Table des Matières
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TriScroll
Dry Scroll
Vacuum Pump
Manual No. 699904265
Revision M
May 2003
300 Series
TM
vacuum technologies
INSTALLATION AND
OPERATION MANUAL
INSTALLATIONS- UND
BETRIEBSHANDBUCH
MANUEL D'INSTALLATION
ET D'OPÉRATION
MANUAL DE INSTALACIÓN Y
FUNCIONAMIENTO
MANUALE
D'INSTALLAZIONE E D'USO
取付と操作仕様書
安装和操作手册
설치 및 조작안내서
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Table des Matières
Manuels Connexes pour Varian TriScroll 300 Série
Sommaire des Matières pour Varian TriScroll 300 Série
- Page 1 vacuum technologies TriScroll 300 Series INSTALLATION AND OPERATION MANUAL Dry Scroll INSTALLATIONS- UND BETRIEBSHANDBUCH Vacuum Pump MANUEL D'INSTALLATION ET D'OPÉRATION MANUAL DE INSTALACIÓN Y FUNCIONAMIENTO MANUALE D'INSTALLAZIONE E D'USO 取付と操作仕様書 安装和操作手册 설치 및 조작안내서 Manual No. 699904265 Revision M May 2003...
- Page 2 ™ TriScroll 300 Series Dry Scroll Vacuum Pump TriScroll is a trademark of Varian Vacuum Technologies. Copyright 2003 Varian Vacuum Technologies...
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Page 3: Table Des Matières
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Table of Contents Declaration of Conformity Istruzioni per l'uso .............17 Informazioni generali ..........17 Warranty ..............viii Conservazione ...........17 Warranty Replacement and Adjustment....viii Disimballaggio ed ispezione ........17 Instructions for Use ............. 1 Requisiti per l'installazione ........18 General Information .......... - Page 4 Maintenance ............41 General Information ........... 41 Related TriScroll Manuals........41 Maintenance and Tooling Kits ......41 Factory Service Options........42 Accessories............42 Serial Numbers Notes......... 42 Contacting Varian Vacuum Technologies ... 43 Request for Return Health and Safety Certification...
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Page 5: List Of Figures
TriScroll 300 Series Vacuum Pump List of Figures List of Tables Figure Caption Page Table Title Page Interface Drawing with Dimensions ..34 Pump Models and Power Cords ..... 3 Pumping Speed Curves ....34 Circuit Breaker Requirements...... - Page 6 TriScroll 300 Series Vacuum Pump This page intentionally left blank.
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Page 7: Declaration Of Conformity
Declaration of Conformity Declaration of Conformity Konformitätserklärung Déclaration de Conformité Declaración de Conformidad Verklaring de Overeenstemming Dichiarazione di Conformità Varian, Inc. Nous Vacuum Technologies Nosotros 121 Hartwell Avenue Lexington, MA, 02421-3133 USA declare under our sole responsibility that the product, erklären, in alleniniger Verantwortung, daß... -
Page 8: Warranty
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Warranty Products manufactured by Seller are warranted against Warranty Replacement and Adjustment defects in materials and workmanship for twelve (12) All claims under warranty must be made promptly after months from date of shipment thereof to Customer, and occurrence of circumstances giving rise thereto, and must Seller’s liability under valid warranty claims is limited, at be received within the applicable warranty period by... -
Page 9: Instructions For Use
Varian before operating 2. Slit open the inner box. the equipment. Varian will not be held responsible for any events that occur due to non-compliance with these 3. Lift the pump with the plywood base out of the inner instructions, improper use by untrained persons, box. -
Page 10: Installation Requirements
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Installation Requirements During operation, the following environmental conditions should not be exceeded: Safety Temperature: +5 °C to +40 °C (+41 °F to +104 °F) Do not remove or modify any safety or insulating Relative humidity: 0 to 95% (non-condensing) equipment from the pump. -
Page 11: Pump Models And Power Cords
Table 1 lists the available TS-300 pump models and Three phase pumps are shipped without a power cord. A indicates the power cord to be used with each particular three phase power cable kit, Varian part number pump. S4789001, is available. This kit does not include a plug. -
Page 12: Operation
Personnel responsible for pump operation and running for about one hour with the inlet sealed. maintenance must be well-trained and aware of the accident prevention rules. Unlike conventional oil-sealed pumps, Varian’s dry scroll pumps do not have fluid to cleanse them of accumulated ❑ WARNING Death may result from contact dust and debris. -
Page 13: Anleitungen Zur Benutzung
1. Entfernen Sie nach dem Öffnen des äußeren Kartons von Varian zur Verfügung gestellten Informationen die Schaumverpackung. gelesen haben. Varian kann nicht für Vorfälle 2. Schneiden Sie den inneren Karton auf. verantwortlich gemacht werden, die aus der Nichtbeachtung dieser Anleitungen, aus der inkorrekten 3. -
Page 14: Installationsanforderungen
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Während des Betriebes dürfen die folgenden Installationsanforderungen Umgebungsbedingungen nicht überschritten werden: Sicherheit Temperatur: + 5 °C bis + 40 °C (41 °F bis 104 °F) Sicherheits- oder Isoliervorrichtungen dürfen nicht von Relative der Pumpe entfernt oder modifiziert werden, da sonst Feuchtigkeit: 0 bis 95 % (nicht kondensierend) schwerwiegende Sicherheitsrisiken entstehen und die... - Page 15 Dreiphasenpumpen werden ohne aufgeführt. Die Tabelle enthält außerdem Informationen Spannungsversorgungskabel geliefert. Ein zu den Spannungsversorgungskabeln, die mit jeder Dreiphasen-Kabelsatz, Varian Teilenummer S4789001, ist einzelnen Pumpe verwendet werden müssen. lieferbar. Dieser Satz enthält keinen Stecker. Tabelle 3 Pumpenmodelle und Versorgungskabel Pumpenmodell...
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Page 16: Betrieb
Stunde mit abgedichtetem Einlass laufen. zuständige Personal muss gut geschult und mit den Regeln zur Unfallvermeidung vertraut sein. Im Gegensatz zu herkömmlichen ölgekapselten Pumpen haben die trockenen Scroll-Pumpen von Varian keine ❑ Der Kontakt mit hohen Spannun- WARNUNG Flüssigkeit, um sie von angesammeltem Staub und... -
Page 17: Instructions D'utilisation
L'utilisateur est tenu de lire ce manuel à attirer l'attention de l'opérateur d'instructions ainsi que toutes les informations vis-à-vis d'une procédure ou pra- supplémentaires fournies par Varian avant de faire tique particulière, laquelle, si elle fonctionner l'équipement. Varian ne sera pas tenu n'est pas observée correctement, responsable de tout incident se produisant en raison de la pourrait entraîner des blessures... -
Page 18: Déballage Et Inspection
❑ Installez dans une zone qui ne Varian local immédiatement. soit pas exposée à la pluie, à la vapeur ou à une humidité excessive. 7. Conservez le carton et le garnissage. - Page 19 être utilisé avec d'alimentation. Un jeu de câble d'alimentation triphasé, chaque pompe particulière. Varian pièce n° S4789001, est disponible. Ce jeu n'inclut pas de prise. Table 5 Modèles de pompes et câbles Modèle Pompe...
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Page 20: Opération
À la différence des pompes à huile conventionnelles, les ❑ ADVERTISSEMENT Un contact avec des tensions pompes sèches de type « scroll » Varian n'ont pas de élevées représente un danger de fluides pour les débarrasser de la poussière et des débris mort. Faites toujours très attention et accumulés. -
Page 21: Instrucciones De Uso
1. Tras abrir la caja exterior, retire la espuma protectora. instrucciones y cualquier otra información adicional 2. Abra la caja interior. suministrada por Varian antes de trabajar con el equipo. Varian no se hará responsable de cualquier evento que 3. Saque la bomba con la base de madera pueda ocurrir debido al no cumplimiento con estas contrachapada de la caja interior. -
Page 22: Requisitos De Instalación
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Requisitos de instalación Durante su funcionamiento, las siguientes condiciones ambientales no deben superarse: Seguridad Temperatura: +5 °C a +40 °C (41 °F a 104 °F) No desmonte ni modifique ninguno de los equipos de Humedad relativa: 0 a 95% (sin condensación) seguridad o aislamiento presentes en la bomba. - Page 23 Está disponible un kit de cable de corriente trifásico, con utilizarse con cada bomba en concreto. P/N de Varian S4789001. El kit no incluye la clavija. Tabla 7 Modelos de bomba y cables de corriente Modelo de bomba...
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Page 24: Funcionamiento
❑ El contacto con alto voltaje puede ADVERTENCIA descendente en seco Varian no disponen de fluido para provocar la muerte. Extreme las pre- su limpieza en caso de acumulación de polvo y otros cauciones y tenga presente las nor- restos. -
Page 25: Istruzioni Per L'uso
1. Dopo aver aperto lo scatolone esterno, rimuovere eventuali informazioni aggiuntive fornite dalla Varian. La l'espanso d'imballaggio. Varian non sarà responsabile per eventuali danni causati 2. Praticare un taglio nel secondo scatolone per aprirlo. dalla mancata osservanza di queste istruzioni, dall`utilizzo errato da parte di personale non addestrato, 3. -
Page 26: Requisiti Per L'installazione
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Durante il funzionamento, è opportuno rispettare i Requisiti per l'installazione seguenti requisiti ambientali: Sicurezza Temperatura: da +5 °C a +40 °C (da 41 °F a 104 °F) Non rimuovere o modificare i sigilli di sicurezza o di Umidità... - Page 27 È disponibile un kit di cavi di ogni particolare pompa. alimentazione trifase, Parte Varian n. S4789001. Questo kit non include una spina. Tabella 9 Modelli di pompe e cavi di alimentazione...
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Page 28: Funzionamento
A differenza delle pompe convenzionali a tenuta d'olio, le pompe a coclea a secco della Varian non hanno un ❑ Il contatto con l'alta tensione AVVERTENZA fluido che le ripulisca da polvere e detriti accumulati. -
Page 29: 使用仕様
使用仕様 使用仕様 使用仕様 概況概要 概況概要 概況概要 概況概要 開梱と点検 開梱と点検 開梱と点検 開梱と点検 この設備は専門者に向っている。 ユーザーはこの設備を 梱包箱は二重ダンボールである。 操作する前にこの取付仕様書及び Varian の提供する他 1. 外部梱包箱を開けた後、フォームプラスチックを の追加情報を良く読まなければならない。 これらの仕様 取外す。 に遵守しないこと、 訓練されていない人に間違って使用 2. 内部梱包箱を切り開く。 されること、許可されずにこの設備の運転を妨げるこ と、 或は特定の国家標準にある操作規範と相違して操作 3. ベニヤ板の台座でポンプを内部梱包箱から取外す。 することによる如何なる事故に対して、 Varian は責任を 4. ポンプフレームをしっかりと固定する為のベニヤ 負わない。 板にある四つのボルトを取外す。 この TriScroll™ 300 はスクロール型ドライ真空ポンプ... -
Page 30: 取付要求
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 取付要求 取付要求 取付要求 取付要求 操作する時は以下の環境要求を適わなければならない。 温度： +5 °C ～ +40 °C （5.00 °C ～ 40.00 °CÅj 安全 安全 安全 安全 相対湿度： 0 ～ 95%（凝結物なし） 安全設備と絶縁設備を取外す或は修正しないでくださ 空気回路を塞げないでください。塞が 注意 注意 注意 注意 い。そうすると、重大の安全危険と修理保証の無効を誘 るとポンプの温度が高すぎるようにな 発する可能性がある。 る。 ポンプの表面温度が 55 C (131 °... - Page 31 TriScroll 300 Series Vacuum Pump 表 11 に利用可能な TS-300 ポンプの型式を示す。ま 三相誘発ポンプは電源コードが付かないが、 Varian 部品 た、特定ポンプの電源コードを指定する。 の番号が S4789001 である三相電源コードキットを配 置する。このキットにはプラグを含まない。 表 11 ポンプ型式と電源コード 表 11 ポンプ型式と電源コード 表 11 ポンプ型式と電源コード 表 11 ポンプ型式と電源コード ポンプ型 ポンプ型 ポンプ型 ポンプ型 電動機電圧 電動機電圧 電動機電圧 電動機電圧 プラグ型式 プラグ型式...
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Page 32: スタートアップ手順
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 操作 操作 保守 保守 操作 操作 保守 保守 到達真空を実現する為に、 ポンプの入口を密封した場合 操作と保守の担当者は厳しく訓練されなければならな にポンプに約１時間ほど続いて運転さてください。 い。そして、事故防止規則を精通しなければならない。 従来の油回転（真空）ポンプと違って、Varian のスク 高圧と接すると電撃死亡になる可能 警告 警告 ❑ 警告 警告 ロール型ドライ真空ポンプ は液体で蓄積される塵と破 性があるので、いつも有効的の事故防 片を浄化する必要がない。 空気の環境で一分或は二分ほ 止規則を遵守しなければならない。 どポンプを運転するとポンプのクリーニングを実現で 通電した後、部品を移動する場合は ❑ きる。定期的にポンプを浄化してください。特定の情況 よく注意して、特に高圧を注意してく に応じて、この時間を調整してください。 ださい。 スタートアップ手順... -
Page 33: 使用说明
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 使用说明 一般信息 开箱和检查 本设备供专业人员使用。用户在操作本设备之前应阅读 包装箱为双层纸箱。 此安装手册以及 Varian 提供的任何其它附加说明。对于 打开外包装箱后，取出泡沫包装。 因不遵照这些说明、未经培训人员不当地使用、未经授权 切开内包装箱。 而擅自干扰本设备操作或执行与特定国家标准要求的操 作相违反的操作而导致的任何事故， Varian 概不负责。 通过胶合板基座将泵抬出内包装箱。 TriScroll™ 300 为干涡管真空泵。此泵适用于泵送空气或 卸下将泵架紧固至胶合板基座的四颗螺栓。 惰性气体。该泵不用于泵送有毒气体、腐蚀性气体、爆炸 找到 NW16 排气管接头并将其置于一边。 性气体或含颗粒状物质气体。 检查泵是否在运输中遭受损坏。 以下章节提供使用本设备时确保操作人员安全的所有必 如果发现任何运输中造成的损坏，请立即与承运商 需信息。有关详细信息，请参阅第 25 页 “Technical 和您当地的 Varian 销售办事处联系。... -
Page 34: 安装要求
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 安装要求 操作期间，不应超出以下环境条件： 温度： +5 °C 至 C (41 °F 至 104 °F) 安全 相对湿度： 0 至 95% ( 不冷凝 ) 请勿拆卸或改动泵中的任何安全或绝缘装置。否则，可能 注意 请勿阻塞风道，否则可能会造成泵的温 会造成严重的安全隐患并可能使保修失效。 度过高。 泵的表面温度若超过 55 (131 °F) 警告 就有可能造成损坏。如果观察到此类情 此泵仅用于泵送空气和惰性气体，不 ❑ 况，请关闭泵并允许其冷却。必要时， 用于泵送爆炸性气体、易燃气体、有毒 请拆卸泵、检查是否损坏并进行修理。... - Page 35 TriScroll 300 Series Vacuum Pump 表 13 列出了可用的 TS-300 泵型号，并指出每种特定泵 三相泵未随附电源电缆。可向客户提供 Varian 部件号为 使用的电源电缆。 S4789001 的三相电源电缆套件。此套件不包括插头。 表 表 表 表 13 泵型号和电源电缆 泵型号和电源电缆 泵型号和电源电缆 泵型号和电源电缆 泵型号 泵型号 电动机 电压 电动机 电压 插头类型 插头类型 熔断 熔断 导体尺寸 导体尺寸 电缆标记 电缆标记 电缆长度...
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Page 36: 启动过程
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 操作 维护 为了实现极限真空，必须在密封泵吸入口的情况下使泵 负责操作和维护泵的人员必须经过严格的培训，并且熟 保持运行大约一小时的时间。 悉事故预防规则。 与传统油封泵不同的是， Varian 的干涡管泵无需使用液 警告 接触高压可能会遭受电击而致死。应 ❑ 体清洗其中所沉积的灰尘和碎屑。在大气环境中定期运 始终格外小心并遵循有效的事故预防 行泵一或两分钟即可实现对泵的清洁。定期清洗泵并根 规程。 据特定情况调整此时间安排。 机器通电后，须特别小心移动部件并 ❑ 注意高压。 启动过程 如果必须在泵操作相当长的时间之后 ❑ 确保关闭真空系统隔离阀。 对其进行维护，请等其冷却后再操作， 打开泵的电源。 因为外表面的温度可能超过 ℃ 。 (131 °F) 打开隔离阀。 ❑ 在开始维护工作之前，始终断开泵的 电源。... -
Page 37: 사용설명
본 설비는 전문인원 사용으로 제공합니다 . 사용자는 본 포장 박스는 두 층으로 된 종이 박스입니다 . 설비를 조작하시기 전에 본 설치 안내서 및 Varian 에서 제 겉 포장을 연 후 플라스틱 발포 포장을 꺼냅니다 . 공한 기타 모든 추가정보들을 읽으셔야 합니다 . 이러한... -
Page 38: 설치요구
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 설치요구 설치요구 설치요구 설치요구 조작기간에 하기의 환경요구를 넘지 말아 주십시오 : 온도： +5 °C 에서 +40 °C 까지 안전장치 안전장치 안전장치 안전장치 (41 °F 에서 104 °F 까지 ) 상대습도： 에서 95% 까지 펌프의 임의의 안전 및 절연장치를 뜯어내거나 고치지 말 （응축하지... - Page 39 TriScroll 300 Series Vacuum Pump 표 15 에서는 사용이 가능한 TS-300 펌프 모델과 매개 특 삼상펌프에는 코드가 함께 들어있지 않고 Varian 부품번 정 펌프에 사용되는 코드를 기록하였습니다 . 호가 S4789001 인 삼상전원 케이블공구세트를 제공하였 습니다 . 이 세트에는 플러그가 포함되지 아니합니다 .
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Page 40: 시동과정
극한 진공을 실현하기 위하여 반드시 펌프 흡입구를 밀폐 펌프를 조작 , 유지하는 인원은 엄격한 훈련을 거쳐야 하 한 상태에서 펌프를 약 한 시간 가량 운행하여야 합니다 . 고 사고 방지 규칙에 익숙하여야 합니다 . 전통적인 기름밀폐 펌프와 상이한 점은 Varian 의 건조 소 경고 경고 경고... -
Page 41: Technical Information
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Technical Information Table 17 Specifications Model TriScroll™ 300 Series Dry Scroll Vacuum Pump Interface dimensions See Figure 1 on page 34 Peak pumping speed 50 Hz: 210 l/m, 12.6 m /hr (7.4 cfm) 60 Hz: 250 l/m, 15 m /hr (8.8 cfm) Media Clean air. - Page 42 TriScroll 300 Series Vacuum Pump Figure 1 Interface Drawing with Dimensions Figure 2 Pumping Speed Curves...
- Page 43 TriScroll 300 Series Vacuum Pump Cowling Screws; M5 (3) Cowling Inlet (NW25) Inlet Screen NW16 Exhaust Adapter Bearing Purge Port (1/4" National Pipe Thread) Pump Frame Frame Screws; M6 (4) Gas Ballast Port (1/4" National Pipe Thread) 10. Mounting Holes; 11 mm diameter thru (8) 11.
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Page 44: Electrical Connections
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Electrical Connections Wire the motor and electrical interlocks (if applicable) in accordance with local electrical codes and the relevant electrical component manufacturer’s instructions. Table 18 lists the full load motor currents at various voltages. Table 18 Full Load Motor Currents, Amperes 1 phase motor 100 V... -
Page 45: Three Phase Motor Connection
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Three Phase Motor Connection The pump can be configured for low voltage, 200 VAC to 230 VAC, or for high voltage, 380 VAC to 415 VAC and 460 VAC. As supplied from the factory, the pump is configured for low voltage. Figure 5 shows the electrical connections for three phase motor. -
Page 46: Mechanical Connections
(4) M6 screws removed in step 3. been included below. 7. Reinstall the cowling using the three (3) M5 screws Varian also sells the TriScroll 300 pump with the VPI removed in step 1. valve preinstalled. The part number is PTS03001UVPI. -
Page 47: Gas Ballast
Purge Kit A purge kit (Varian part number PTSPURGEKIT) to properly purge either the bearing purge or the gas ballast is available. This kit contains a flow meter and all necessary valving and tubing. -
Page 48: Troubleshooting
System leak Locate and repair leak. Water in pump Flush pump with air or dry nitrogen. Gas ballast plugged Replace breather vent. Contact Varian. Solvent in pump Flush pump with air or dry nitrogen. Install trap or filter. Seals worn out Replace tip seals. -
Page 49: Maintenance
Maintenance General Information Varian TriScroll 300 series pumps are designed to provide years of trouble-free service if maintenance procedures and intervals are observed. Bearing grease replenishment and tip seal replacement is recommended when pump base pressure has risen to an unacceptably high level for your application. Bearings, rotary seals and o-rings should also be replaced if the pump exhibits humming or grinding noises from the bearings. -
Page 50: Factory Service Options
PTS0310SCRP Accessories The accessories listed in Table 24 are available for use with the TriScroll 300 series pump. Contact your local Varian office to place an order. A list of offices is included on the rear cover of this manual. -
Page 51: Contacting Varian Vacuum Technologies
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Contacting Varian Vacuum Technologies In the United States, you can contact Varian Vacuum Technologies Customer Service at 1-800-8VARIAN. See the back cover of this manual for a listing of our sales and service offices. Internet users: ❑... - Page 52 TriScroll 300 Series Vacuum Pump This page intentionally left blank.
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Page 53: Request For Return Health And Safety Certification
4. If a product is received at Varian in a contaminated condition, the customer is held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. - Page 54 ❐ ❐ Failed to start Other Error code on display Other Describe failure: Describe failure: Customer application: Customer application: ALL OTHER VARIAN PUMPS DIFFUSION PUMPS ❐ ❐ ❐ ❐ Pump doesn’t start Noisy pump (describe) Heater failure Electrical problem ❐...
- Page 56 India Fax: (44) 1932 22 8769 Tel: (91) 11 5548444 Brazil United States Fax: (91) 11 5548445 Varian Industria e Comercio Ltda. Varian Vacuum Technologies Italy Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 121 Hartwell Avenue Varian Vacuum Technologies Vila Olimpia...