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Pfeiffer Vacuum HIPACE 10 Manuel De L'utilisateur
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MANUEL DE L'UTILISATEUR
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Traduction d'original
HIPACE 10
Pompe turbomoléculaire

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Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 10

  • Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 10 Pompe turbomoléculaire...
  • Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
  • Page 3 Utilisations incorrectes envisageables Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Identification du produit 3.1.1 Types de produit 3.1.2 Fonctionnalités du produit Propriétés fonctionnelles...
  • Page 4 Remettre en service Recyclage et mise au rebut Informations générales sur la mise au rebut Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Dysfonctionnements Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Pièces de rechange HiPace 10 Accessoires Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités 14.2 Fiche technique...
  • Page 5 Tab. 10: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbo Tab. 11: Dépanner les pompes turbomoléculaires Tab. 12: Pièces de rechange disponibles Tab. 13: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 14: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 15: HiPace 10 5/56...
  • Page 6 à bain d’huile Fig. 5: Raccord à bride pour DN 25 sur DN 25 ISO-KF Fig. 6: Exemple d’un raccordement de vide primaire sur HiPace 10 Fig. 7: Exemple de raccordement d'accessoires via adaptateur TCS 12 Fig. 8: Exemple : raccorder le câble de terre...
  • Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
  • Page 8 Signification dans ce document Valeur diamètre (en mm) Courant continu Display Control Unit (unité de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum). Diamètre nominal comme désignation de grandeur Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) Unité...
  • Page 9 A propos de ce manuel Abréviation Signification dans ce document [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous forme de nombres à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte des- cription. Exemple : [P:312] version logicielle Interrupteur S1 sur l’unité...
  • Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
  • Page 11 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
  • Page 12 Sécurité Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ►...
  • Page 13 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi- ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opéra- tions de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à...
  • Page 14 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité...
  • Page 15 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
  • Page 16 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
  • Page 17 3 Description du produit 3.1 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
  • Page 18 Description du produit Fig. 2: Construction HiPace 10 1 Unité de commande électronique TC 110 Adaptateur de raccord de vide primaire 2 Couvercles d’obturation (côtés palier) Couvercle protecteur (raccord de vide primaire) 3 Corps de pompe Borne de connexion de masse 4 Trous de fixation Connexion multifonctions «...
  • Page 19 ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Consignes pour un transport sécurisé ► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
  • Page 20 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
  • Page 21 En cas de blocage soudain du rotor, les couples générés par le système et la bride de vide élevé doi- vent être absorbés. Les éléments d’installation pour pompe turbomoléculaire ont été spécialement con- çus par Pfeiffer Vacuum. Couple Charge axiale Planéité...
  • Page 22 Raccordement de sûreté, côté client 5.2.3 Utiliser un écran à mailles Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec un écran à mailles dans la bride de vide élevé protè- gent la pompe turbomoléculaire contre les matières étrangères des enceintes. La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire est réduite en fonction des valeurs de référence de passage et de la...
  • Page 23 Installation 25 ° max Fig. 4: Alignement recommandé du raccord de vide primaire lors de l’utilisation de pompes primaires à bain d’huile Détermination de l’orientation horizontale de montage de la pompe turbomoléculaire avec des pompes primaires à bain d’huile 1. Alignez toujours le raccord de vide primaire verticalement et vers le bas. –...
  • Page 24 Installation Établir le raccord de vide élevé 1. Utilisez seulement le kit de montage approuvé de Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Assurez-vous que les surfaces d’étanchéité sont propres et non endommagées. 3. Raccordez la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
  • Page 25 ► Respectez les instructions d'installation du manuel de l'utilisateur concernant l'accessoire corres- pondant. ► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes. ► Utilisez le module d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum DCU 002 ou un DCU avec pack d’alimentation électrique intégré. 25/56...
  • Page 26 ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.5.1 Mettre à la terre la pompe à vide Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. Fig. 8: Exemple : raccorder le câble de terre...
  • Page 27 Installation AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoi- res) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement des pièces, d’où...
  • Page 28 électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose d’un nom- bre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par paramètres sont as- surés par les unités de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum, ou en externe via RS-485 utilisant le protocole Pfeiffer Vacuum.
  • Page 29 ► Voir le manuel de l'utilisateur de l’unité d’entraînement électronique. 6.2.3 Fonctionnement via l'unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum Grâce à la connexion d'un écran et d'un panneau de commande Pfeiffer Vacuum, la pompe turbo peut être contrôlée par l'intermédiaire des paramètres fixés dans l'unité d’entraînement électronique.
  • Page 30 Utilisation 6.2.4 Fonctionnement via un bus de terrain Les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de terrain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée. Les éléments suivants sont disponibles : ●...
  • Page 31 Utilisation Symbole État LED Affichage Signification Désactivé Sans courant Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTI- VÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Activé, clignotement inver- « Groupe de pompage ACTIVÉ », vi- Vert tesse de rotation prescrite non attein- Activé, éclairé...
  • Page 32 Utilisation 6.5.2 Remettre à l’air AVIS Endommagement de la pompe turbomoléculaire lié à une augmentation inacceptable de la pression pendant la mise à l’air Un degré inacceptable de remontée de pression soumet le rotor et le palier de la pompe turbomolé- culaire à...
  • Page 33 4. Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. 5. Le réservoir du fluide d'exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans. 6. Demander à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins tous les 4 ans.
  • Page 34 ► Retirez uniquement les joints annulaires avec un outil de montage pour joint torique. La HiPace 10 a deux réservoirs de fluide d’exploitation pour la lubrification des roulements à billes, avec ou sans tiges capillaires en fonction de la construction.
  • Page 35 Maintenance Fig. 10: Retirer le réservoir de fluide d’exploitation 1 Vis à six pans creux intérieurs Réservoir du fluide d’exploitation 2 Bouchon à vis Tiges capillaires (6×), s’il y a lieu 3 Joint torique Support de palier Retirer le réservoir de fluide d’exploitation 1.
  • Page 36 Maintenance Fig. 11: Assembler le réservoir de fluide d’exploitation 1 Support de palier Vis à six pans creux intérieurs 2 Réservoir du fluide d’exploitation Bouchon à vis 3 Tiges capillaires (6×), s’il y a lieu Joint torique Assurez-vous de l’orientation d’installation du réservoir du fluide d’exploitation. Rondelles en feutre avec les deux cames alignées sur l’orientation d’installation.
  • Page 37 Maintenance Fig. 12: Retirer le réservoir de fluide d’exploitation 1 Vis à six pans creux intérieurs Réservoir du fluide d’exploitation 2 Bouchon à vis Tiges capillaires (6×), s’il y a lieu 3 Joint torique Support de palier Retirer le réservoir de fluide d’exploitation 1.
  • Page 38 Maintenance Fig. 13: Assembler le réservoir de fluide d’exploitation 1 Support de palier Vis à six pans creux intérieurs 2 Réservoir du fluide d’exploitation Bouchon à vis 3 Tiges capillaires (6×), s’il y a lieu Joint torique Assurez-vous de l’orientation d’installation du réservoir du fluide d’exploitation. Rondelles en feutre avec les deux cames alignées sur l’orientation d’installation.
  • Page 39 Maintenance 180° Fig. 14: Séquence d’assemblage des vis du couvercle d’obturation 1 Côté d’entraînement du couvercle d’obturation Côté opposé du couvercle d’obturation avec avec marquage marquage Serrer les vis du couvercle d’obturation 1. Placez la pompe turbomoléculaire à plat sur la table. 2.
  • Page 40 Maintenance 7.4 Remplacement de l’unité de commande électronique AVIS Endommagement de la pompe turbomoléculaire et de l'unité d’entraînement électronique en cas de déconnexion incorrecte des composants Même après avoir mis hors circuit l'alimentation secteur, la pompe turbomoléculaire continue de four- nir de l'énergie électrique tant qu'elle n'est pas complètement à l'arrêt. Si la pompe turbomoléculaire et l'unité...
  • Page 41 Tab. 10: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbo Accessoires requis ● Une unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum connectée. ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de fonctionnement de l'unité d’en- traînement électronique. 41/56...
  • Page 42 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition immédiate du paramètre [P:777].
  • Page 43 2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo- moléculaire. 4. Observez la durée de fonctionnement totale de la pompe turbomoléculaire. Si nécessaire, deman- dez à...
  • Page 44 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
  • Page 45 ● Pas de tension de 1. Alimentez avec la tension de fonction- fonctionnement nement correcte. 2. Activez l’unité de courant. ● Unité de commande 1. Remplacez l’unité de commande élec- électronique défec- tronique. tueuse 2. Contactez Pfeiffer Vacuum Service. 45/56...
  • Page 46 1. Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour des à-coups, le pa- détecter tout bruit étrange lier est défectueux 2. Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Point de consigne 1. Étendez le point de consigne de temps de temps d’accélé- d’accélération [P:700] via une unité...
  • Page 47 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement ● Le palier du rotor est 1. Contactez Pfeiffer Vacuum Service. inhabituels endommagé ● Rotor endommagé 1. Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran 1. Vérifiez et corrigez le siège du pare- protecteur desserré éclats ou de l’écran protecteur dans la bride de vide élevé.
  • Page 48 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
  • Page 49 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
  • Page 50 Pièces de rechange HiPace 10 12 Pièces de rechange HiPace 10 Fig. 17: Pièces de rechange HiPace 10 1 Unité de commande électronique TC 110 Réservoir du fluide d’exploitation 2 Tiges capillaires Joint torique Position Désignation Numéro de com- Remarque mande Unité...
  • Page 51 Accessoires 13 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires pour pompes turbomolé- culaires hybrides à paliers. 51/56...
  • Page 52 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
  • Page 53 Champ magnétique radial maximum autorisé 3 mT Classe de débit 10 l/s Humidité relative de l'air 5 – 85 %, Température de transport et de stockage -25 – 55 °C Poids 1,8 kg Tab. 15: HiPace 10 14.3 Dimensions Dimensions en mm 53/56...
  • Page 54 Caractéristiques techniques et dimensions DN 25 ISO-KF DN 16 ISO-KF Fig. 18: HiPace 10 | TC 110 | DN 25 ISO-K 54/56...
  • Page 55 Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 10 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée...