Table des Matières
Publicité
mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die An-
zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schel-
lenarten angegeben.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE ANZ.
Doppelschelle mit
ISO 63
Gewinde M10
Doppelschelle mit
ISO 100 K
Gewinde M10
Doppelschelle mit
ISO 160 K
Gewinde M10
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
HINWEIS
Modell TPS-compact kann nicht mittels seines Sockels befes-
tigt werden.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden,
wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer ange-
schlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen
ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen
oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager
könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen
Schaden zugefügt werden.
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeits-
freies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck
am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphäri-
schen Druck) betragen.
Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die
für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maß-
nahmen zu befolgen.
Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von exp-
losionsfähigen Gasen verwendet werden.
ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
GEFAHR!
GEFAHR!
GEFAHR!
GEFAHR!
Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-
compact
Zur Einschaltung des TPS-compact ist der Netzstecker anzu-
schließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu
stellen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das An-
liegen der Spannung und startet die Pumpe.
Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start"
über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden
Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start"
zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte
den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Informa-
tion", nachschlagen.
Die blauen LEDs "STATUS" an der Bodenplatte von Modell
TPS-compact gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Be-
triebsbedingungen des System an:
-
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
-
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
"Waiting for Interlock".
-
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des TPS-
compact siehe im Anhang "Technical Information".
Stoppen von Modell TPS-compact
Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalter auf
die Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller
sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems.
Not-Aus
Zur Notstillsetzung des TPS-compact ist der Netzstecker zu
ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu
schalten.
WARTUNG
Das Modell TPS-compact erfordert keine Wartung (außer der
Austausch des Tip-seal). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch
autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden.
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service.
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu sen-
den. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Ver-
sand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
6/74
GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
HINWEIS
87-901-010-01
Publicité
Table des Matières
