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Fonctionnement en mode impact électronique (EI)
À moins que la séquence de mise sous vide soit à peine commencée, selon le
modèle de DDM, la pression primaire doit être inférieure à 300 mtorr ou la
vitesse de la pompe turbo doit atteindre au moins 80 % de sa vitesse nominale.
Les chauffages du DDM restent coupés aussi longtemps que selon le modèle, la
pompe à diffusion est froide ou la pompe turbo fonctionne à une vitesse
relative de moins de 80 %. Normalement et selon le modèle, la pression
primaire descend au- dessous de 100 mtorr ou la vitesse de la pompe turbo
atteint 100 %.
Les chauffages du DDM sont mis en marche à la fin du cycle de mise sous vide
et sont coupés au début du cycle de mise à la pression atmosphérique. Les
points de consigne affichés restent inchangés pendant les séquences
d'évacuation de l'enceinte et de mise à la pression atmosphérique en dépit de
la coupure des zones chauffées.
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Manuel d'utilisation du DDM 5975