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3.5 Principe de fonctionnement
Le spectromètre de masse compact PrismaPro est un système de spectromètre de masse quadripole
pour l'analyse de gaz qualitative et quantitative dans une gamme de vide élevé et d'ultra vide pour la
détection de fuites et l'identification de contaminations.
Une source d'ions à faisceau d'électrons ionise les particules de gaz neutre. Un champ quadripole élec-
trique à haute fréquence sépare les ions générés les uns des autres conformément au rapport entre la
masse et la charge. La détection des ions filtrés est effectuée à l'aide d'un seau de Faraday ou d'un
multiplicateur d'électrons secondaire (EM). Ce faisant, le flux d'ions détecté est proportionnel à la pres-
sion partielle des composants de gaz respectifs. Le système de spectromètre de masse quadripole est
un instrument de mesure relative nécessitant un calibrage avec des gaz de calibrage correspondants
afin d'obtenir une analyse de gaz quantitative précise. L'électronique du système de spectromètre de
masse quadripole génère et contrôle les tensions directes, haute et HF nécessaires pour les sources
d'ions, le filtre quadripolaire et le détecteur.
Le système de spectromètre de masse quadripole permet la configuration et le fonctionnement via Web
UI basé sur le web ou à l'aide du logiciel quadripole PV MassSpec. PV MassSpec permet l'évaluation,
le stockage et la comparaison des données de mesure.
A
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Fig. 15:
A Formation d'ions dans la source d'ions à partir de l'ionisation par impact des électrons
B Séparation des ions selon le rapport entre la masse et la charge
C Détection des ions dans le détecteur d'ions
B
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2
Principe du système de spectromètre de masse quadripole
1 Optique des ions
2 Zone de formation
3 Filament chauffé
C
U + V · cos ω · t
Description du produit
29/92
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