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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 H
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 H
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 300 H Pompe turbomoléculaire...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations non conformes prévisibles Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Commande...
- Page 4 Modes de fonctionnement 6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement 6.2.2 Fonctionnement via la connexion multifonctions « X3 » 6.2.3 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 6.2.4 Fonctionnement via la connexion « E74 » 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain Mise en marche de la pompe turbo Surveillance des opérations...
- Page 5 Tab. 12: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculai- Tab. 13: Dépannage des pompes turbomoléculaires Tab. 14: Aperçu des pièces de rechange disponibles pour la HiPace 300 H Tab. 15: Accessoires Tab. 16: Tableau de conversion : unités de pression Tab.
- Page 6 Taux de compression pour caractéristique de pression d’alimentation pour débit de gaz = 0 | HiPace 300 H Fig. 25: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-K Fig. 26: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-F Fig.
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique La plaque signalétique de la pompe turbomoléculaire se trouve D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 300 H dans la partie inférieure de la pompe à vide. Mod. PM P05 XXX Plaque signalétique de l'unité de commande électronique...
- Page 9 A propos de ce manuel 1.3.4 Abréviations Abrévia- Signification dans ce document tion Bride : raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669 Valeur diamètre (en mm) Courant continu Diamètre nominal comme désignation de grandeur Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz) Unité...
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 12 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoi-...
- Page 13 Sécurité Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à...
- Page 14 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du per-...
- Page 15 Sécurité ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert. ►...
- Page 16 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
- Page 17 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 18 3.1 Fonction La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l’unité de commande électronique. Les uni- tés de courant Pfeiffer Vacuum fournissent la tension d’alimentation. La désignation de propriété « H » identifie les pompes turbomoléculaires présentant d’excellents taux de compression, notamment avec les gaz légers.
- Page 19 ● Unité de commande électronique TC 110 3.2 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 20 ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit ► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
- Page 21 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 22 Installation 5.2 Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure AVIS Dommage à la pompe turbomoléculaire à cause d’une force agissant sur le côté vide élevé En cas de fixation à la partie inférieure de la pompe et simultanément au côté vide élevé à l'aide d’un raccord tubulaire rigide, il existe un risque que des forces réactives agissent sur la pompe turbomolé- culaire.
- Page 23 ● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque sou- dainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé. ● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 24 Raccordements de sûreté, côté client 5.3.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre de vide.
- Page 25 4. Respecter la fixation des brides ISO. 5.3.5 Orientations de montage Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum de la série HiPace sont adaptées à une utilisation avec les pompes de secours de type compression à vide pour un montage dans toutes les positions.
- Page 26 Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, vis à tête hexagonale et trou taraudé Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo.
- Page 27 Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou traversant Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
- Page 28 Raccord de bride ISO-F, goujons et trous taraudés Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Visser les goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous taraudés de la contre-bride.
- Page 29 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 30 Installation 4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 5. Serrer complètement les raccords vissés. – Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il convient de vérifier le couple.
- Page 31 Utilisation d’accessoires supplémentaires ► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire corres- pondant. ► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes. ► Utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum pour la configuration, si nécessaire. 31/66...
- Page 32 ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.6.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. Fig. 17: Exemple : Raccordement du câble de mise à...
- Page 33 2. Vérifier que l’interrupteur secteur du pack d’alimentation électrique est coupé avant de procéder au raccordement. 3. Utilisez un câble de raccordement adapté de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum. 4. Branchez le câble de raccordement à 15 broches dans la connexion X3 sur l’unité de commande électronique et sécurisez-la.
- Page 34 5. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCout » sur le pack d’alimentation électroni- que et fermer la fermeture à baïonnette. 6. Si vous utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum : raccordez le raccord « RS-485 » à l’appareil de commande en utilisant un câble d’extension qui convient.
- Page 35 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 36 Fonctionnement sans unité de commande 1. Utilisez uniquement les câbles de raccordement agréés Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion X3 de l'unité de commande électronique. 2. L'alimentation secteur de la pompe turbo ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 37 ► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique avec la version E74. 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain Les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de terrain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée.
- Page 38 Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionne- ment avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 39 Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 40 2 et 3 (inspection). Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de res- ponsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine.
- Page 41 ► Vous pouvez effectuer vous-même les opérations de maintenance de niveau 1. ► Utilisez un chiffon non pelucheux et un peu d'isopropanol pour le nettoyage. ► Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. ► Pour toute question relative à la maintenance, contactez le centre Pfeiffer Vacuum Service appro- prié. Action...
- Page 42 ● Cette information peut être trouvée sur la plaque signalétique de la pompe. La fiche technique de sécurité est disponible sur le Pfeiffer Vacuum Download Center. Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire arrêtée ●...
- Page 43 Maintenance Fig. 19: Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1 Vis à tête hexagonale Réservoir du fluide d'exploitation 2 Bouchon à vis Tige capillaire (9x) 3 Joint torique Buse d’injection Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2.
- Page 44 Maintenance Fig. 20: Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1 Réservoir du fluide d'exploitation Bouchon à vis 2 Tiges capillaires (9×) Joint torique 3 Buse d’injection Cache de protection 4 Vis à tête hexagonale Installation du réservoir de fluide d'exploitation 1.
- Page 45 Maintenance AVIS Dommages matériels dus à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits ► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le poste de travail.
- Page 46 Maintenance Procédure 1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire. 2. Dévissez les 4 vis à tête hexagonale de l’unité de commande électronique. 3. Tirez sur l'ancienne unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire, en prenant soin de la maintenir droite. 7.4.2 Installation de l’unité...
- Page 47 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition immédiate du paramètre [P:777].
- Page 48 2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo- moléculaire. 4. Observez la durée de fonctionnement totale de la pompe turbomoléculaire. Si nécessaire, deman- dez à...
- Page 49 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 50 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponi- bles ici.
- Page 51 ● Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour détecter à-coups, le palier est dé- tout bruit étrange fectueux ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Point de consigne de ● Utilisez un appareil de commande pour étendre temps d’accélération ré- la valeur de réglage du temps d’accélération glé...
- Page 52 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou de protecteur desserré...
- Page 53 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 54 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 55 électronique TC 110 létique neau de connexion Réservoir du fluide se référer à la plaque signa- tiges capillaires et joint d’exploitation létique torique incl. Tab. 14: Aperçu des pièces de rechange disponibles pour la HiPace 300 H 55/66...
- Page 56 Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Accessoires de ventilation Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 57 Accessoires Description Référence de commande Jeu de goujons filetés pour brides avec trou fileté, DN 100 CF-F PM 016 734 -T Jeu de goujons filetés pour brides avec un trou fileté, DN 100 CF-F PM 016 866 -T Amortisseur de vibrations pour HiPace 300/400, DN 100 CF-F PM 006 488 -X Amortisseur de vibrations pour HiPace 300/400, DN 100 ISO-K/F PM 006 459 AX...
- Page 58 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 59 Caractéristiques techniques et dimensions Classification étendue HiPace® 300 H HiPace® 300 H HiPace® 300 H avec TC 110 avec TC 110 avec TC 110 Taux de compression pour He 2,5 · 10 2,5 · 10 2,5 · 10 Taux de compression pour N >...
- Page 60 Poids 6,2 kg 8,2 kg 6,5 kg Tab. 18: Fiche technique pour HiPace 300 H | 24 V 14.3 Substances en contact avec la substance à pomper Substances en contact avec la substance à pomper Alliage d'aluminium Acier inoxydable Aimants en terres rares Plastiques renforcés de fibres de carbone...
- Page 61 Caractéristiques techniques et dimensions 14.4 Caractéristiques foreline pressure [hPa ; mbar] Fig. 24: Taux de compression pour caractéristique de pression d’alimentation pour débit de gaz = 0 | HiPace 300 H 61/66...
- Page 62 Dimensions en mm DN 100 ISO-K 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Fig. 25: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Fig. 26: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-F DN 100 CF-F 18.3...
- Page 63 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 300 H Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité...
- Page 64 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 65 65/66...
- Page 66 Notizen / Notes:...