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Caractéristiques de
l'alimentation en
azote sec filtré
Dispositif de purge
pour DN16
(50 sccm)
Purge N
2
A
La purge d'azote doit être
connectée directement
sur l'embout de la pompe
prévu à cet effet.
Régler le débit
adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M
Raccordement du dispositif de purge
d'azote et de la vanne d'entrée d'air
Les caractéristiques de l'alimentation en azote sec filtré nécessaire
sont les suivantes :
- Concentration H
O : < 1 ppm
2
- Concentration O
: < 1 ppm
2
- Point de rosée < 22 °C
- Poussière < 1 μm
- Vapeur d'huile < 0.1 ppm
- Pression absolue de 100 à 120 kPa.
Purge N
La pression maximum de la purge ne doit pas dépasser 200 kPa.
Le fonctionnement de cette purge est continu. Raccorder le tuyau
d'azote au raccord DN 16 de la purge*.
Le réducteur de flux contrôle la pression et garantit un débit de
50 sccm pour une pression de 110 kPa.
Remarque : la purge N
massique. Dans ce cas, il n'est pas utile d'installer le réducteur de
flux d'azote.
Alimenter la purge d'azote en
fonction des valeurs de débit
et de la pression indiquées ci-
contre.
* Différents accessoires de raccordement sont disponibles dans le catalogue constructeur.
2
peut être équipée d'un débitmètre
2
Débit (SCCM)
70
60
50
40
30
20
Pression absolue à l'aspiration (kPa)
1.0
1.1
B 330
Réducteur de
flux d'azote
A
1.2
1.3
1.4
1.5
1/2
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