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Les analyseurs avec détecteur Faraday fournissent une analyse de gaz résiduels dans un domaine de
pression totale > 10
Pfeiffer Vacuum fournit seulement la version à source d'ions à ouverture pour l'analyseur QMA 250 F
avec seau de Faraday. Le QMA 250 M est disponible en option avec une source d'ions à ouverture,
une source d'ions croisés ou une source d'ions à grille.
Type
Source d'ions à ouverture
Source d'ions croisés
Source d'ions à grille
Tab. 6:
1
18
Fig. 5:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10 Passage
3.2.3 Unité électronique QME 250
L'unité électronique est située sur l'analyseur et communique avec l'ordinateur de pilotage.
3)
-7
hPa.
Sources d'ions pour analyseur QMA 250 M
2 3 4 5
17
16
15
Composants de l'analyseur QMA 250 avec source d'ions à ouverture
Unité filament de la source d'ions
Source d'ions
Vis de fixation (3×) de la source d'ions
Écrou et vis de réglage pour l'alignement et
la sécurisation du système à tige quadripo-
laire dans le tube d'enveloppe
Vis (2×) du filtre de masse quadripolaire
Tube d'enveloppe
Connexion HF pour système à tige quadri-
polaire
Vis de fixation (2×) de la bride de conne-
xion dans le tube d'enveloppe
Connexion HF pour système à tige quadri-
polaire
Les isolateurs en céramique du câblage des filaments sont plus longs que les isolateurs en céramique du câ-
blage de la source d'ions.
Description
Source d'ions standard avec la sensibilité maximum
pour les applications à faisceau moléculaire
pour l'analyse de gaz résiduels dans l'UHV (< 10
6
7 8
9
10
14
13
12
11
12
13
14
15
16
17
18
19
Description du produit
-8
hPa)
11
19
Vis de fixation (2×) du multiplicateur d'électrons
dans le tube d'enveloppe
Vis de fixation et rondelle d'arrêt (3×) de l'ana-
lyseur au niveau du passage
Vis de fixation (2×) des connexions HF du sys-
tème à tige quadripolaire
Vis (2×) du filtre de masse quadripolaire
Isolateurs en céramique du câblage de la sour-
ce d'ions
Isolateurs en céramique du câblage des fila-
3)
ments
Connexions de la source d'ions (3×)
Connexions de l'unité filament (3×)
Contacts sur l'analyseur
(voir page 71)
23/92
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