Table des Matières
Publicité
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő
használat,
a
berendezésbe
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A TPS-compact egy integrált rendszer turbómolekuláris
szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a
megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebességű turbina biztosítja. A TPS-compact
szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta"
vákuumot igénylő alkalmazásokra.
A TPS-compact fel van szerelve segédcsatlakozókkal a
ventillátor szelepének vezérléséhez, amit távoli helyről kell
vezérelni soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák.
Részletes
információt
Information" függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:
VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
FIGYELEM
A „Figyelem" üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A
megjegyzések
a
szövegből
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A Varian szivattyú-rendszerek maximális működési szintjének
és megbízhatóságának biztosításához tartsa be a következő
előírásokat:
•
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
•
hőmérséklettartomány: -20 °C - +70 °C
•
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
•
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
•
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyúzó
rendszert vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért
forduljon a helyi Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási
képviselethez.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A TPS-compact-ot különleges védőcsomagolásban szállítják.
Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
való
jogosulatlan
talál
a
„Technical
vett
fontos
információt
38/74
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a
TPS-compact-ot. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe
való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.
TELEPÍTÉS
FIGYELEM
Ne
távolítsa
el
az
öntapadó
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyúzó rendszert
atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég),
porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
−
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
−
hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig
−
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyúzó rendszert védeni
kell ferromágneses pajzs segítségével.
A
TPS-compact-ot
bármely
Rögzítse a TPS-compact-ot stabil helyzetben, a turbószivattyú
bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva,
amely képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy
peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő
táblázat mindegyik rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok
vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő
nyomatékot.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
és
védőkupakot
helyzetben
lehet
telepíteni.
87-901-010-01
a
Publicité
Table des Matières
