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Pfeiffer Vacuum QMG 700 HIQUAD Manuel De L'utilisateur
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MANUEL DE L'UTILISATEUR
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Traduction d'original
QMG 700 HIQUAD
®
Système de spectromètre de masse quadripole

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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum QMG 700 HIQUAD

Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum QMG 700 HIQUAD

  • Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original QMG 700 HIQUAD ® Système de spectromètre de masse quadripole...
  • Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
  • Page 3 Responsabilité et garantie Conditions propriétaire Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Conditions opérateur Description du produit Réalisation du système Appareil de commande QMS 700 3.2.1 Châssis système SC 700...
  • Page 4 Recyclage et mise au rebut 12.1 Informations générales sur la mise au rebut 12.2 Élimination du système du spectromètre de masse Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Informations de commande 14.1 Commande de pièces 14.2 Pièces de rechange et accessoires 14.3 Câbles et prises court-circuit...
  • Page 5 Table des matières 15.2 Générateur HF QMH-40x 15.3 Analyseur QMA 4x0 15.4 Pré-amplificateur électromètre EP 422 15.5 Contre pré-amplificateur ions CP 400 Déclaration de conformité CE Déclaration de Conformité UK 5/72...
  • Page 6 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Documents applicables Tab. 2: Abréviations utilisées Tab. 3: Affectation des broches CTRL Tab. 4: Code de gamme du détecteur Tab. 5: Affectation des broches I/O AUX Tab. 6: Électrodes Tab. 7: Modes de fonctionnement du HT 702 Tab.
  • Page 7 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Exemple de configuration du QMG 700 Fig. 2: Appareil de commande QMS 700 Fig. 3: Châssis système SC 700 Fig. 4: Faces avant et arrière du SC 700 Fig. 5: Carte contrôleur quadripole QC 700 Fig.
  • Page 8 PT Q12 xxx xxx PT Q14 xxx xxx PT Q15 xxx xxx Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d’apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
  • Page 9 A propos de ce manuel Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise.
  • Page 10 Bus universel en série Tab. 2: Abréviations utilisées 1.4 Justificatif de marque de commerce ● HiQuad ® est une marque de commerce déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● QUADERA ® est une marque de commerce déposée de Inficon GmbH. ● WAGO ®...
  • Page 11 Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une éva- luation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit.
  • Page 12 ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, con- tactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
  • Page 13 Sécurité Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des élé- ments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique un danger de mort.
  • Page 14 ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Utilisation conforme Le système de spectromètre de masse quadripole QMG 700 HiQuad est utilisé pour l’analyse de gaz dans la gamme de vide élevé. ► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformé- ment au manuel de l’utilisateur.
  • Page 15 ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.6 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ●...
  • Page 16 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
  • Page 17 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Réalisation du système Le QMG 700 comprend les composants suivants : ● Appareil de commande QMS 700 avec 4 pieds plastique ● Générateur HF QMH-40x ● Analyseur QMA 4x0 ● Pré-amplificateur électromètre EP 422 ou contre pré-amplificateur ions CP 400 (selon les configu- rations) Décompte des ions ►...
  • Page 18 Description du produit QMA 4x0 QMS 700 Ion Supply DO AO Fig. 1: Exemple de configuration du QMG 700 Analyseur QMA 4x0 Appareil de commande QMS 700 Source d’ions Carte contrôleur quadripole QC 700 Filtre quadripolaire Alimentation source d’ions IS 716 Unité...
  • Page 19 Description du produit 3.2.1 Châssis système SC 700 Le châssis système SC 700 contient l’unité de courant, le bus système interne et la ventilation de l’uni- té. Il fournit les bornes femelles des modules QC 700, IS 716, HT 701, HT 702, IO 700 et IO 720. Fig.
  • Page 20 Description du produit Fig. 6: Alimentation source d’ions IS 716 3.2.4 Alimentation haute tension HT 701 L’alimentation haute tension HT 701 alimente le SEM 217 de l’analyseur QMA 4x0 avec une haute ten- sion requise pour la détection des ions positifs. Fig.
  • Page 21 Description du produit Fig. 10: Module entrée/sortie IO 720 3.3 Générateur HF QMH-40x Le générateur HF QMH-40x génère une tension à haute fréquence requise pour la séparation des mas- ses. Le QMH 40x se rapporte toujours à tous les types, sauf spécification contraire. Fig.
  • Page 22 Description du produit Commutation du fonctionnement Faraday au fonctionnement SEM Avec les analyseurs QMA 4x0 avec SEM à décalage axial de 90°, 2 pré-amplificateurs électromètres EP 422 peuvent être raccordés. Ceci permet une commutation aisée entre le fonctionnement Faraday et le fonctionnement SEM. Propriétés du pré-amplificateur électromètre EP 422 : ●...
  • Page 23 Description du produit 3.7 Raccordements 3.7.1 Connexion I/O ANALOGIQUE, à 15 broches IO 720 Channel 1 – 1 nF 1 nF – Channel 2 – Analog Inputs Channel 3 – Channel 4 – Channel 5 Channel 1 22 Ω 22 Ω 10 nF Channel 2 Analog Outputs Channel 3...
  • Page 24 Description du produit 3.7.2 Connexion I/O NUMÉRIQUE, à 25 broches IO 720 +24 V Channel 1 Channel 2 Channel 3 Channel 4 – 100 Ω Screen ChGND Fig. 17: Schéma de raccordement des entrées numériques IO 720 Channel 1 Channel 1 Channel 2 Channel 2 Channel 3...
  • Page 25 Description du produit → → Fig. 19: Affectation des broches I/O NUMÉRIQUE Sortie numérique, canal 9 Sortie numérique, canal 1 Sortie numérique, canal 2 Sortie numérique, canal 10 Sortie numérique, canal 3 Sortie numérique, canal 11 Sortie numérique, canal 4 Sortie numérique, canal 12 Sortie numérique, canal 5 Sortie numérique, canal 13...
  • Page 26 Description du produit 3.7.4 Connexions sur QC 700 Fig. 21: Connexions sur QC 700 1 Prise USB, type B Connexion CP (D-Sub, 15 broches, douilles) 2 Connexion CTRL (HD-D-Sub, 26 broches) Connexion QMH (D-Sub, 25 broches, douilles) 3 Connexion LAN (prise RJ-45, 8 broches) Fig.
  • Page 27 Description du produit Bro- Mot de si- Type de si- Description gnalisation gnal OUT 1 Sortie TTL SYNC OUT+ Sortie TTL Le bord positif marque le démarrage de la mesure, dé- clencher pour l’oscilloscope SYNC OUT- Signal de référence SYNC OUT+, supérieur à 200 Ω sur EXT IN 1+ Entrée analo- Connexion du signal de mesure externe, différentiel, max.
  • Page 28 Description du produit RJ-45 green yellow Fig. 24: Affectation des broches LAN 1 Données de transmission (TD+) 4, 5, 7, 8 Non utilisé 2 Données de transmission (TD-) Données de réception (RD-) 3 Données de réception (RD+) 3.7.5 Connexions sur IS 716 Fig.
  • Page 29 Description du produit Fig. 27: Affectation des broches QMA 1 QMA GND Filament commun 2 SPEC SRC RET V4, axe de terrain 3 V6, déviation interne V0, Ref GND 4 V3, mise au point Écran 5 V9, Wehnelt V8, réserve 6 V5, évacuation V1, Ion Ref 7 Filament +...
  • Page 30 Description du produit QMA-GND IONREF (V1) Fig. 29: Potentiels ions sur IONREF nég. max. (-150 V), polarité négative Désignation des Domai- Courant Résolution Décalage Erreur Potentiel électrodes ne, gam- nominal de gain de déga- zage IONREF -150 – ±2,5 mA 20 mV ±120 mV 1,6 %...
  • Page 31 Description du produit 3.7.6 Connexions sur HT 701 Fig. 30: Connexions sur HT 701 1 Connexion haute tension HT- 3.7.7 Connexions sur HT 702 La fonction et la configuration du HT 702 dépendent du type de service. Fig. 31: Connexions sur HT 702 1 Connexion de dynode de transformation CD Connexion haute tension HT+ 2 Connexion haute tension HT-...
  • Page 32 Description du produit Type Description Connexion HT 702 Schéma basique servi- HT+ : Prise court-circuit enfichée HV 702 (connexion HT+ raccordée électri- quement à GND QMA) HT- : -> SEM CD : non utilisé QMA, HV SEM + CD HT+ : Prise court-circuit enfichée HV 702 (connexion HT+ raccordée électri- quement à...
  • Page 33 Description du produit Fig. 33: Schéma de bloc du IO 700 Adressage d’un module I/O ► Définir une adresse de nœud du module sur un interrupteur DIP. 33/72...
  • Page 34 Description du produit IO 700 Fig. 34: Vue de l’IO 700 du dessus avec interrupteur de programmation pour l’adresse de nœud Adresses de nœuds ● Premier module IO 700 : ─ 14 , (20 ), interrupteurs 3 et 5 réglés sur ON 3.7.9 Connexions sur IO 720 IO 700 contient des modules entrées/sorties numériques et analogiques.
  • Page 35 Description du produit 3.8.1 Câblage de base pour le type de service Faraday QC 700 IS 716 QMH 4xx EP 1 FARAD RF - EP 2 RF A RF B Fig. 36: Câblage de base pour le type de service Faraday Ce câblage s’applique aux applications avec HT 701 et HT 702.
  • Page 36 Description du produit 3.8.2 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701 HV 701 HV - QMH 4xx EP 2 RF A RF B HV - SEM 217 Fig. 37: Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701 Position Câble/prise court-circuit Longueur (m) Référence de commande...
  • Page 37 Description du produit 3.8.3 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701 QC 700 HV 701 HV - RF A RF B CP 400 SEM 217 Fig. 38: Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701 Position Câble/prise court-circuit Longueur (m)
  • Page 38 Description du produit 3.8.4 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702 HV 702 HV - QMH 4xx EP 2 RF A RF B HV - SEM 217 Fig. 39: Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702 Ce câblage s’applique aux applications avec HT 702 et type de service 0. Position Câble/prise court-circuit Longueur (m)
  • Page 39 Description du produit 3.8.5 Câblage pour type de service CD avec HT 702 HV 702 HV - QMH 4xx EP 2 RF A RF B SEM 218 Fig. 40: Câblage pour type de service CD avec HT 702 Ce câblage s’applique aux applications avec HT 702 et type de service 1. Position Câble/prise court-circuit Longueur (m)
  • Page 40 Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
  • Page 41 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
  • Page 42 Installation 5 Installation DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des élé- ments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique un danger de mort.
  • Page 43 Installation 5.1 Installation de tout le système QMG 700 DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dange- reux au toucher.
  • Page 44 Installation AVIS Annulation de la classe de protection de l'armoire de commande En tant qu'unité intégrée, l'appareil peut remettre en cause la classe de protection requise (contre les particules étrangères et l'eau) des armoires de commande conformément à la norme CEI 60204-1, par exemple.
  • Page 45 Installation 5.3 Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châs- sis système AVIS Détérioration de l’unité à cause d’une décharge électrostatique Une décharge électrostatique endommage les composants électroniques. Si cet avertissement n’est pas respecté, les défauts qui en résultent ne sont pas pris en charge par la garantie. ►...
  • Page 46 Installation Fig. 45: Connexion au PC avec câble de raccordement croisé (rouge) Fig. 46: Connexion au réseau avec câble de raccordement non-croisé (gris) RJ-45 green yellow Fig. 47: Connexion « Ethernet » (LAN) 1 Données de transmission (TD+) Données de réception (RD-) 2 Données de transmission (TD-) 4, 5, 7, 8 Non utilisé...
  • Page 47 Vous trouverez des informations sur l’installation et le montage de l’analyseur QMA 4x0 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le QMA 4x0. 5.9 Raccordement de l’IO 700 Pfeiffer Vacuum installe des options départ d’usine si vous les avez commandées avec le système glo- bal. Une installation subséquente est possible. Fig. 48: Manchon de câble EMC avec séquence de pièces individuelles convenant pour l’as-...
  • Page 48 Activez seulement le QMS 700 avec le câble QMA correctement connecté. Paramètres d’usine Pfeiffer Vacuum configure de façon optimale les systèmes complets à l’usine. Vous ne de- vez donc pas effectuer de changements sans une bonne raison. Transmission de données Si la DEL jaune de la connexion Ethernet reste éteinte, un problème est apparu pendant la...
  • Page 49 Fonctionnement 7 Fonctionnement Le QMG 700 fonctionne avec le logiciel Quadera. Vous trouverez des informations sur le logiciel Qua- dera dans la documentation jointe au logiciel. Utilisation du QMG 700 avec le logiciel Quadera ► Utilisez le logiciel Quadera pour – Régler des paramètres de l’unité –...
  • Page 50 1. Désactivez le SEM et, si nécessaire, le filament. 2. Quittez la connexion entre le QMG 700 HiQuad et le PC dans QUADERA. 3. Cochez « Connecter » dans le menu « Dispositif » ou cliquez sur le symbole vert dans l’affichage de l’état de l’unité.
  • Page 51 Maintenance 9 Maintenance Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour orga- niser la maintenance de produits et de composants défectueux.
  • Page 52 Maintenance AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Conditions préalables ● L’appareil est mis hors circuit ●...
  • Page 53 Problème avec l'appareil ou le système Un fusible défectueux indique généralement un problème dans l'appareil ou le système. Si après le remplacement, le fusible neuf grille également, contacter le centre Pfeiffer Vacuum Service le plus proche. Pièce de rechange requise ●...
  • Page 54 Anomalies 10 Anomalies Erreur Cause possible Action corrective La DEL « DC » sur la face avant de l’unité reste Fusible secteur dé- ● Remplacez le fusible éteinte quand la tension secteur est appliquée et fectueux secteur. que l’interrupteur secteur est activé. Tab.
  • Page 55 ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité...
  • Page 56 – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 12.2 Élimination du système du spectromètre de masse Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démontez les éléments du boîtier.
  • Page 57 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
  • Page 58 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
  • Page 59 ● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces 14.2 Pièces de rechange et accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et les options de commande pour les accessoires Équipements d’analyse...
  • Page 60 Informations de commande 14.3 Câbles et prises court-circuit (voir chapitre « Câblage du système », page 34) 14.4 Composants du système Description Référence de commande EP 422 PT 444 570 -T CP 400 PT 442 210 -T QMH 400-1, 1 – 128 u (QMA 410) PT M23 067 QMH 400-5, 1 –...
  • Page 61 Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Appareil de commande QMS 700 Modules QMS L’information s’applique à tous les modules QMS 700, sauf spécification contraire. Paramètre Valeur Température (stockage) -40 – +65 °C Température (fonctionnement) +5 – +40 °C Humidité...
  • Page 62 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1.2 Contrôleur quadripole QC 700 Paramètre Valeur Convient à Châssis système SC 700 Bornes femelles requises Quantité par système Bornes femelles Bornes femelles nº 1 et 2 (tout à gauche dans le châssis système SC 700) Poids 0,4 kg Tab.
  • Page 63 Caractéristiques techniques et dimensions Detect TYPE Type de détecteur FARAD Collecteur Faraday, EP 422 SEV (construction configurable), EP 422 ION-CNT Compteur d’ions, CP 400 EXTERN 1 Entrée analogique externe du QC 700 (EXT IN 1) EXTERN 2 Entrée analogique externe du QC 700 (EXT IN 2) A-INPUT (1–n) Signaux analogiques via IO 700/IO 720 (canaux analogiques 1 –...
  • Page 64 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Quantité par système max. 2 Borne femelle (voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système », page 45) Poids 1 kg Tab. 30: Fiche technique, IS 716 Paramètre Valeur Tension 0 –...
  • Page 65 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Borne femelle (voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système », page 45) Poids 0,54 kg Tab. 35: Fiche technique, HT 702 Paramètre Alimentation SEV Alimentation CD Tension de niveau élevé...
  • Page 66 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Charges admissibles ohmiques, inductives, lampes Taux de rafraichissement 10 ms Tab. 39: Sorties numériques IO 700 Paramètre Valeur Module utilisé ® WAGO 750-430 Nombre d’entrées Tension d’entrée 0/+24 V Courant d’entrée 2,8 mA Filtre d’entrée Constante de temps 3 ms Taux de rafraichissement 10 ms...
  • Page 67 Caractéristiques techniques et dimensions Type QMH Domaine de masse [u] Type QMA Diamètre de tige [mm] QMH 400-1 QMA 410 QMH 400-5 QMA 430 QMA 400 QMH 402 QMA 410 Tab. 43: Types QMH et QMA 15.3 Analyseur QMA 4x0 Vous trouverez la fiche technique du QMA 4x0 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le QMA 4x0.
  • Page 68 Caractéristiques techniques et dimensions Gamme de mesure Sensibilité Tolérance à 25 °C Temps de montée de Décalage à 25 °C 10 à 90 % ± 1 % 50 μs ± 0,5 mV ± 10 ± 10 ± 1 % 90 μs ±...
  • Page 69 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Système de spectromètre de masse quadripole QMG 700 HiQuad ® Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes.
  • Page 70 EN IEC 61326-1:2021 EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Page 71 71/72...