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Pfeiffer Vacuum PRISMAPRO QMG 250 Manuel De L'utilisateur
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MANUEL DE L'UTILISATEUR
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Traduction d'original
PRISMAPRO
®
QMG 250
Spectromètre de masse compact

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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum PRISMAPRO QMG 250

Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum PRISMAPRO QMG 250

  • Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original PRISMAPRO ® QMG 250 Spectromètre de masse compact...
  • Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
  • Page 3 Responsabilité et garantie Conditions propriétaire Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Conditions opérateur Description du produit Fournitures Vue d’ensemble du système 3.2.1 Structure du système 3.2.2 Analyseur QMA 250...
  • Page 4 10.2 Contacts sur QMA 250 et QME 250 10.3 Contrôle de l’analyseur QMA 250 Expédition Recyclage et mise au rebut 12.1 Informations générales sur la mise au rebut 12.2 Élimination d’un spectromètre de masse compact Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 4/92...
  • Page 5 14.4.3Lot de petites pièces PT 163 543 pour source d'ions croisés 14.4.4Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d'ions à grille Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités 15.2 Fiche technique PrismaPro QMG 250 F 15.3 Fiche technique PrismaPro QMG 250 M 15.4 Dimensions Certification NRTL Déclaration de conformité...
  • Page 6 Tab. 27: Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d'ions à grille Tab. 28: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 29: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 30: Fiche technique PrismaPro QMG 250 F Tab. 31: Fiche technique PrismaPro QMG 250 M 6/92...
  • Page 7 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Position des autocollants sur le produit Fig. 2: Composants principaux du PrismaPro Fig. 3: Vue d’ensemble du système Fig. 4: Analyseurs avec protection pour le transport Fig. 5: Composants de l’analyseur QMA 250 avec source d'ions à ouverture Fig.
  • Page 8 Ce document est applicable à tous les produits avec les références des pièces suivantes : Référence de pièce Désignation PT M15 ... PrismaPro QMG 250 (Faraday) PT M16 ... PrismaPro QMG 250 (multiplicateur d'électrons/Faraday) Tab. 2: QMG 250 PrismaPro Référence de Description Domaine Détecteur...
  • Page 9 Unité électronique QME 250 Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
  • Page 10 A propos de ce manuel 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ►...
  • Page 11 A propos de ce manuel 1 2 3 Fig. 1: Position des autocollants sur le produit 1 Plaque signalétique pour système QMG 250 entier Plaque signalétique pour analyseur QMA 250 2 Plaque signalétique pour unité électronique QME 250 1.3.4 Abréviations Abréviation Explication Entrée analogique Sortie analogique...
  • Page 12 Web UI Interface utilisateur via connexion web Tab. 5: Abréviations employées 1.4 Justificatif de marque du produit ● PrismaPro ® est une marque du produit déposée par Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Windows ® est une marque du produit de Microsoft Corporation. 12/92...
  • Page 13 Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une éva- luation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit.
  • Page 14 Sécurité DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d'électrodes de l’analyseur QMA. Dans des conditions non favorables, d’autres composants installés dans l’enceinte à vide (p. ex., jauges) peuvent être exposés à cette tension et devenir dangereux en cas de contact. (Prenez en compte aussi les lignes et les appareils connectés) Vous devez disposer ou protéger les composants installés de façon à...
  • Page 15 Sécurité Risques pendant le fonctionnement ATTENTION Risques sanitaires et environnementaux dus aux de gaz de procédé utilisés Les gaz utilisés (gaz de procédé) constituent un risque sanitaire et environnemental. ► Contrôler l'étanchéité des branchements avant de laisser le gaz de procédé pénétrer dans le système.
  • Page 16 Sécurité Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou répara- tion implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû...
  • Page 17 ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriées ou non approuvées 2.6 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ●...
  • Page 18 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─...
  • Page 19 Sécurité 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
  • Page 20 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fournitures Pièces incluses dans la livraison : ● QMG 250 PrismaPro ─ Analyseur QMA 250 avec protection pour le transport et pièce intermédiaire (variante EM uni- quement) ─ Unité électronique QME 250 ─ Unité d'alimentation SP 250 ─...
  • Page 21 L’utilisation du module optionnel IO 250 I/O permet d’utiliser des interfaces additionnelles. L’unité élec- tronique QME 250 est disponible avec l’IO 250 déjà installé. Pfeiffer Vacuum peut, cependant, aussi re- conditionner l’unité électronique QME 250 avec un IO 250.
  • Page 22 Description du produit QME 250 IO 250 QMA 250 SP 250 Fig. 3: Vue d’ensemble du système 1 Source d’ions Connexion au PC (Ethernet) avec PV MassSpec 2 Filtre quadripolaire Jauges 3 Détecteur Faraday Entrées et sorties additionnelles (analogiques/numé- riques) 4 Multiplicateur d’électrons secondaire Tension d’alimentation (EM)
  • Page 23 > 10 hPa. Pfeiffer Vacuum fournit seulement la version à source d'ions à ouverture pour l'analyseur QMA 250 F avec seau de Faraday. Le QMA 250 M est disponible en option avec une source d'ions à ouverture, une source d’ions croisés ou une source d'ions à grille.
  • Page 24 Description du produit Fig. 6: Face avant du QME 250 : côté gauche standard, côté droit avec IO 250 Désignation Explication Prise <AUX I/O> Interface I/O (standard) Prise <LAN> Connexion Ethernet (PC) Prise <24 V = 30 W> Prise de raccordement pour SP 250 Prise <USB>...
  • Page 25 Description du produit Fig. 8: Vue du connecteur de réseau 1 V- 2 V- 3.3.2 Ethernet (LAN) La connexion <LAN> comprend une prise RJ-45 à 8 broches. RJ-45 green yellow Fig. 9: Connexion Ethernet 1 Transmission de données (TD+) 4, 5, 7, 8 Non utilisé...
  • Page 26 Description du produit Relais L'état de la sortie relais est actif (fermé) quand l'émission est activée. ● Émission activée : broche 1 + broche 2 connectées = relais fermé. ● Émission désactivée : broche 1 + broche 2 non connectées = relais ouvert. ●...
  • Page 27 Description du produit Sortie analogique ● 8 canaux de sorties analogiques 16 bit (sortie analogique 0 à 7) ● Gamme de tension : 0 à 10 V Entrées analogiques ● 8 canaux d’entrées analogiques 16 bit (sortie analogique 2 à 9) ●...
  • Page 28 La connexion <TP GAUGE> comprend une prise amphénol 6 broches C 091 A pour la connexion des jauges Pfeiffer Vacuum ActiveLine ou DigiLine avec l’option de relais analogique Analog Relay (AR), par exemple comme protection du spectromètre de masse contre les augmentations imprévues de pression.
  • Page 29 Description du produit 3.5 Principe de fonctionnement Le spectromètre de masse compact PrismaPro est un système de spectromètre de masse quadripole pour l’analyse de gaz qualitative et quantitative dans une gamme de vide élevé et d’ultra vide pour la détection de fuites et l’identification de contaminations. Une source d'ions à...
  • Page 30 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
  • Page 31 Installation 5 Installation 5.1 Installation de PrismaPro DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des élé- ments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique un danger de mort.
  • Page 32 Installation AVIS Dommages matériels causés par des conditions spatiales inadéquates En cas de conditions spatiales inadéquates, des courts-circuits entre l'analyseur et le mur vont cau- ser des dommages matériels. ► Respectez les conditions spatiales requises pour le PrismaPro. ► Installez toujours l’analyseur dans des brides ou des tubes d’un diamètre interne ≥ 37 mm, et >...
  • Page 33 Positionnement horizontal de l’analyseur L'analyseur est approprié pour une installation dans une position arbitraire sur le système de vide. Pfeiffer Vacuum recommande une position de montage à l’horizontale. Ceci offre les avantages suivants : ● Protection optimale de l'unité électronique contre la chute d’articles ●...
  • Page 34 Installation Fig. 16: Fixation et mise à la terre de l’analyseur 1 Marquage de la connexion de terre avec le symbole de prise de terre Position des têtes de vis 2 Connexion de mise à la terre (M4) QMA 250 F QMA 250 M Fig.
  • Page 35 Installation 6. Pour un système de vide sans mise à la terre : préparez un connecteur de mise à la terre à partir d’un fil de cuivre dénudé ou jaune-vert (2,5 mm si mécaniquement protégé 4,0 mm si non protégé). 7.
  • Page 36 Installation 5.4 Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle 5.4.1 Établissement de la connexion Ethernet Le PrismaPro n'a pas de commandes propres. Un PC (ordinateur de pilotage) ou un réseau est requis pour le fonctionnement. 2 LED dans la prise RJ-45 indiquent l'état de l’interface. Raccordement du câble Ethernet ►...
  • Page 37 Conflit des adresses IP lors de l’utilisation de plusieurs appareils PrismaPro Pfeiffer Vacuum fournit à chaque appareil PrismaPro la même adresse IP par défaut. La connexion simultanée de plusieurs PrismaPro avec une adresse IP identique entraîne des conflits d'adresse IP dans le réseau.
  • Page 38 Installation Les adresses IP statiques protègent contre la perte de données. Le logiciel PV MassSpec utilise l’adresse IP du PrismaPro pour identifier chaque Prisma- Pro connecté. L’adresse IP du PrismaPro ne doit pas changer pendant le fonctionnement. Avec DHCP, l’hôte peut générer une nouvelle adresse IP à chaque connexion et reconne- xion du PrismaPro.
  • Page 39 Installation Procédure ► Changez l’adresse IP de l’unité à l’aide de Web UI. ► Changez l’adresse IP de l’unité à l’aide de PV MassSpec Search. 5.6.4 Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte Droits d’administrateur Les étapes suivantes sont valables pour le système d’exploitation Windows 7. Toute modi- fication de l’adresse IP de l’ordinateur hôte nécessite des droits d’administrateur.
  • Page 40 Conflit des adresses IP lors de l’utilisation de plusieurs appareils PrismaPro Pfeiffer Vacuum fournit à chaque appareil PrismaPro la même adresse IP par défaut. La connexion simultanée de plusieurs PrismaPro avec une adresse IP identique entraîne des conflits d'adresse IP dans le réseau.
  • Page 41 8. Confirmez les entrées avec « Suivant ». – Le logiciel effectue et termine l’installation, stocke les données du programme sur le disque C dans le nouveau dossier « Pfeiffer Vacuum ». À la fin de l’installation, un lien PV MassSpec est créé sur votre bureau.
  • Page 42 6 Mise en service 6.1 Mise en service de l’appareil Paramètres d’usine Pfeiffer Vacuum configure de façon optimale les systèmes complets à l’usine. Vous ne de- vez donc pas effectuer de changements sans une bonne raison. Conditions préalables ● Composants du système correctement installés ●...
  • Page 43 Mise en service Problème de transfert de données Si la LED jaune de la connexion Ethernet reste éteinte, un problème est apparu pendant le transfert des données. Contrôlez le câble et les composants dans le chemin de connexion, ainsi que la configuration correcte du PC (logiciel, état du parefeu, etc.). Procédure Comme alternative au fonctionnement avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez aussi piloter Prisma- Pro via Web UI.
  • Page 44 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Utilisation de PrismaPro Web UI Vous trouverez des informations détaillées sur l’utilisation de PrismaPro Web UI dans le manuel de l'uti- lisateur correspondant. 7.2 Utiliser PV MassSpec Vous trouverez des informations détaillées sur l’utilisation de PV MassSpec dans le fichier d’aide du lo- giciel et dans ce mode d’emploi.
  • Page 45 Mise hors service 8 Mise hors service DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des élé- ments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique un danger de mort.
  • Page 46 Maintenance 9 Maintenance Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour orga- niser la maintenance de produits et de composants défectueux.
  • Page 47 Maintenance Fig. 19: Extrait d'un exemple de rapport de test Visualiser le rapport de test 1. Ouvrez votre navigateur web. 2. Dans la barre d'adresse, entrez : http://<IP ADDRESS>//testreport.pdf – À la place de <IP ADDRESS>, entrez l’adresse IP du PrismaPro. Le fichier PDF du rapport de test va s’ouvrir.
  • Page 48 Inspection visuelle avant le remplacement de l’unité filament Inspectez et évaluez la source d'ions complète avant le remplacement de l’unité filament. Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer toute la source d'ions en cas de dommages, de dépôts significatifs, d’encrassement ou de signes de contamination (p. ex., décolora- tion).
  • Page 49 Maintenance Fig. 21: Connexions du filament et de la source d’ions avec les étriers de fixation 1 Contrefiche en U Connexion bien montée 2 Vis Contrefiche parallèle à la contrefiche en U 3 Contrefiche non parallèle à la contrefiche en U Connexion mal montée Bonne connexion Mauvaise connexion...
  • Page 50 2. Vérifiez les filaments et la source d'ions si le résultat désiré n’est pas obtenu par étuvage de l’ana- lyseur. 3. Contactez Pfeiffer Vacuum Service si vous ne pouvez pas éliminer le problème de cette façon. 50/92...
  • Page 51 Inspection visuelle avant le remplacement de l’unité filament Inspectez et évaluez la source d'ions complète avant le remplacement de l’unité filament. Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer toute la source d'ions en cas de dommages, de dépôts significatifs, d’encrassement ou de signes de contamination (p. ex., décolora- tion).
  • Page 52 Maintenance Rondelle ressort sur unité filament La rondelle ressort sur l’unité filament assure un contact flexible entre la cage du déflecteur et la masse (GND) du QMA. La rondelle ressort doit toucher la vis de fixation sans que les deux parties soient boulonnées ensemble. Fig.
  • Page 53 Entrée. 9.4.2 Remplacement de l’unité filament de la source d'ions croisés Renouveler les filaments des deux supports de filaments Pfeiffer Vacuum recommande de toujours renouveler les filaments des deux supports de filaments. Condition préalable ● PrismaPro désactivé...
  • Page 54 Maintenance Fig. 25: Unité filament de la source d'ions croisés 1 Étrier (4×) Axe fileté (2×) 2 Écrou (4×) Plaque Wehnelt (2x) (rectangulaire) 3 Vis (4×) Filament (2×) (M1.6×5, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 4 Support de filament avec filament (2×) Isolateur en céramique (2×) 5 Zone de formation Écrou (2×)
  • Page 55 Maintenance 8. Tenez les étriers avec la pince plate. 9. Serrez les vis et les écrous. – Couple de serrage : 0,15 Nm 10. Sécurisez le ressort du crochet. 11. Mesurez la résistance de chaque filament. Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation ►...
  • Page 56 Maintenance 4. Installez les isolateurs en céramique, les capots, les disques de serrage et les circlips. 5. Serrez les écrous. – Couple de serrage : 0,15 Nm 6. Desserrez les boulons de l’anneau de support et retirez l'anneau de support. 7.
  • Page 57 Maintenance Outils nécessaires ● Tournevis plat, 1,5 mm ● Tournevis plat, 3 mm ● Tournevis cruciforme, Philips #1 ● Clé dynamométrique ● Pince plate Accessoires requis ● Auxiliaire de montage pour l’analyseur Pièces de rechange requises ● source d'ions à ouverture avec filaments en tungstène ou filament iridium recouverts Y ●...
  • Page 58 Maintenance Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation ► Réglez le compteur de sectionnement de pression de la source d'ions sur 0 (zéro) dans uCon, à l’aide de l’instruction U204. – Alternativement, entrez « /mmsp/sensorIonSource/tPTripCount/set?0 » dans le navigateur web et confirmez avec Entrée.
  • Page 59 Maintenance Fig. 30: Ressort de support sur l’analyseur avec source d'ions croisés 1 Ressort de support Démontage de la source d’ions 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage. 2. Enlevez le ressort du crochet. 3. Tenez les étriers et les connexions avec la pince plate. 4.
  • Page 60 Maintenance Outils nécessaires ● Tournevis plat, 1,5 mm ● Tournevis plat, 3 mm ● Tournevis cruciforme, Philips #1 ● Clé dynamométrique ● Pince plate Accessoires requis ● Auxiliaire de montage pour l’analyseur Pièces de rechange requises ● Source d’ions à grille avec filaments en tungstène ●...
  • Page 61 9.6 Calibrage du rapport haute fréquence et masse Pfeiffer Vacuum calibre le rapport HF/DC d’un PrismaPro de façon à ce qu'une seule masse puisse passer le filtre de masse quadripolaire à un rapport HF/DC donné. Le rapport HF/DC de chaque masse sélectionné...
  • Page 62 Maintenance 9.6.4 Réglage de la haute fréquence pour les deux polarités À la mise en service initiale du PrismaPro, après le changement de l'analyseur ou de l’unité électroni- que, ou en cas de vieillissement ou de changement des conditions d’installation, l'étage HF du Prisma- Pro doit être réajusté.
  • Page 63 Ajouter ou supprimer des masses dans ou à partir du tableau de calibrage Pfeiffer Vacuum a préréglé les masses 1, 2, 4, 28, et 86 dans les réglages par défaut. ► Ajustez les masses du mélange de gaz avec lequel vous voulez réaliser un calibrage de masse en ajoutant et en supprimant des masses.
  • Page 64 Maintenance Calibrage avec des gaz souterrains ou de l’air 1. Si vous ne disposez pas de mélanges de gaz de test ou de gaz de procédé pour le calibrage des masses, utilisez le gaz résiduel dans l’enceinte à vide ou alimentez avec de petites quantités d'air ambiant pour effectuer le calibrage des masses.
  • Page 65 – Il n’y a pas de conflit d'adresse IP entre le PrismaPro et un autre appareil réseau. 4. Contrôlez les messages spécifiques de l’erreur PV MassSpec dans le fichier d'aide du logiciel. 5. Contactez Pfeiffer Vacuum Service si vous ne pouvez pas éliminer le problème existant. 10.1.1 Résolution des erreurs de communication et système Symptômes/messages de dys-...
  • Page 66 ● Remplacez la carte Ethernet de l’ordina- de pilotage est défectueuse teur de pilotage. L’interface Ethernet de l’unité élec- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tronique (QME) est défectueuse Erreur de communication (DSP) Réponse DSP incorrecte détectée ● Désactivez l’unité électronique (QME) pour la remettre à...
  • Page 67 (Erreur EE/cathode) diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Réparez ou remplacez l’analyseur. Erreur dans l’unité élec- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tronique (QME) Erreur de haute fréquence Ajustage incorrect de ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
  • Page 68 Erreur de la source d’ions Réglages erronés de la ● Chargez les réglages du rapport de test. source d'ions ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. (erreur de la source d'ions) Source d’ions contami- ● Remplacez l’unité filament. née ● Remplacez la source d’ions.
  • Page 69 ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Remplacez l’IS 250. Défaillance de l’alimentation électri- Erreur dans l’unité élec- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. que interne tronique (QME) Tab. 16: Erreurs liées au matériel 10.1.3 Résolution des erreurs de mesure et de fonctionnement Symptômes/messages de dys-...
  • Page 70 ● Étuvez l’analyseur. (Basse sensibilité) ● Remplacez l’unité filament et/ou la source d'ions. ● Remplacez l’analyseur. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Calibrage de masse (résolution) ● Recalibrez l'appareil (ajustage). erroné ● Augmentez la largeur du maximum. Les paramètres de travail de ●...
  • Page 71 Vitesse de balayage trop rapide ● Augmentez le temps de stabilisation (stabili- pour le réglage de l’amplification sation). ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Fixation incorrecte de l’unité élec- ● Vérifiez que l’unité électronique (QME) a été tronique (QME) sur l’analyseur complètement poussée sur l’analyseur.
  • Page 72 Dysfonctionnements 10.3 Contrôle de l’analyseur QMA 250 AVIS Endommagement des composants causé par le nettoyage Ne nettoyez pas le filament ou la source d'ions, car cela endommagerait ou détruirait les compo- sants. ► Remplacez les pièces si celles-ci sont défectueuses ou contaminées. La source d'ions du PrismaPro a 2 filaments.
  • Page 73 ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité...
  • Page 74 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 12.2 Élimination d’un spectromètre de masse compact Les spectromètres de masse compacts Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. 1. Démontez les éléments du boîtier. 2. Démontez tous les composants individuels et les platines.
  • Page 75 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
  • Page 76 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
  • Page 77 Des composants système défectueux comme l’unité électronique QME 250 ou l’analyseur QMA 250 peuvent être remplacés individuellement. Les unités électroniques ou les analyseurs remplacés doivent être calibrés avec les com- posants existants. Pfeiffer Vacuum recommande de contacter un Pfeiffer Vacuum Service Center pour la réalisation de ce calibrage nécessaire.
  • Page 78 Informations de commande Référence de Description Domaine Détecteur Source d’ions Filament Câblage pièce abrégée de masse chauffé PT M25 421 QMA 250 F2 1-200 Faraday ouverte Nickel PT M25 422 Ir-Y PT M25 423 QMA 250 M2 Faraday/EM PT M25 424 Ir-Y PT M25 425 Cuivre, plaqué...
  • Page 79 Informations de commande 14.4 Pièces de rechange et lots de petites pièces 14.4.1 Pièces de rechange Référence de pièce Quantité Description Utilisation (pièces) PT 163 501 Pièce intermédiaire (DN 40 CF, 116 mm de long) QMA 250 avec EM PT 163 502 Protection pour le transport (tube en plastique transparent) QMA 250 avec Fara- PT 163 503...
  • Page 80 Informations de commande Désignation Quantité (pièces) Isolateur en céramique Vis (M1.6x3, tête plate, acier inoxydable) Écrou (M1.6, hexagonal, acier inoxydable) Vis (M2×3, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) Tab. 27: Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d'ions à grille 80/92...
  • Page 81 Tab. 29: Tableau de conversion : unités de débit de gaz 15.2 Fiche technique PrismaPro QMG 250 F Conditions standard Sauf indication contraire, toutes les valeurs sont mesurées après une phase de chauffage de 30 minutes dans des conditions standard.
  • Page 82 Unité d’alimentation SP ≤0,15 kg Substances en contact avec la substance à pomper Filament chauffé Tungstène (W) ou iridium recouvert d’oxyde d’Yttrium (lr-Y Autres substances acier inoxydable, céramique (Al ), verre, or Tab. 30: Fiche technique PrismaPro QMG 250 F 82/92...
  • Page 83 Caractéristiques techniques et dimensions 15.3 Fiche technique PrismaPro QMG 250 M Conditions standard Sauf indication contraire, toutes les valeurs sont mesurées après une phase de chauffage de 30 minutes dans des conditions standard. Paramètre QMG 250 M1 QMG 250 M2 QMG 250 M3 Type de détecteur...
  • Page 84 Substances en contact avec la substance à pomper Filament chauffé Tungstène (W) ou iridium recouvert d’oxyde d’Yttrium (lr-Y Autres substances acier inoxydable, céramique (Al ), verre, or Tab. 31: Fiche technique PrismaPro QMG 250 M 15.4 Dimensions Dimensions en mm 84/92...
  • Page 85 Caractéristiques techniques et dimensions 361.1 10.5 169.9 Fig. 35: Dimensions QMG 250 F / IS ouverte / QME 250 droit 417.1 10.5 169.9 Fig. 36: Dimensions QMG 250 M / IS ouverte / QME 250 droit 417.1 10.5 169.9 A = Formation room orientation 66.5 Fig.
  • Page 86 Caractéristiques techniques et dimensions 423.1 10.5 169.9 Fig. 38: Dimensions QMG 250 M / IS à grille / QME 250 droit 260.9 217.8 10.5 169.9 Fig. 39: Dimensions QMG 250 F / IS ouverte / QME 250 90° 86/92...
  • Page 87 Caractéristiques techniques et dimensions 260.9 217.8 10.5 169.9 Fig. 40: Dimensions QMG 250 M / IS ouverte / QME 250 90° 260.9 217.8 10.5 169.9 A = Formation room orientation Fig. 41: Dimensions QMG 250 M / IS croisée / QME 250 90° A Orientation du compartiment de formation 87/92...
  • Page 88 Caractéristiques techniques et dimensions 260.9 217.8 10.5 169.9 Fig. 42: Dimensions QMG 250 M / IS à grille / QME 250 90° 88/92...
  • Page 89 The product QMG 250 PrismaPro - conforms to the UL standard UL 61010-1:2012. - is certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. - conforms to the IEC standard YJBA IEC 61010-1:2010.
  • Page 90 DIN EN 61010-1:2011-07 DIN EN 61326-1:2013-07 DIN EN 55011:2009 + A1:2010 (Classe A) CISPR 11:2009 + A1:2010 FCC, Titre 47 CFR, Partie 18, Classe A Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Aßlar, 2020-03-03 Directeur général...
  • Page 91 91/92...