ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle
weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen.
Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisun-
gen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen ein-
schlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haf-
tung. Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus
einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-
anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller
und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die
Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen,
nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festparti-
keln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine er-
reicht, die von einem Hochleistungs-drehstrommotor angetrieben
wird. Modell TPS-compact enthält keinerlei umweltschädliche
Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die
ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TPS-compact verfügt
des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungs-
ventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer
über eine serielle Leitung gesteuert werden kann. In den folgen-
den Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Si-
cherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufge-
führt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-
se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-
vorrufen könnten.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverläs-
sigkeit der Varian – Pumpsysteme müssen die folgenden Vor-
schriften eingehalten werden:
•
Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
•
Temperatur: von –20 °C bis +70 °C
•
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
•
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
•
Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-
nannte Frist überschreiten sollte, ist das Pumpensystem an das
Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte
an den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
GEFAHR!
Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem
Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
Modell TPS-compact kann durch die Umgebung an sich keine
Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der
Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch
Staub zu vermeiden.
INSTALLATION
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei
Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.
Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die unge-
schützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggres-
siven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder
erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder be-
nutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
-
Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
-
Temperatur: von +5°C bis +35°C
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist das
Pumpensystemdie Pumpe entsprechend abzuschirmen.
Modell TPS-compact kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell TPS-compact ist stabil zu befestigen, indem
der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment
von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels
doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam-
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GEBRAUCHSANLEITUNG
ACHTUNG!
HINWEIS
ACHTUNG!
87-901-010-01