manutention et stockage Manutention et stockage Manutention  Réutilisez le conteneur de transport de pompe à vide. – Transporter ou expédier les pompes à vide de préférence dans leur emballage d'origine.  Il ne faut retirer les obturateurs de protection du côté vide élevé et du côté vide pri- maire qu'au moment du raccordement.
  • Page 10 Exemple de plaque signalétique 4.1.3 Contenu de la livraison ● HiPace 300 M avec TM 700 et 48 V CC ● Vanne de remise à l'air PM Z01 291 ● Obturateurs pour les brides de vide élevé et de vide primaire...
  • Page 11 Description du produit Fonction La pompe turbomoléculaire HiPace 300 M forme une unité avec le contrôleur électro- nique d'entraînement et des paliers magnétiques TM 700 (« Commande électronique d'entraînement » dans ce qui suit). Pour assurer l'alimentation électrique, il ne faut utili- ser que des blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum (par ex.
  • Page 12 Description du produit Domaine d'application Les pompes HiPace 300 M doivent être installées et utilisées dans les conditions envi- ronnementales suivantes : Lieu de mise en place à l'abri des intempéries (en intérieur) Type de protection admissible IP 54 Classification des protections Température...
  • Page 13 Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont décrites en détails dans leur manuel de l’utilisateur respectif.
  • Page 14 5.2.2 Utilisation d’un pare-éclats ou une grille de protection Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou grille de protection dans la bride de vide élevé protègent les pompes turbomoléculaires contre les corps étrangers provenant des enceintes. Cette protection réduit le débit de la pompe.
  • Page 15 Installation Positions de montage Avec l’utilisation de pompes primaires sèches les pompes HiPace de Pfeiffer Vacuum sont conçues pour le montage dans toutes les positions.  Étayez ou suspendez les canalisations en amont de la pompe à vide. Les canalisa- tions de pompage ne doivent transmettre aucune contrainte sur la pompe lorsqu’elle...
  • Page 16 Installation d’une bride ISO-K avec une bride ISO-K Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés : ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats ...
  • Page 17 ». Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés : ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats Boulon à six pans avec trou fileté...
  • Page 18 ». Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés : ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats Boulon à six pans avec trou fileté...
  • Page 19 », « goujon fileté et trou fileté » et « goujon fileté et perçage traver- sant ». ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● Un joint cuivre ● Une grille de protection ou un pare-éclats en option.
  • Page 20 Installation Raccorderdement du côté vide primaire Recommandation : utiliser comme pompe primaire une pompe à vide appropriée de l’offre de Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risques sanitaires causés par des gaz toxiques Les gaz de procédé peuvent être dangereux pour la santé et/ou pour l'environnement.
  • Page 21 Installation Commande de la pompe à vide primaire Il est possible de commander la pompe primaire par l'intermédiaire de la commande électronique d'entraînement de la pompe turbomoléculaire avec le boîtier de relais ou le câble de raccordement dans l’offre accessoires. ...
  • Page 22 Alimentation et distribution électrique Pour l'alimentation en tension de la commande électronique d’entraînement TM 700, seuls les blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum peuvent être utilisés (par ex. TPS 400 ou DCU 400). Des câbles de liaison sont disponibles dans l’offre accessoires de Pfeiffer Va- cuum.
  • Page 23 électronique d'entraînement.  Pour raccorder deux appareils à un raccord pour accessoires, utilisez le répartiteur en Y (connecteur en Y) dans l’offre des accessoires Pfeiffer Vacuum.  Raccorder de l'adaptateur au raccord coloré rouge au niveau de la TM 700.
  • Page 24 5.7.1 Vanne de remise à l'air La vanne de remise à l'air de Pfeiffer Vacuum sert à remettre automatiquement la pompe à l'air après une mise hors tension ou une coupure secteur. La pression d'entrée max. autorisée est de 1500 hPa absolus.
  • Page 25 ● Le débit de purge de gaz neutre s'élève à 12-15 sccm pour la HiPace 300 M. Alimentation en purge de gaz neutre avec vanne de commande Fig.
  • Page 26 Installation AVIS Températures excessives dangereuses Des températures élevées, résultant de l’application, peuvent entraîner des tempéra- tures excessives qui risquent d'endommager la pompe turbomoléculaire.  En cas d'utilisation d'un chauffage du carter ou de fonctionnement avec enceintes à vide chauffées, il est impératif d'utiliser le refroidissement à l'eau. ...
  • Page 27 Installation – En cas de branchement double (par ex. par une vanne de remise à l'air), utilisez un répartiteur en Y issu de l’offre accessoires.  La valeur prédéfinie pour la chemise chauffante est « accessory B2 ».  Assurez l'alimentation électrique de la boîte à relais conformément au manuel de l’uti- lisateur de l'accessoire.
  • Page 28 Installation 5.7.5 Refroidissement à eau Les pompes turbomoléculaires HiPace 300 M avec TM 700 sont refroidies à l'eau en standard. ● En présence d'une pression primaire élevée (> 0,1 hPa) et/ou d’une utilisation avec débit de gaz important, il faudra utiliser au choix le refroidissement à l'air ou à l'eau.
  • Page 29  En présence d'une conjugaison de ces sollicitations, appliquer des valeurs limites ré- duites.  Le cas échéant, consulter Pfeiffer Vacuum. AVIS Risque de détruire la pompe En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses molécu- laires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe.
  • Page 30 Utilisation 6.1.1 Calibrage des paliers magnétiques L'analyse sensorielle des paliers magnétiques déclenche, dans de rares cas, un recali- brage lors de l'activation de la commande électronique d'entraînement. L'apparition de quelques bruits de claquement métalliques réguliers n'est pas liée à l'usure des paliers de scours.
  • Page 31 ● manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement TM 700 » 6.3.2 Utilisation avec DCU ou HPU  En cas d'exploitation avec un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, tenez compte des documents suivants : ● Manuel de l’utilisateur « DCU »...
  • Page 32 L'état d'équilibre calculé en % du balourd maximal possible du rotor est résumé par la commande électronique d'entraînement et peut être observé par l'inter- face RS-485 grâce à un PC ou un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum. Arrêt et remise à l’air 6.5.1...
  • Page 33  Ne remplacez pas la vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum par d'autres dispositifs d'alimentation en air.  Il est recommandé de ventiler via la vanne de remise à l’air Pfeiffer Vacuum jusqu’à une vitesse de rotation de 6000 1/min avant d’utiliser des dispositifs de remise à l'air complémentaire.
  • Page 34 Consignes fondamentales pour la remise à l’air rapide Remise à l’air d'enceinte en deux étapes. Pour connaître les détails afférents aux solu- tions personnalisées, consultez Pfeiffer Vacuum.  Remise à l'air avec une vitesse de montée en pression de max. 15 hPa/s pendant 20 secondes.
  • Page 35  Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. AVIS Exclusion de responsabilité Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité des dégâts, perturbations de service, dom- mages corporels et dégâts matériels imputables à une maintenance réalisée de façon inexperte. Les recours en responsabilité et en garantie deviennent irrecevables.
  • Page 36 Entretien / Remplacement Fig. 13: Montage / Démontage de la TM 700 Commande électronique d’entraînement Vis à six pans creux  N'appliquez aucune contrainte mécanique á la commande électronique d'entraîne- ment.  Arrêter la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laisser la refroidir. ...
  • Page 37  Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon non pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel.  Le cas échéant, confiez le nettoyage complet de la pompe turbomoléculaire au SAV Pfeiffer Vacuum.  Installer et mettre en service conformément au manuel de l’utilisateur. Mise au rebut Les produits et leurs composants internes (composants mécaniques ou électriques,...
  • Page 38  Reset via la broche 13 dans le raccord « remote »  Affichage différencié des défauts possible via le rac- cord « RS 485 »  Contactez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. Si vous ne disposez d’aucun appareil de commande Pfeiffer Vacuum, contactez le SAV Pfeiffer Va- cuum.
  • Page 39  Remplissez le formulaire « Demande de service » et renvoyez-le par fax ou mail à l'adresse de votre centre de service Pfeiffer Vacuum service compétent.  A cet envoi, joignez la confirmation de prise en charge transmise par Pfeiffer Vacuum.  Remplissez la déclaration de contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi.
  • Page 40 Pièces de rechange HiPace 300 M 11 Pièces de rechange HiPace 300 M Pos. Désignation Modèle Numéro de com- Remarques Pièces Quantité com- mande mandée 15.5 Raccord fileté orientable P 4131 007 E Refroidissement à eau Commande électronique d'en- voir plaque signalé- dépendant du panneau de raccor-...
  • Page 41 DN 100 ISO-K DN 100 CF-F DN 100 ISO-F Kit de fixation pour HiPace 300 M, DN 100 ISO-K, avec anneau de cen- PM 016 775 -T trage recouvert et boulons-agrafes à tête bombée Kit de fixation pour HiPace 300 M, DN 100 ISO-K, avec anneau de cen- PM 016 777 -T trage, grille de protection et boulons-agrafes à...
  • Page 42 Accessoires Désignation DN 100 ISO-K DN 100 CF-F DN 100 ISO-F Prise d'alimentation secteur pour TC 400/TM 700, coudée P 4723 101 P 4723 101 P 4723 101 Prise d'alimentation secteur TC 400/TM 700, droite P 4723 100 P 4723 100 P 4723 100 Adaptateur de commande à...
  • Page 43 Caractéristiques techniques et dimensions 13 Caractéristiques techniques et dimensions 13.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Va- cuum: Les valeurs maximales se réfèrent uniquement au cas où l'entrée constitue la sol- licitation unique. ● Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5 ●...
  • Page 44 Caractéristiques techniques et dimensions ® ® ® Paramètres HiPace 300 M HiPace 300 M HiPace 300 M Vide primaire max. pour Ar 20 hPa 20 hPa 20 hPa Vide primaire max. pour H 8 hPa 8 hPa 8 hPa Vide primaire max. pour He 19 hPa 19 hPa 19 hPa...
  • Page 45 Ø150 DN 16 ISO-KF / G1/4" DN 100 ISO-K Ø162 G1/8" Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) Fig. 14: HiPace 300 M, DN 100 ISO-K Ø150 DN 16 ISO-KF / G1/4" DN 100 ISO-F Ø162 G1/8" Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) Fig.
  • Page 46 ● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE ● Limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE Le responsable de la compilation des documents techniques est M. Helmut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. HiPace 300 M Normes harmonisées et normes nationales appliquées :...
  • Page 47 Notizen / Notes:...
  • Page 48 UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits.