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Zur Vermeidung der Kondensation
von Reaktionsprodukten in der Turbo-
pumpe kann es vorteilhaft sein, diese
während des Prozesses zu beheizen.
Ist der beheizte Rezipient direkt ange-
flanscht, so muß darauf geachtet wer-
den, daß die Temperatur des Hochva-
kuumflansches beim Heizen der Appa-
ratur 120˚C nicht überschreitet.
Wird der Rezipient höher als 200˚C
geheizt, so muß die Wärmestrahlung
vom Rezipienten auf den Pumpenro-
tor, z.B. mit einem Strahlungsschild
verhindert werden.
Die Heizdauer für Turbopumpe und
Rezipient richtet sich nach dem Ver-
schmutzungsgrad und dem ge-
wünschten Enddruck. Sie sollte min-
destens 4 Stunden betragen.
6.4 Abschalten der Turbopumpe
6.4.1 Vor dem Abschalten:
– HV-Ventil schließen;
– Danach Turbopumpstand minde-
stens noch 15 Minuten mit Sperrgas
betreiben;
6.4.2 Abschalten:
– Schalter S1 an der Antriebselektro-
nik betätigen. Bei Anschluß der Tur-
bopumpe nach Schaltplan - siehe
Betriebsanweisung der Antriebselek-
tronik TCP 380 oder TCP 600 - wird
mit dem Abschalten der Turbopum-
pe:
– bei Einsatz eines Pumpstand-Steuer-
gerätes TCS 303, TCS 304 R oder
TCS 130, die Vorvakuumpumpe und
wenn vorhanden das Kühlaggregat
TZK 350 abgeschaltet;
– das Flutventil geöffnet und die Tur-
bopumpe geflutet. Ist keine automa-
tische Fluteinrichtung installiert, so
muß die Turbopumpe über den
Flutanschluß geflutet werden - siehe
Abschnitt 4.5;
– die Heizung der Turbopumpe abge-
schaltet (nur bei Turbopumpe mit
Heizmanschette).
6.4.3 Nach dem Abschalten:
– Bei Kühlwasser vom Netz: Zufluß
absperren, um Kondensat an den
gekühlten Flächen zu vermeiden.
– Sperrgaszufuhr schließen.
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It can also be advantageous to heat
the turbo pump during the process in
order to avoid condensation of the
reaction products in the pump. If the
heated container is flanged directly, it
must be ensured that the temperature
of the high vacuum flange does not
exceed 120˚ C during heating of the
apparatus.
If the container is heated up to a tem-
perature above 200˚ C, thermal radiati-
on from the container to the pump
rotor must be prevented, e.g. by
installing a heat radiation shield.
The heating time for the turbo pump
and container depends on the degree
of contamination and the ultimate
pressure required. It should be at least
4 hours.
6.4 Switching off
6.4.1 Before Switching off:
– Close the HV-safety valve;
– Then operate the turbo pumping sta-
tion with sealing gas for at least
15 minutes;
6.4.2 Switching off:
– With push-button S1 on the electro-
nic drive unit.
If the pump is connected as shown
in the wiring diagram - see the Elec-
tronic Drive Unit TCP 380 or TCP 600
Operating Instructions - the follo-
wing operations are performed on
switching off the turbo pump:
– If a Pumping Station Control Unit
TCS 303, TCS 304 R or TCS 130 is is
in use, the backing pump and, if pre-
sent, Cooling Water Unit
TZK 350, are switched off.
– The venting valve opens and the
turbo pump is vented. If no automa-
tic venting device is fitted, the turbo
pump must be vented via the ven-
ting connection - Section 4.5;
– The turbo pump heater is switched
off (only turbo pumps with heating
jacket).
6.4.3 After Switching Off:
– In case of cooling water supply from
the mains: shut off the supply to
avoid condensation on the cooled
surfaces.
– Close the sealing gas supply.
Afin d'éviter la condensation de pro-
duits réactifs dans la pompe turbo, il
est avantageux de la chauffer pendant
le processus.
Si le récipient chauffé est directement
bridé, il faut faire attention à ce que la
température de la bride de vide élevé
ne dépasse pas 120˚C pendant le
chauffage de l'appareillage.
Si le récipient est chauffé au-dessus
de 200˚C, le rayonnement thermique
du récipient sur le rotor de la pompe
devra être empêché avec, par ex., un
écran protecteur.
Le temps de chauffage de la pompe
turbo et du récipient est en fonction
du degré de salissure et de la pression
finale souhaitée. Il devra être au
moins de 4 heures.
6.4 Mise à l'arrêt de la pompe
turbo
6.4.1 Avant la mise à l'arrêt:
– Fermer la valve de vide élevé;
– Ensuite faire fonctionner le groupe
de pompage turbo encore au moins
15 minutes avec le gaz de blocage;
6.4.2 Procédé de mise à l'arrêt:
– Actionner l'interrupteur S1 à l'élec-
tronique d'entraînement. Si le bran-
chement est suivant le schéma élec-
trique - voir les instructions de
service de l'électronique d'entraîne-
ment TCP 380 oder TCP 600, avec la
mise à l'arrêt de la pompe turbo les
actions suivantes s'effectueront:
– La mise à l'arrêt de la pompe de vide
primaire en cas d'utilisation d'un
appareil de commande de groupe de
pompage TCS 303, TCS 304 R ou
TCS 130, et du système de refroidis-
sement TZK 350 (si installé);
– L'ouverture de la soupape de remise
à l'air et la remise à l'air de la pompe
turbo. Si aucun dispositif automa-
tique de remise à l'air n'est installé,
la pompe turbo devra être remise à
l'air par un raccord de remise à l'air -
voir chapitre 4.5;
– La mise à l'arrêt du chauffage de la
pompe turbo (seulement pour
pompe turbo avec chemise chauf-
fante).
6.4.3 Après la mise à l'arrêt:
– L'eau de refroidissment venant du
réseau: bloquer le débit afin d'éviter
la condensation sur les surfaces
refroidies.
– Fermer l'alimentation du gaz de
blocage.
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