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INSTALLATION
GEFAHR!
Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten
Hebe- und Fˆrderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken
sind die ÷senschrauben zu benutzen, die in die Gewindeboh-
rungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind.
!
ACHTUNG!
Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der
Turbopumpe an das System entfernt werden.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungesch¸tzt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsf‰higen oder erhˆht brand-
gef‰hrdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb m¸ssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
-
Maximaler Druck: 2 bar ¸ber dem atmosph‰rischen Druck
-
Temperatur: von +5YC bis +40YC (siehe Diagramm im An-
hang "Technical Information")
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. F¸r ausf¸hrliche Informa-
tionen siehe im Anhang "Technical Information".
Modell Turbo-V 2K-G ist an eine Prim‰rpumpe anzuschlieflen
(siehe Schema in "Technical Information").
Modell Turbo-V 2K-G kann in jeder beliebigen Position instal-
liert werden.
Modell Turbo-V 2K-G
ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen-
flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von
10600 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Die Turbopumpe mit dem ISO-Eintrittsflansch ist mittels Mutter-
schrauben an der Vakuumkammer zu befestigen. In der nach-
stehenden Tabelle sind die Anzahl der erforderlichen Mutter-
schrauben und die von Varian empfohlenen Anzugsmomente
angegeben.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ISO 250 F
Mutterschraube
mit Gewinde M10
HINWEIS
Die Turbo-V 2K-G kann nicht ¸ber ihren Sockel befestigt wer-
den. Zur Befestigung des Systems ist der Flansch ISO 250F zu
verwenden. Die Befestigung muss nach ISO 1609 ausgef¸hrt
sein.
Es sind Mutterschrauben aus Stahl mit einer Festigkeitsklasse
2
von mindestens 500 N/mm
zu verwenden.
ANZ.
ANZUGSMOMENT
12
22 Nm
!
Der Turbo-V 2K-G gehˆrt zur zweiten Installationsklasse (‹-
berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die
Vorrichtung mufl daher an eine Speisungsleitung angeschlos-
sen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Zur Gew‰hrleistung der Schutzart IP-54 sind die Gegenkonnek-
toren zu verwenden.
Der Turbo-V 2K-G hat Verbinder f¸r den Ein-und Ausgang und
die Schnittstellenkommunikation, die an die Auflenkreise ange-
schlossen werden m¸ssen, sodafl kein Teil unter Spannung
zug‰nglich ist .
Sicherstellen, dafl die Isolierung der an den Turbo-V 2K-G
angeschlossenen Vorrichtung
ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1
vorgesehen wird.
F¸r die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorg‰nge
erl‰utert.
Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneu-
matischen Anschl¸sse auszuf¸hren.
W‰hrend der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf
die Temperatur am Eingangsflansch 80YC nicht ¸berschreiten.
W‰hrend des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des L‰ufers
niemals 120 YC ¸berschreiten.
Der Bediener hat sich zu vergewissern, dass die richtige Be-
triebsart in Abh‰ngigkeit von dem zu pumpenden Gas einge-
stellt ist: 1 f¸r Stickstoff und leichtere Gase, 0 f¸r Argon (vor-
eingestellte Betriebsart). F¸r ausf¸hrliche Informationen siehe
im Anhang "Technical Information".
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschluflflansch verschlossen ist.
W‰hrend des Aufheizens d¸rfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heifle Zubehˆrteile ber¸hrt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
!
W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager besch‰digt werden kˆnnten.
F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Bel¸f-
tungsanschlufl soll unter 1 bar (¸ber dem atmosph‰rischen
Druck) betragen.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer ÷ffnungsklappe ausgestattet, ¸ber die zum Schutz der
Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe
Anhang "Technical Information").
Wenn die Pumpe zur Fˆrderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die f¸r das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg‰nge und Maflnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsf‰-
higen Gasen verwendet werden.
Die Pumpe ist f¸r einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon
und leichteren Gasen konzipiert.
Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als
Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Varian
R¸cksprache zu halten.
7
GEBRAUCHSANLEITUNG
ACHTUNG!
auch bei einer Einzelstˆrung
GEFAHR!
ACHTUNG!
GEFAHR!
87-900-968-01(C)
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