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Pfeiffer Vacuum TPG 366 MAXIGAUGE Manuel De L'utilisateur
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MANUEL DE L'UTILISATEUR
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Traduction d'original
TPG 366 MAXIGAUGE
Pression totale unité de mesure et de contrôle

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Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum TPG 366 MAXIGAUGE

  • Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original TPG 366 MAXIGAUGE Pression totale unité de mesure et de contrôle...
  • Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
  • Page 3 Responsabilité et garantie Conditions propriétaire Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Conditions opérateur Transport et stockage Description du produit Identification du produit...
  • Page 4 Démantèlement Maintenance Nettoyage de l'appareil Remplacement de la pile Erreurs Expédition Mise au rebut Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Caractéristiques techniques 14.2 Dimensions Annexe 15.1 Unités de pression 15.2 Débits de gaz Listé ETL Déclaration de conformité...
  • Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Documents applicables Tab. 2: Variantes Tab. 3: Abréviations employées Tab. 4: Danger de mort par électrocution Tab. 5: Commandes Tab. 6: Fonctions de commutation Tab. 7: État de la connexion Ethernet Tab. 8: Description des commandes Tab.
  • Page 6 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Appareil de déconnexion conforme à EN 61010-1 Fig. 2: Panneau avant Fig. 3: Connexions à l'arrière Fig. 4: Écran Fig. 5: Paramètre ou graphique à barres Fig. 6: Points de commutation, mode Paramètres et verrou d'entrée Fig.
  • Page 7 Variantes La référence est disponible sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les chiffres présentés dans ce document ne sont pas à l'échelle (dimensions au mm). 1.1.3 Versions de micrologiciel Ce document est rédigé...
  • Page 8 A propos de ce manuel Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise.
  • Page 9 A propos de ce manuel Abréviation Explication Point de commutation (point de consigne) UART Émetteur-récepteur asynchrone universel Tab. 3: Abréviations employées 1.4 Marques ● FullRange ® est une marque de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● MaxiGauge ® est une marque de Pfeiffer Vacuum GmbH. 9/74...
  • Page 10 Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d'une éva- luation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit.
  • Page 11 Sécurité Danger de mort par électrocution DANGER Danger de mort par électrocution L'appareil présente des tensions élevées. Le contact avec des pièces sous tension entraîne un dan- ger de mort. La mise en service de l'appareil alors qu'il est visiblement endommagé implique un dan- ger de mort.
  • Page 12 Sécurité Risques pendant l’entreposage AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l'humidité, etc., provoquent des dégâts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution...
  • Page 13 ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum. ► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil.
  • Page 14 Sécurité Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort par électrocution L'appareil présente des tensions élevées. Le contact avec des pièces sous tension entraîne un dan- ger de mort. La mise en service de l'appareil alors qu'il est visiblement endommagé implique un dan- ger de mort.
  • Page 15 Sécurité Risques pendant la mise au rebut ATTENTION Risque pour la santé en raison de substances dangereuses pour l'environnement Les produits, fluides d'exploitations, composants électriques, gaz d'étalonnage résiduels (provenant des fuites de test par exemple) ou similaire entraînent des risques pour la santé. ►...
  • Page 16 ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l'intérieur ou à l'extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.6 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document.
  • Page 17 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
  • Page 18 Transport et stockage 3 Transport et stockage AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
  • Page 19 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. Enregistrement des données de la plaque signalétique 1. Relever les données sur la plaque signalétique produit.
  • Page 20 Description du produit ® MaxiGauge Fig. 2: Panneau avant 1 Connexion USB (type A) Commandes 2 Écran Fig. 3: Connexions à l'arrière 1 Connexions « capteur 1 » à « capteur 6 » pour jauges Prise de terre 2 Connexion « commande » pour les fonctions de commande Alimentation électrique secteur 3 Connexion «...
  • Page 21 Description du produit 4.4 Éléments d'affichage Texte d'affichage dans ce manuel Dans ce manuel, les deux lignes de texte d'affichage sont séparées par un trait vertical (Ligne 1 | Ligne 2). Éléments d'affichage de l'appareil Fig. 4: Écran 1 Points de commutation Unité...
  • Page 22 Description du produit Points de commutation, mode Paramètres et verrou d'entrée Fig. 6: Points de commutation, mode Paramètres et verrou d'entrée 1 Points de commutation à partir des relais 1 à 6 Relais 3 désactivé 2 Mode Paramètres activé Relais 1 activé 3 Verrou d'entrée activé...
  • Page 23 Description du produit 4.6 Interfaces 4.6.1 Alimentation électrique secteur DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel.
  • Page 24 Description du produit La connexion à la protection par mise à la terre se trouve sur l'arrière de l'appareil. Avec la vis, il est possible de connecter l'appareil par un conducteur mis à la terre jusqu'à la mise à terre du groupe de pompage, par exemple.
  • Page 25 Description du produit 4.6.5 Connexion « relais » DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme CEI 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessu- res ou un danger de mort par choc électrique.
  • Page 26 Description du produit Fig. 12: Connexion « RS-485 » (prise M12 Liaison 5 broches) 1 RS-485+ (différentiel) RS-485- (différentiel) 2 +24 V (CC), ≤ 200 mA non attribué 3 Terre (GND) 4.6.7 Connexion « USB » (type B) La connexion « USB » (type B) active la communication directe avec l'appareil par l'intermédiaire d'un ordinateur (mise à...
  • Page 27 Description du produit État Signification Verte (lien) allumée Connexion de l'équipement présente éteinte Connexion de l'équipement absente Jaune (activité) allumée (clignotement) Transmission de données en cours éteinte Aucune transmission de données/absence de connexion Tab. 7: État de la connexion Ethernet 27/74...
  • Page 28 Installation 5 Installation 5.1 Installation de l'appareil dans un cadre de 19" AVIS Dégâts causés par surchauffe La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible de l'appareil. ► Veiller à assurer une bonne circulation de l'air lors de l'installation de l'appareil. ►...
  • Page 29 Installation Fig. 18: Installation de l'appareil Installation de l'appareil dans l'adaptateur de module de cadre Outillage nécessaire ● Tournevis Équipement nécessaire ● 4 x vis à collet et raccord synthétique ● Rails de coulissement (option) 1. Recommandation : Installer les rails de coulissement dans le cadre pour une installation sécurisée et facile des adaptateurs de module de cadre lourds.
  • Page 30 Installation M3 or Ø Fig. 19: Ouverture panneau de commande requise Installation de l'appareil dans un panneau de commande Outillage nécessaire ● Tournevis Équipement nécessaire ● 4 vis (M3 ou équivalent) 1. L'appareil doit être soutenu par dessous pour décharger le panneau frontal. 2.
  • Page 31 Installation Équipement nécessaire ● 2 pieds en caoutchouc autocollants ● 1 baguette en caoutchouc fixable 1. Fixer les 2 pieds en caoutchouc à l'arrière de la base du logement. 2. Fixer la baguette en caoutchouc sur le panneau avant par dessous. 31/74...
  • Page 32 Si l'appareil doit être mis à jour avec une version plus récente du micrologiciel, par souci de compatibili- té avec de nouvelles jauges par exemple contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum le plus proche. Il est possible d'effectuer une mise à jour de micrologiciel ●...
  • Page 33 ● Vérifier qu'aucune clé USB n'est connectée à l'avant de l'appareil. 1. Ouvrir le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum dans le navigateur. 2. Saisir le mot clé « Outil de mise à jour USB ». – L'écran affiche la liste des logiciels disponibles.
  • Page 34 COM virtuelles à l'aide de tous les programmes compatibles avec les interfaces sé- rielles (par exemple, programme terminal, LabView, etc.). Selon le réglage du protocole, la communica- tion avec l'appareil est assurée avec le protocole Pfeiffer Vacuum ou mnémonique. 34/74...
  • Page 35 Mise en service Fig. 22: Outil de configuration Ethernet Outil de configuration Ethernet ● L'onglet « Info appareil » présente les informations de base de l'appareil sélectionné. ● Le réglage de réseau automatique ou manuel est effectué sur l'onglet « Paramètres réseau ». ●...
  • Page 36 Ethernet. Les droits administrateur sont également requis. 3. Ouvrir le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum dans le navigateur. 4. Saisir le mot clé « Outil de configuration Ethernet ». – L'écran affiche la liste des logiciels disponibles. 5. Télécharger le fichier dans la langue souhaitée.
  • Page 37 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Opérations de base La section qui suit contient des informations concernant les opérations de base les plus importantes pour les modes individuels. Fonctionnement Description Appuyer sur le bouton Appuyer sur le bouton pendant au moins une seconde > 1s Ne pas appuyer sur le bouton Appuyer sur les boutons simultanément Tab.
  • Page 38 Utilisation Fig. 23: Changer le canal de mesure Changer le canal de mesure Le bouton « Canal de mesure » permet d'alterner entre les canaux de mesure. Le numéro du canal de mesure sélectionné apparaît. ► Appuyez sur le bouton « Canal de mesure » jusqu'à ce que le numéro du canal souhaité s'affiche. >...
  • Page 39 Utilisation > 1s Fig. 26: Identifiant de jauge Identifiant de jauge ► Maintenir les deux touches fléchées enfoncées pendant au moins 1 seconde. L'appareil relève l'identifiant de jauge (ligne 1) et le nom du point de mesure (ligne 2, standard = néant) du canal de mesure actuel et l'affiche pendant 5 secondes, par exemple : ●...
  • Page 40 Utilisation Mode de mesure Groupe de Lire les Modifier les paramètres paramètres paramètres Mise en circuit < < >10 s >10 s Fig. 29: Lecture/écriture de groupes de paramètres et de paramètres Modifier les paramètres 1. Appuyer sur le bouton « Paramètres » pour passer en mode Paramètres. –...
  • Page 41 à laquelle la fonction de commutation est désactivée si la pression augmen- Réglage des valeurs seuil Pfeiffer Vacuum recommande le réglage de la valeur seuil supérieure à 1/2 décade au-des- sus de la valeur seuil inférieure, ou de régler la valeur seuil inférieure à 1/2 décade en des- sous de la valeur seuil supérieure.
  • Page 42 Utilisation Type de jauge Valeur seuil inférieure [hPa] Hystérésis minimum Valeur seuil supérieure [hPa] TPR/PCR +10 % valeur seuil inférieure 1500 5 · 10 (PPT 200 AR / RPT 200 AR) IKR 2x1 1 · 10 1 · 10 IKR 36x IKR 270 1 ·...
  • Page 43 Utilisation 7.4.2 Paramètres de jauge Paramètre Description DÉGAZAGE FILAMENT Nettoyage du système d'électrode À PLEIN Plage de mesure des jauges linéaires FILTRE Filtre de valeur mesurée DÉCALAGE Correction du décalage Facteur d'étalonnage des autres types de gaz Facteur d'étalonnage DÉCIMALES Résolution d'affichage Nom de point de mesure Tab.
  • Page 44 ● LENT ─ L'appareil ne répond pas aux légères fluctuations de valeur mesurée et donc plus lentement aux changements de valeur mesurée. Pfeiffer Vacuum recommande ce réglage pour des me- sures de comparaison précises. Fig. 31: Rapide, normal et lent (de gauche à...
  • Page 45 Utilisation 7.4.3 Commande de jauge Paramètre Description CAPTEUR ACTIVATION Jauge type activation CAPTEUR DÉSACTIVATION Jauge type désactivation VALEUR SEUIL ACTIVATION Valeur seuil d'activation VALEUR SEUIL DÉSACTIVATION Valeur seuil de désactivation Tab. 14: Commande de jauge Le groupe de commande de jauge inclut les paramètres d'affichage et de modification/saisie utilisés pour définir comment les jauges sont activées et désactivées.
  • Page 46 Utilisation Réglage ou Description valeur La jauge sur le canal de mesure 1 désactive automatiquement les jauges. La jauge sur le canal de mesure n désactive automatiquement les jauges. Tab. 17: Type désactivation (CAPTEUR DÉSACTIVATION) VALEUR SEUIL ACTIVATION Définition de la valeur seuil d'activation lors de l'utilisation de la jauge sur un autre canal pour l'activa- tion.
  • Page 47 Utilisation Paramètre Description SOUS-RÉSEAU (ETH) Masque de sous-réseau (Ethernet) PASSERELLE (ETH) Adresse passerelle (Ethernet) Tab. 19: Paramètres généraux Le groupe de paramètres généraux inclut l'affichage et la modification/saisie des paramètres applica- bles généralement (paramètres système). Type de jauge TPR/PCR CMR/APR (PPT 200 AR / (MPT 200 AR) (HPT 200 AR)
  • Page 48 Utilisation ● TOUTES LES ERREURS ─ Commute avec toutes les erreurs (réglage usine) ● SANS ERREUR DE CAPTEUR ─ Erreur appareil uniquement ● ERREUR DE CAPTEUR n ─ Erreur de capteur n et erreur de l'appareil PENNING-UR AVIS Conséquences involontaires avec contrôleur connecté Relais de commutation indépendant de la pression.
  • Page 49 PROTOCOLE Protocole de l'interface sérielle (RS-485, USB-B, Ethernet). ● AUTOMATIQUE (détection automatique (réglage usine)) ● PFEIFFER VACUUM (protocole de Pfeiffer Vacuum) ● 3 CARA MNÉMONIQUES (protocole mnémonique) RÉTRO-ÉCLAIRAGE La valeur du rétro-éclairage est réglable de 0 à 100 % (pleine intensité).
  • Page 50 Utilisation CHARGE STANDARD Fig. 32: Appuyer simultanément sur les touches fléchées > 2 secondes Réinitialiser aux valeurs par défaut (réglages usine) tous les paramètres réglés/modifiés par l'utilisateur. Le rétablissement aux paramètres par défaut est une opération irréversible. Pour charger les ré- glages usine, appuyer simultanément sur les touches «...
  • Page 51 VERSION DE LOGICIEL Affichage de la version de logiciel (version de programme). Cette information est utile lors de tout contact avec Pfeiffer Vacuum. VERSION D'ÉQUIPEMENT Affichage de la version d'équipement. Cette information est utile lors de tout contact avec Pfeiffer Vacuum.
  • Page 52 ─ Test terminé, erreurs détectées. Une somme de contrôle à 8 chiffres est ensuite affichée, 0x12345678, par exemple. Si une erreur se produit à nouveau lors de la répétition du test, contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum le plus proche. TEST EEPROM Test de la mémoire de paramètre.
  • Page 53 L'appareil ne reconnaît pas toutes les clés USB, si elles ne sont pas conformes au stan- dard USB par exemple. Essayer d'utiliser une autre clé avant de contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum le plus proche. DATE Date actuelle au format AAAA-MM-JJ.
  • Page 54 Utilisation ● 1 s ─ Intervalle d'enregistrement 1/s ● 10 s ─ Intervalle d'enregistrement 1/10 s ● 30 s ─ Intervalle d'enregistrement 1/30 s ● 1 min ─ Intervalle d'enregistrement 1/60 s ● 1 % ─ Intervalle d'enregistrement : Avec modification de la valeur mesurée ≥ 1 % ●...
  • Page 55 Utilisation 7.6 Mode Configuration Paramètre Description SAUVEGARDER VERS Enregistrer tous les paramètres RÉCUPÉRER DE Écrire tous les paramètres sur l'appareil FORMAT Formater la clé USB (FAT32) SUPPRIMER Supprimer tous les fichiers avec des paramètres enregistrés Tab. 23: Paramètres en mode Configuration Ce groupe permet ●...
  • Page 56 Utilisation Fig. 40: Supprimer les fichiers de paramètres de la clé USB ● EN COURS ─ L'appareil est en train de supprimer les fichiers. ● TERMINÉ ─ L'appareil a supprimé les fichiers. 56/74...
  • Page 57 Démantèlement 8 Démantèlement Éteindre l'appareil 1. Utiliser l'interrupteur secteur pour éteindre l'appareil. 2. Pour un montage sur cadre : Éteindre l'appareil avec l'interrupteur électrique principal. 3. Patienter au moins 10 secondes avant de le rallumer, afin que l'appareil ait le temps de se réinitia- liser.
  • Page 58 ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum. ► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil.
  • Page 59 Le remplacement de la pile est nécessaire lorsque l'horloge en temps réel affiche à répétition une date incorrecte. Pour le remplacement de la pile, contac- ter le Centre de service Pfeiffer Vacuum le plus proche. 59/74...
  • Page 60 L'apparition d'une erreur entraîne l'ouverture du relais d'erreur. Une erreur ne peut pas être supprimée Si une erreur persiste, même après avoir été validée et/ou avoir remplacé la jauge plu- sieurs fois, contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum le plus proche. Défaillance Cause possible...
  • Page 61 ► Conforme aux instructions pour une expédition en toute sécurité. Expédition du produit en toute sécurité Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. 1. L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioacti- ve est interdite.
  • Page 62 Mise au rebut 12 Mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi- ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opéra- tions de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à...
  • Page 63 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
  • Page 64 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
  • Page 65 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Caractéristiques techniques Généralités Paramètre Valeur Utilisation Pour installation sur cadre, en panneau de commande ou sur table Poids < 2,2 kg Tab. 25: Caractéristiques techniques (générales) Alimentation électrique secteur Paramètre Valeur Tension 100 –...
  • Page 66 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur CMR 261 – CMR 275, CMR 361 – CMR 375 APR 250 – APR 267, CPT 200 AR Tab. 28: Caractéristiques techniques (connexions de jauge) Tension d'alimentation de jauge Paramètre Valeur Tension +24 V (CC) ±5 % Ondulation <...
  • Page 67 Caractéristiques techniques et dimensions Relais de fonction de commutation Paramètre Valeur Type de contact Contact bidirectionnel zéro potentiel Charge max. 60 V (CC), 0,5 A, 30 W (ohmique) 30 V (CA), 1 A (ohmique) Durée de vie (mécanique) 1 · 10 Cycles de commutation Durée de vie (électrique) 1 ·...
  • Page 68 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Signal de mesure au taux de pression Selon la jauge Connexion (voir chapitre « Connexion « commande » », page 24) Tab. 37: Caractéristiques techniques (sorties analogiques) Interface RS-485 Paramètre Valeur PROTOCOLE ACK/NAK, ASCII avec 3 caractères mnémoniques ou protocole PV Format de données Transmission bidirectionnelle des données, 1 bit de départ, 8 bits de don-...
  • Page 69 Caractéristiques techniques et dimensions 14.2 Dimensions 198.1 161.5 210.4 Fig. 41: Dimensions TPG 366 (en mm) 69/74...
  • Page 70 Annexe 15 Annexe 15.1 Unités de pression Unité mbar Torr / mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1000 1000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7,5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1000 Torr / mm Hg 1,33 133,32 1,33...
  • Page 71 ETL LISTED The products TPG 361, TPG 362 and TPG 366 - conform to the UL standards UL 61010-1 and UL 61010-2-030. - are certified to the CAN/CSA standards CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12 and CAN/CSA C22.2 No. 61010-2-030. 4010094...
  • Page 72 DIN EN 61000-3-2:2015-03 DIN EN 61000-3-3:2014-03 DIN EN 61000-6-1:2007-10 DIN EN 61000-6-2:2006-03 DIN EN 61000-6-3:2011-09 DIN EN 61000-6-4:2011-09 DIN EN 61010-1:2011-07 DIN EN 61326-1:2013-07 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar Allemagne (Daniel Sälzer) Aßlar, 2017-03-24 Directeur général...
  • Page 73 73/74...