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9. Répétez cette procédure pour la polarité « Inverse », car, dans le cas contraire, vous utiliseriez
10. Remettez à zéro les positions de masse et la résolution pour les deux polarités après la sauvegar-
Quand l'ajustage est terminé, l'état dans la fenêtre « Principal » indique « STOPPÉ ».
9.6.5 Effectuer le calibrage des masses (AJUSTAGE)
Un calibrage des masses du PrismaPro peut s'avérer nécessaire après une période indéterminée ou
pour certaines tâches de mesure.
Exécuter la fonction « Ajustage » dans PV MassSpec
1. Ouvrez le menu « Maintenance ».
2. Sélectionnez le PrismaPro désiré.
3. Dans le menu « Maintenance », cliquez sur « Ajuster ».
Ajouter ou supprimer des masses dans ou à partir du tableau de calibrage
Pfeiffer Vacuum a préréglé les masses 1, 2, 4, 28, et 86 dans les réglages par défaut.
► Ajustez les masses du mélange de gaz avec lequel vous voulez réaliser un calibrage de masse
► Ne supprimez pas les masses 1 et 2.
9.6.6 Calibrage avec un mélange de gaz de test
Le mélange idéal inclut les masses du calibrage d'usine pour le domaine de masse correspondant du
PrismaPro à calibrer.
Procédure
► S'il y a lieu, utilisez un mélange de gaz de test fourni par un fournisseur de gaz.
9.6.7 Calibrage avec des gaz de procédé
Utiliser le gaz de procédé pour le calibrage de masse
1. S'il y a lieu, utilisez le gaz de procédé à analyser pour le calibrage de masse.
2. Définissez les masses typiques importantes pour l'analyse du procédé pour le calibrage.
Calibrage avec une faible masse
1. Ne calibrez pas les masses 1 u et 2u (H) si le procédé ne contient pas d'hydrogène.
2. Ne supprimez pas l'hydrogène du tableau de calibrage.
3. Calibrez la masse 4 u (He) si vous utilisez le PrismaPro pour le test des fuites.
4. Pulvérisez de l'hélium dans une fuite que vous avez créée.
Calibrage avec une masse moyenne
► Si possible, utilisez de l'azote (N) ou une autre masse dans ce domaine, par exemple de l'eau
Calibrage avec une masse plus élevée
1. Calibrez avec de l'argon (Ar) si le procédé ne contient pas de gaz avec des masses > 40 u.
2. Si le procédé contient des masses plus élevées, calibrez une masse entre la masse moyenne et
3. Si le procédé contient des masses plus élevées, calibrez une masse entre 100 u et 200 u pour les
4. Si le procédé contient des masses plus élevées, calibrez une masse > 200 u pour les analyseurs
9.6.8 Calibrage de la détection de fuites d'hélium
Calibrage à l'hélium
1. Fournissez l'hélium nécessaire pour le calibrage.
2. Acheminez l'hélium dans l'enceinte à vide.
3. Calibrez la masse 4 u (He) pour une détection de fuites correcte.
4. Calibrez la masse 4 u (He) si vous utilisez le PrismaPro que pour le test des fuites.
l'analyseur avec 2 fréquences différentes.
de de la haute fréquence.
en ajoutant et en supprimant des masses.
– Ceci fournit le calibrage pour la faible masse requise.
(H
O), oxygène (O), etc. comme masse moyenne.
2
100 u pour les analyseurs avec un domaine de masse de 100 u.
analyseurs avec un domaine de masse de 200 u.
avec un domaine de masse de 300 u.
Maintenance
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