Description du produit
3 Description du produit
3.1 Fonction
La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l'unité de commande électronique. Les uni-
tés de courant Pfeiffer Vacuum fournissent la tension d'alimentation.
1
15
Fig. 2:
1 Unité de commande électronique TC 400
2 Obturateur de protection de la connexion de
3 Corps de pompe, aluminium
4 Raccord de vide secondaire, DN 100 CF-F
5 Rotor turbo
6 Corps de pompe, acier inoxydable
7 Partie inférieure de la pompe
8 Borne de connexion de terre (alternative :
3.1.1 Refroidissement
● Refroidissement par convexion
● Refroidissement par air (option)
● Refroidissement par eau (option)
L'unité de commande électronique régule automatiquement l'arrêt de la commande en cas de tempéra-
ture excessive.
3.1.2 Paliers du rotor
pompe turbo à paliers hybrides
● Côté vide secondaire : paliers magnétiques permanents sans usure
● Côté vide préliminaire : roulement à billes en céramique
La lubrification permanente du palier du rotor côté vide préliminaire est assurée par un réservoir de flui-
de d'exploitation.
18/66
2
14
12
11
13
Construction HiPace 350
vide secondaire
surface de montage du refroidissement par
air)
4
3
9
10
9
Surface de montage pour le refroidissement par
air (alternative : borne de connexion de terre)
10
Vis de ventilation
11
Cache de protection pour raccord de vide préli-
minaire, DN 16 ISO-KF
12
Raccord de la purge de gaz neutre
13
Panneau de raccordement de l'unité de com-
mande électronique
14
Prise de raccordement pour tension d'alimenta-
tion DCin
15
Affichage du mode de travail à diodes électrolu-
minescentes
5
6
7
8