Reinigung Der Turbopumpe Im; Unzerlegten Zustand - Pfeiffer Vacuum TPH 1600 Mode D'emploi

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Ein Zeichen für die Verschmutzung der
Turbopumpe ist, wenn der gewünsch-
te Arbeitsdruck nicht mehr in der übli-
chen Zeit erreicht wird, obwohl sich
die Leck- und Desorptionsrate nicht
verändert hat.
Zum Heben, Senken und Schwenken
der Turbopumpe bei den folgenden
Arbeiten muß ein geeignetes Hilfsmit-
tel verwendet werden.

7.1.1 Reinigung der Turbopumpe im

unzerlegten Zustand

Fig. 12
– Turbopumpe abschalten, auf Atmo-
sphärendruck fluten und aus der
Anlage demontieren.
– Wenn vorhanden, Heizmanschette
abnehmen.
– Ablaßschraube 39 (Fig. 13) heraus-
schrauben. Betriebsmittel in einen
Behälter ablaufen lassen und nach
den geltenden Vorschriften entsor-
gen.
– Betriebsmittelpumpe gemäß
Abschnitt 7.1.2 ausbauen und reini-
gen (beim Umdrehen der Turbo-
pumpe könnte sonst Betriebsmittel
zur Hochvakuumseite gelangen).
– Turbopumpe senkrecht, mit dem
Hochvakuumflansch nach unten, in
einen passenden Behälter stellen.
– Reinigungsmittel (reiner Alkohol) bis
zum Vorvakuumflansch (Fig. 12) in
den Behälter füllen.
Achtung!
Die gesetzlichen und lokalen Bestim-
mungen im Umgang mit Lösungsmit-
teln sind einzuhalten.
– Reinigungsmittel ca. 5 - 10 Minuten
einwirken lassen.
– Turbopumpe in dieser Zeit mehr-
mals langsam heben und senken, so
daß an den Stator- und Rotorschei-
ben eine Spülung stattfindet.
– Vorgang mit neuem Reinigungsmit-
tel mindestens zweimal wiederho-
len.
– Turbopumpe aus dem Bad heraus-
nehmen.
– Zum Entleeren des restlichen Reini-
gungsmittels aus dem Magnetlager,
Turbopumpe mehrmals langsam
von senkrecht (bezogen auf den
Hochvakuumflansch oben) um 180˚
kippen.
– Turbopumpe ca. 30 Minuten mit
Flansch nach unten auf einen Rost
oder ähnliches stellen.
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Contamination of the turbo pump is
indicated if the desired working pres-
sure can no longer be attained in the
usual time, although the leakage and
desorption rates have not changed.
An appropriate aid is required if lif-
ting, lowering or swivelling of the
turbo pump is involved in the follo-
wing operations.
7.1.1 Cleaning the Turbo Pump in fully
assembled Condition
Fig. 12
– Switch off the turbo pump, vent to
atmospheric pressure and detach
from the system.
– Remove heating jacket, if applicable.
– Remove drain screw 39 (Fig. 13) and
allow pump fluid to drain into a con-
tainer and dispose of in compliance
with local regulations.
– Remove pump fluid pump as descri-
bed in 7.1.2 and clean (if the turbo
pump were turned upside down,
pump fluid could reach the high
vacuum side).
– Place the turbo pump vertically, with
the high vacuum flange pointing
downward, in a suitable vessel.
– Fill cleaning agent (pure alcohol)
into the vessel, up to the
backing pump flange (Fig. 12).
Important:
All regulations regarding the handling
of solvents must be observed.
– Expose the pump to the cleaning
agent for approx. 5 - 10 minutes.
– During this period, slowly raise and
lower the turbo pump several times
to allow the stator and rotor disks to
be flushed.
– Repeat this procedure with fresh
cleaning agent at least twice.
– Remove turbo pump from the bath.
– To drain the cleaning agent residues
from the magnetic bearing, slowly
tilt the turbo pump several times
from the vertical through 180˚ (with
the high vacuum flange on top).
– Place the turbo pump for approx.
30 minutes on a grid or the like, with
the flange pointing downwards.
Le degré de salissure de la pompe
turbo vous sera signalé lorsque la
pression de travail souhaitée ne sera
pas atteinte dans les temps habituel-
les, bien que le taux de fuite et de
désorption restent inchangés.
Pour soulever, baisser ou pivoter la
pompe turbo dans les travaux sui-
vants, il faudra utiliser des engins de
levage appropriés.
7.1.1 Nettoyage de la pompe turbo
sans démontage
Fig. 12
– Mettre la pompe turbo à l'arrêt,
remettre à l'air sur la pression
atmosphérique et la démonter de
l'installation.
– Enlever la chemise chauffante (si
installée).
– Dévisser la vis de vidange 39
(Fig. 13). Laisser s'écouler le fluide
moteur dans un récipient, et l'évacu-
er suivant les prescriptions en
vigueur.
– Démonter et nettoyer la pompe du
fluide moteur suivant chapitre 7.1.2
(en retournant la pompe turbo du
fluide moteur pourrait sinon couler
sur le côté vide élevé).
– Placer la pompe turbo verticalement,
avec la bride de vide élevé vers le
bas dans un récipient approprié.
– Remplir le récipient avec du produit
de nettoyage (alcool pur) jusqu'à la
bride de vide primaire (Fig. 12).
Attention!
Les spécifications concernant la légis-
lation locale en vigueur sur les pro-
duits solubles doivent être respectées.
– Laisser agir le produit de nettoyage
env. 5 - 10 Minutes.
– Pendant ce temps soulever et bais-
ser doucement la pompe turbo plu-
sieurs fois, pour rincer les disques
stator et rotor.
– Répéter ce procédé deux fois de plus
en renouvelant le produit de net-
toyage.
– Sortir la pompe turbo du bain.
– Afin de vider le reste de produit de
nettoyage des paliers à aimants,
basculer la pompe turbo de 180˚
doucement de la verticale (par rap-
port à la bride de vide élevé
supérieure) plusieurs fois.
_ Placer la pompte turbo env. 30 minu-
tes sur une grille ou similaire avec la
bride vers le bas.

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