Table des Matières
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INDICATIONS GÉNÉRALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est
conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire
fournie
par
Varian
qui
décline
responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des
instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques. Le TPS-compact
est
un
système
intégré,
turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé
et ultrapoussé et dotée d'un contrôleur et d'une pompe
primaire. Le système est à même de pomper tous les types de
gaz et de composés gazeux mais il n'est pas adapté au
pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de
pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse
élevée, mue par un moteur électrique triphasé à haut
rendement. Le TPS-compact est totalement exempt d'agents
polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les
applications exigeant un vide "propre". Le TPS-compact est en
outre
doté
de
connecteurs
commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à
l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle. Les
paragraphes
suivants
fournissent
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
ATTENTION!
Les
messages
d'attention
procédures
dont
le
non-respect
sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les
notes
contiennent
des
extrapolés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
systèmes de pompage Varian, il est indispensable de respecter
les instructions suivantes:
•
Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions
ambiantes suivantes:
•
température: de –20 °C à +70 °C
•
humidité relative: de 0 à 95% (non condensante)
•
A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start
•
Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, le système de
pompage
doit
être
retournée
renseignement, contacter le représentant Varian de zone.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
Le TPS-compact est livré dans un emballage de protection spécial;
en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit
pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-compact et à
ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
par
conséquent
toute
constitué
d'une
pompe
auxiliaires
permettant
de
toutes
les
indications
DANGER!
apparaissent
avant
certaines
pourrait
endommager
renseignements
importants,
en
usine.
Pour
tout
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
Le TPS-compact ne peut s'endommager en restant simplement
exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution
due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son
emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
INSTALLATION
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection
qu'au moment de brancher la turbopompe au système.
Ne pas installer et/ou utiliser le système de pompage dans des
milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige),
à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux
explosifs ou à fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
-
pression
max.:
atmosphérique
-
température: de +5°C° à +35°C
-
humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, le système de pompage
doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés.
Le TPS-compact peut être installée dans n'importe quelle
position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant
supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.
La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre
de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.
9/74
MODE D'EMPLOI
ATTENTION!
NOTE
ATTENTION!
2
bars
au-delà
de
la
87-901-010-01
pression
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