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Informations sur les erreurs
Messages d'erreur de la pompe
Drive phases differ too much in electric resistance
Error ID: 29216
La résistance électrique des phases d'entraînement est trop diffé-
rente
L'étalonnage du moteur de la pompe a échoué en raison d'une différence
importante des résistances électriques pour les différentes phases du moteur.
Cause probable
1
2
3
Degasser's pressure limit violation
Error ID: 29220
Violation de la limite de pression du dégazeur
Pression trop supérieure à la limite.
Cause probable
1
2
3
118
Câble du moteur de la pompe défectueux.
Moteur de la pompe défectueux.
Carte mère défectueuse.
Fuite au niveau de la chambre ou des tuyaux
du dégazeur.
Pompe à vide défectueuse.
Chambre du dégazeur vide ou connectée à
l'air.
Actions suggérées
Contactez votre technicien Agilent.
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Actions suggérées
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Bloquez les voies du dégazeur inutilisées.
Manuel d'utilisation de la pompe quaternaire 1290 Infinity