Table des Matières
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Inhalt
1
1.1
1.2
ten mit der Turbomolekular-
pumpe
1.3
2
2.1
Maße
2.2
2.3
3
4
4.1
4.2
4.3
4.4
4.5
4.6
4.7
5
6
6.1
6.1.2 Vor jedem Einschalten
6.1.3 Einschalt-Vorgang
6.1.4 Reset
6.2
Betriebsverhalten mit Gaslast
6.3
Heizen der Turbopumpe
6.3.1 Heizung einschalten
6.3.2 Heizung abschalten
6.4
6.4.2 Abschalt-Vorgang
6.5
Stillsetzen der Turbopumpe
2
Contents
1
General
1.1
Important Information
1.2
Safety Instructions
1.2.1 Working with Turbomolecular
Pumps; Safety Information
1.3
Product Description
2
Technical Data
2.1
Dimensions
2.2
Volume Flow Rate/Gas Through-
put
2.3
Ultimate Pressure
3
Backing Pump
4
Installation
4.1
Note concerning Installation
4.2
High Vacuum Connection
4.2.1 Fitting the Splinter Shield
4.3
Fore Vacuum Connection
4.4
Cooling
4.4.1 Water Cooling
4.4.2 Cooling Water Connection
4.5
Venting the Turbo Pump
4.5.1 Fitting the Venting Unit
4.6
Sealing Gas Connection
4.6.1 Adjusting the Sealing Gas Flow
4.7
Electrical Connection of the
Turbo Pump
5
Circulatory Lubrication
6
Operation
6.1
Switching on the Turbo Pump
6.1.1 Before the first Start
6.1.2 Before each Start
6.1.3 Switching on Procedure
6.1.4 Reset
6.2
Operating Characteristics under
Gas Load
6.3
Turbo Pump Heating
6.3.1 Switching on the Heating
6.3.2 Switching off the Heating
6.4
6.5
Shutting down the Turbo Pump
Table des matières
1
Généralités
1.1
Indications importantes
1.2
Instructions de sécurité
1.2.1 Instructions de sécurité pour le
travail avec la pompe turbo
1.3
Description du produit
2
Fiche technique
2.1
Encombrements
2.2
Capacité d'aspiration/Débit de
gaz
2.3
Pression finale
3
Pompe à vide primaire
4
Installation
4.1
Remarque concernant l'installa-
tion
4.2
Raccord de vide élevé
4.2.1 Mise en place du pare-éclats
4.3
Raccord de vide primaire
4.4
Refroidissement
4.4.1 Refroidissement par eau
4.4.2 Raccord d'eau de refroidisse-
ment
4.5
Remise à l'air de la pompe turbo
4.5.1 Montage du dispositif de remise
à l'air
4.6
Raccord de gaz de blocage
4.6.1 Réglage de la quantité de gaz de
blocage
4.7
Branchement électrique de la
5
Lubrification par circulation
6
Fonctionnement
6.1
Mise en marche de la pompe
turbo
6.1.1 Avant la première mise en mar-
che
6.1.2 Avant chaque mise en marche
6.1.3 Procédé de mise en marche
6.1.4 RAZ
6.2
Comportement avec charge de
gaz
6.3
Chauffage de la pompe turbo
6.3.1 Mise en marche du chauffage
6.3.2 Mise à l'arrêt du chauffage
6.4
6.5
Immobilisation de la pompe
turbo
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